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動力力を用いたプロセスプラズマ中シース電位の制御

研究課題

研究課題/領域番号 07780409
研究種目

奨励研究(A)

配分区分補助金
研究分野 プラズマ理工学
研究機関茨城大学

研究代表者

佐藤 直幸  茨城大学, 工学部, 助手 (80225979)

研究期間 (年度) 1995
研究課題ステータス 完了 (1995年度)
配分額 *注記
1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1995年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード動重力 / ECRプラズマ / シース電位 / 電子サイクロトロン運動 / 電子ラーモア半径 / 高周波電力密度 / 電子密度分布 / イオンエネルギー
研究概要

プロセスプラズマ中シース電位で加速されるイオンのエネルギーを低減するために,動重力を用いたシース電位の制御を試みてきた。
ECRプラズマ端にターゲットとしてアンテナを設置する.アンテナ及びフィーダの改良を繰返しながら,アンテナ電場分布の計算と測定を行った.続いて,電子密度や空間電位などの空間分布の高周波(rf)電流依存性を観測してきた.これらの実験を通して,以下のことが明らかになった.
(1)rf電流(∝電場)増加に伴う電子密度nと空間電位φの減少を確認したが(Δn【similar or equal】0.05n_0,Δφ【similar or equal】T_e/e),顕著なシース電圧変化は得られなかった.
(2)電子ラーモア半径(∝磁場強度)とアンテナ形状を適切に選ぶと,(1)の変化が明瞭に観測された.
(3)rf周波数を掃引した場合,電子サイクロトロン共鳴周波数近傍でrf電力の吸収が起こった.この時,電場エネルギーが電子温度(T_e)上昇をもたらすものの,動重力による電子密度分布の顕著な変化は観測されなかった.
以上の結果と動重力を含むシース電位の計算結果を比較検討すると,現在の所,動重力によるシース電圧の制御性を確証するまでに至っていない.この原因として,rf電力密度が小さいこと(最低プラズマ密度10^6cm^<-3>に対しrf最大出力電力50W)とアンテナ-プラズマ間の整合が不十分であることが挙げられる.
イオンの低エネルギー化という観点から,動重力を用いてシース電位を減少する方法以外にパルスプラズマを用いた時間平均シース電位の制御法も検討してきた.平成7年度後半から,rf出力電力の関係で,これらの実験を並行してきた.

報告書

(1件)
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (2件)

  • [文献書誌] 佐藤直幸: "パルス放電プラズマを用いたイオンエネルギー制御" プラズマ・核融合学会第12回秋季講演会予稿集. 149-149 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 岩間正樹: "rfバーストモード放電を用いたイオンエネルギー制御" 第3回電気学会東京支部茨城支所研究発表会講演予稿集. 73-74 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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