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超精密位置決めにおける送りねじの微視的変位挙動とその動的モデルに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 07650171
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 設計工学・機械要素・トライボロジー
研究機関信州大学

研究代表者

深田 茂生  信州大学, 工学部, 助教授 (70156743)

研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1996年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1995年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
キーワード超精密位置決め / 送りねじ / ボールねじ / 非線形ばね特性 / 微視的挙動 / すべりねじ
研究概要

本研究は1μm以下の微視的領域における送りねじの変位挙動に着目し,種々の条件によって微視的変位挙動がどのように変化するかについて実験的に明らかにするとともに,その動的なモデルを確立することを目的とする.新たに設計製作した実験装置はねじ軸固定・ナット回転型構造であり,ナットに対する回転トルクをソレノイドにより非接触で印加しナットの回転角度と軸方向変位を静電容量型非接触変位計により測定した.実験は予圧を任意に設定可能な定圧予圧と予圧が一定の定位置予圧の2方式のボールねじについて行った.
ナットに対してトルクを階段状に準静的に印加する実験を行ったところ,微視的領域において印加トルクと軸方向変位との間に非線形なばね特性が認められ,そのような微視的範囲内においてもナットの回転角度と軸方向変位の間の基本的関係はねじのリ-ドにより決定されていることが初めて明らかとなった.また、トルクを正弦波状に正負対称に印加する実験を行ったところ,予圧の増加とともにばね特性の線形性が向上し,ばね性を示すトルク範囲とばね定数が増大していくこと,さらにばね特性が示すヒステリシスはトルク変化の速度の影響をほとんど受けず,粘性の効果はわずかであることが明らかとなった.
以上の実験結果を考察し,非線形ばね特性のヒステリシスは,ばね定数の異なる2つの線形領域の履歴的結合によって構成されていることを示した.そこでこの微視的特性を記述するために2本のばね要素と摩擦要素を用いた力学モデルを提案し,本実験で使用した試験ボールねじのパラメータを実験結果から同定した.さらに同定したパラメータからこのモデルに対応する固有振動数を求めたところ,インパルス加振による動的応答試験の結果とほぼ一致し、提案した力学モデルの有効性を検証することができた.

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] 深田茂生: "弾性変換要素を付加したすべり送りねじによる超精密位置決め" 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 第2分冊. 717-718 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 深田茂生: "特集“精密位置決め小辞典"-送りねじ-" 機械設計. 40巻8号. 34-35 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 深田茂生: "ボールねじの微視的変位挙動の測定" 1996年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 第2分冊. 509-510 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeo FUKADA: "Microscopic Behavior of Leadscrew-nut System And Its Improvement" Proceeding of ASPE Annual Meeting. Vol.14. 314-317 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeo FUKADA: "Ultraprecision Positioning Using Sliding Leadscrew with Elastic Element" Proc. JSPE,1996 Spring. (in Japanese). 717-718 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeo FUKADA: "Leadscrew (a part of small encyclopedia on precision positioning)" Machine Design. Vol.40, No.8 (in Japanese). 34-35 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeo FUKADA: "Measurement of Microscopic Behavior of Ball Screw" Proc. JSPE,1996 Autumn. (in Japanese). 509-510 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeo FUKADA: "Microscopic Behavior of Leadscrew-nut System and Its Improvement" Proc. ASPE Annual Meeting. Vol.14. 314-317 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 深田茂生: "弾性変換要素を付加したすべり送りねじによる超精密位置決め" 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 第2分冊. 717-718 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 深田茂生: "ボールねじの微視的変位挙動の測定" 1996年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 第2分冊. 509-510 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Shigeo FUKADA: "Microscopic Behavior of Leadscrew-nut System and its Improvement" Proceedings of ASPE Annual Meeting. Vol.14. 314-317 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 深田,茂生: "弾性変換要素を付加したすべり送りねじによる超精密位置決め" 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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