• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

機能性薄膜のX線吸収微細構造解析

研究課題

研究課題/領域番号 08454222
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機能・物性・材料
研究機関大阪大学

研究代表者

渡辺 巌 (渡部 巌)  大阪大学, 大学院・理学研究科, 助教授 (50028239)

研究期間 (年度) 1996 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
1998年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
1997年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードEXAFS / 機能性薄膜 / 転換電子収量XAFS / フェライト薄膜 / 分散金薄膜 / 偏光XAFS / チタン酸ストロンチウム
研究概要

1. 数マイクロメータの厚さ、あるいはそれ以下の厚さの薄膜は、情報記憶用磁気材料・アモルファス合金、各種センサー、光学部品の表面コート、メッキ膜などの重要な機能を担っている。この様な薄膜物質の機能を理解し、さらなる性能向上をはかるためにはその構造解析が重要であるが、そのためのよい構造解析手法はあまり存在しない。本研究では、注目元素の周囲のミクロ構造解析法として有力である広域X線吸収微細構造(EXAFS)解析法を薄膜材料の構造解析に適用した。
2. 厚い基盤上の薄膜のX線吸収スペクトルを測定することは通常の透過法では不可能である。そこで、本研究では転換電子収量法を用いた。これはX線を吸収した原子が放出するオージェ電子の飛程が短いことを利用して表面敏感XAFSとするものである。
3. 測定はPhoton FactoryおよびSPring-8にて行った。これまで専ら第一遷移金属元素についてのデータを収集してきたが、今年度はSPring-8にてさらに重元素を対象として本測定法の限界を探った。重元素においてはオージェ電子のエネルギーが非常に高くなるため、分析深さが深くなり表面感度が低下する。転換電子収量法はX線の吸収が問題にならない程の薄い表面しか観測しないのでバルク試料の"そのまま"の測定に有効な手法である。しかし、高エネルギー領域においても本法が有効であるかどうかについての検討を行う必要があるのでそのための実験を行った。現在データの解析中である。また、これまでに測定したSrTiO_3薄膜の精密解析を試みている。この薄膜のスペクトルは、これまでのバルク材の解析に用いていたカーブフィッティング計算用パラメータでは再現できない形状をしており、その原因の検討を行っているところである。

報告書

(4件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] 高橋昌男: "スパッタ成膜した窒化物薄膜のHeイオン収量XAFS法による局所構造解析" 材料. 47・6. 580-585 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Diaz-Moreno: "Molecular structure determination by EXAFS of [Y (NCS)_6]^<3-> units in solid state and in solution. A comparison with density functional theory calculations." J.Phys.Chem.102・38. 7435-7441 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Yanase: "Conversion electron/He ion yield XAFS of SrTiO_3 thin films." Jpn.J.Appl.Phys.(in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Yanase: "Probing depth study of conversion electron/He ion yield XAFS spectroscopy on strontium titanate thin films." Anal.Sciences. (in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takahashi: "Local structure analyzes of nitride thin films sputter-deposited by He-ion yield XAFS method. (in Japanese)" Zairyou. 47-6. 580-585 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Diaz-Moreno: "Molecular structure determination by EXAFS of [Y(NCS)_6]^<3-> units in solid state and in solution. A comparison with density functional theory calculations." J.Phys.Chem.102-38. 7435-7441 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Yanase: "Conversion electron/He ion yield XAFS of SrTiO_3 thin films." Jpn.J.Appl.Phys.(in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Yanase: "Probing depth study of conversion electron/He ion yield XAFS spectroscopy on strontium titanate thin films." Anal.Sciences. (in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 高橋昌男: "スパッタ成膜した窒化物薄膜のHeイオン収量XAFS法による局所構造解析" 材料. 47・6. 580-585 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] S.Diaz-Moreno: "Molecular structure determination by EXAFS of[Y(NCS)_6]^<3-> units in solid state and in solution. A comparison with density functional theory calculations." J.Phys.Chem.102・38. 7435-7441 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] E.Yanase: "Conversion electron/He ion yield XAFS of SrTiO_3 thin films." Jpn.J.Appl.Phys.(in press). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] E.Yanase: "Probing depth study of conversion electron/He ion yield XAFS spectroscopy on strontium titanate thin films." Anal.Sciences. (in press). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Takahashi: "Crystal and Electronic Structures and the Corrosion Resistance for Metal Nitrides in the Tin-AIN System." J.Phys.IV. 7(C2). 1215-1216 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Iwao Watanabe: "X-ray Absorption Spectroscopy of Liquid Surface." Rev.Sci.Instrum.68. 3307-3311 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 渡辺巌(共著): "実用シンクロトロン放射光" 日刊工業新聞社, 352 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.Kikkawa: "Interface of Iron Metal/Aluminum Nitride Multilayered Composite Film." Appl.Phys.Lett.68・(19). 2756-2758 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 柳瀬悦也: "大気圧Heイオン収量X線吸収微細構造法(XAFS)による薄膜試料の分析" 応用物理. 65・(12). 1267-1270 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Sawa: "Temperature Dependence of EXAFS for Bromide Ions in Solution." J.Chem.Soc.,Faraday Trans.,. 91・(24). 4389-4393 (1995)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

URL: 

公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi