| 研究課題/領域番号 |
08455163
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・機器工学
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
松村 英樹 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (90111682)
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| 研究分担者 |
増田 淳 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助手 (30283154)
和泉 亮 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助手 (30223043)
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| 研究期間 (年度) |
1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
6,700千円 (直接経費: 6,700千円)
1996年度: 6,700千円 (直接経費: 6,700千円)
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| キーワード | 超微細加工 / Ti / ナノテクノロジー / Ti酸化物 / MITT / 陽極酸化 / ナノテクノリジ- |
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| 研究概要 |
本研究は、金属とその金属の酸化物である絶縁体とを用い、従来の半導体を用いたものとは全く異なる原理で動作するトランジスタを開発することを念頭に行なったものである。本研究の方法により、ナノ・メータ・サイズのトランジスタを実現し、現在の半導体集積回路の集積度を一挙に1000倍以上引き上げることを究極の目標としているが、本研究ではそのための基礎的要件、特に10ナノ・メータ・サイズの超微細スリットを有するマスクを形成する新手法を提案し、その妥当性について検討を加えた。
本研究提案の方法とは、金属配線の一部をドライ・エッチングにより垂直に切り立たせ、その端面に横方向に金属酸化物を成長させ、さらに金属配線の残りの部分に金属を堆積することで、横方向に金属/金属酸化物/金属の構造を形成し、その金属酸化物部分をエッチングしてその厚み相当の開口部を有するマスクを製作するというものである。そして、金属としてチタンを、酸化物の形成法としては陽極酸化法を用いることでマスクの製作を試み、その形状を電子顕微鏡、原子間力顕微鏡により観察した。その結果、本研究提案の方法により、20nmの幅のスリットを持つマスクの製作に成功し、本研究提案の方法の有効性を確認した。
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