| 研究課題/領域番号 |
08243227
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
坂 公恭 名古屋大学, 工学部, 教授 (90023267)
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| 研究期間 (年度) |
1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1996年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
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| キーワード | 電顕内その場加熱実験 / 高分解能観察 / Si / SiC |
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| 研究概要 |
傾斜化プロセスの最適化のためには固体-固体、固体-液体、固体-気体間の反応の要素過程を理解することが必要である。本研究では最近開発した、1500℃という高温でも原子レベルでの高分解能その場観察が可能で、かつ元素分析が可能な電子顕微鏡内その場加熱ホルダーを用いて傾斜化過程の直接高分解能観察を試みた。
即ち、Siの粉末と黒鉛の粉末を同時に加熱フィラメント上に付着させ、1400〜1500℃に加熱し、Si+C*SiC反応によってSiCの合成を行った。加熱前後の電顕写真および回折図形の比較より、加熱前では単結晶Siの回折斑点と黒鉛のDebye ringが観察されるのに対して、加熱後には全く別の回折斑点が現れており、SiCが形成されたと結論した。一部では未反応のため黒鉛が残留しており、SiC/Cの傾斜化が達成されていた。これらの過程を高分解能観察し、傾斜化過程を原子レベルで明らかにした。
これらの成果は科学誌に論文として公表されるとともに、平成8年7月に開催された「第8回異相界面/粒界に関する国際会議」、および平成8年11月に開催されたMRSで発表した。また、平成9年1月にアリゾナ州立大学で開催された「界面の原子構造と化学に関するワークショップ」で招待講演を行った。
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