| 研究課題/領域番号 |
07650803
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
複合材料・物性
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| 研究機関 | 富山工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
武田 文雄 富山工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (20042814)
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| 研究分担者 |
中島 孝慈 富山工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (50023164)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1996年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1995年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
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| キーワード | ソレノイドコイル / 組成変化 / スパッタ / 合金膜 / 複合ターゲット / 金属間化合物 / 組成傾斜 / ソレノイド |
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| 研究概要 |
スパッタ放電部の周りにソレノイドコイルを設置した新しい方式の直流スパッタ装置を開発した。この装置はソレノイドコイル電流の制御によりエロ-ジョン領域が変化する。そこで,この性質を利用して,円形のTiとAlを組み合わせた複合ターゲットを用いてスパッタによりTi-Al系合金薄膜の組成を変える方法を研究した。その中の重要な成果を挙げると次のようになる。
(1)単一の複合ターゲットを用いてソレノイドコイル電流を制御することによりAlは38%-75%,Tiは62%-25%位の範囲で変えることが出来る。この組成変化は複合ターゲットの幾何学的大きさによっても変わる。
(2)ソレノイドコイル電流の制御により膜厚方向の組成を段階状または連続的に変えることが出来る。例えば膜厚約5000Aの中で8段階に組成を変えることができた。
(3)石英板上にTi_3Alは加熱しないで作成できる。しかしTiAl、TiAl_3は加熱なしでできているのか否かはまだ断定できない。
(4)ソレノイドコイル電流を制御し石英基鈑上に作成した膜を500°Cに真空中で熱処理すればTi_3Al、TiAl、TiAl_3の合金膜になる。
(5)400°C程度に基鈑加熱しながらスパッタすればソレノイドコイル電流の制御によりTi_3Al、TiAl、TiAl_3を作成できる。またこれらの膜は配向性がよい。
(6)ソレノイドコイル電流を時間制御すればTiAl、TiAl_3などの層状構造の膜を作成できる。
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