| 研究課題/領域番号 |
08405010
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 筑波大学 |
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研究代表者 |
青木 貞雄 筑波大学, 物理工学系, 教授 (50016804)
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| 研究分担者 |
青田 達也 筑波大学, 物理工学系, 助手 (20292526)
渡辺 紀生 筑波大学, 物理工学系, 助手 (80241793)
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| 研究期間 (年度) |
1996 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
42,400千円 (直接経費: 42,400千円)
1998年度: 3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
1997年度: 6,200千円 (直接経費: 6,200千円)
1996年度: 32,500千円 (直接経費: 32,500千円)
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| キーワード | X線 / 軟X線 / 顕微鏡 / 位相コントラスト / 暗視野 / ウォルターミラー / X線顕微鏡 / 位相差顕微鏡 / 暗視野顕微鏡 / 短波長軟X線 / 位相差コントラスト |
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| 研究概要 |
1) 硬X線位相差顕微鏡の開発
硬X線領域においてゼルニケ型の位相板を用いた位相差顕微鏡実験に世界で初めて成功した。高エネルギー加速器研究機構のPhoton Factory BL3C2にて9keV X線を照明光として用いて10倍ウォルターミラーを用いた位相差顕微鏡を構築した。位相板として厚さ5μmのアルミ箔を用いて、化学繊維等の位相コントラスト像を得ることができた。ウォルターミラーの輪帯開口の一部分を使ったこと及びウォルターミラーの形状誤差のため、現在のところ用いた輪帯開口の接線方向にしか像が結像できていないが、明視野では9keV X線で全く存在が確認できなかった直径5-10μm程度のポリエチレンテレフタレートのワイヤーが位相板を用いることによりはっきりと観察できるようになった。
2) 軟X線暗視野顕微鏡の開発
ウォルターミラーを用いた軟X線暗視野顕微鏡実験に世界で初めて成功した。レーザープラズマ光源からの軟X線を集光ミラーで対物ミラーの開口からわずかに外れるように試料を照明し、試料からの散乱軟X線を対物ミラーでCCD面上に結像した。生物試料等のエッジ部分のみ明るく光った暗視野像を得ることができた。
3) ウォルターミラーの高分解能化
無酸素銅を用いたミラー製作プロセスの開発を行った。無酸素銅母材をNC旋盤にてダイヤモンドバイトを用いて切削し、そのパイレックスガラスレプリカを作成した。この方法は今まで数ヶ月を要したミラー製作プロセスを非常に短縮できる可能性がある。しかし、現段階ではミラー母材の表面粗さがRq(rms)9nm程度、レプリカ後のミラー表面がRq(rms)20〜30nmとX線で用いるには粗すぎるため、それらの研磨プロセスの導入を検討中である。
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