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光放射圧を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 08555035
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

池野 順一  豊橋技術科学大学, 工作センター, 講師 (10184441)

研究期間 (年度) 1996 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
6,500千円 (直接経費: 6,500千円)
1997年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
1996年度: 5,700千円 (直接経費: 5,700千円)
キーワードレーザトラッピング / 微小組立技術 / 微細加工 / 微粒子 / 光放射圧 / YAGレーザ / 超精密加工 / レーザ加工
研究概要

本研究では、光放射圧で微粒子を操作し、各種微粒子の組立てにより機能性材料を形成しつつ、3次元微小構造物を組立てる新しい技術の確立を目指した。その結果,空中での微粒子操作を世界に先駆けて成功させ,この操作法を利用することで,大気中での3次元微小構造物の組立技術が確立できた.以下,操作法,組立法について詳述する.まず,大気中で基板上に置かれた微粒子は,Q-swを用い幾つかの工夫によって捕捉可能であることが分かった.さらに,捕捉された微粒子の挙動を徹底的に観測し,対物レンズや基板の影響などを受ける特異で新たな物理現象が含まれていることも見出した.この操作法の開発によって,微粒子は空中を3次元で自在に操作できるようになった.本操作法を用いて,微粒子を垂直方向に浮上させ,ガルバノミラーにて水平操作することで微粒子からなる3次元微小構造物の組み立てに成功した.さらに,個々の微粒子を強固に組み立てるため,接着剤を用いた手法を開発し,構造物の強度を著しく向上させることに成功した.次に,構造物の効率的な組立法として,一本のレーザ光で複数微粒子を同時に配列させて搬送する自動操作システムを開発した.さらに,コンピュータによる個々の微粒子の同時かつ個別の運動制御が可能なシステムを構築した.
以上より,本研究の目的である「光放射圧を利用した3次元微小構造物の全く新しい組立技術の確立」が達成できた.

報告書

(3件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (29件)

  • [文献書誌] 沢木 大輔: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第5報)" 精密工学会学術講演論文集. 479-480 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 沢木 大輔: "同上(第6報)" 同上. 481-482 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森 幸博: "同上(第7報)" 同上. 1123-1124 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 沢木 大輔: "同上(第8報)" 同上. 1125-1126 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森 幸博: "同上(第9報)" 同上. 360-360 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森 幸博: "同上(第10報)" 同上. 564-564 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 池野 順一: "CMPのサイエンス" (株)サイエンスフォーラム, 373 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 池野 順一: "精密加工の最先端技術" 工業調査会, 329 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Sawaki, J.Ikeno, Y.Mori, O,Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 5th report, -Assembly of fine particles in Air-" Proceeding of JSPE. 479-480 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Sawaki, J.Ikeno, Y.Mori, O,Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 6th report, -Manipulation of Ultra fine particles-" Proceeding of JSPE. 481-482 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Mori, J.Ikeno, D.Sawaki, O.Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 7th report, -Micro-structure Tempered by Bonding Agent-" Proceeding of JSPE. 1123-1124 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Sawaki, J.Ikeno, Y.Mori, O,Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 8th report, -Arrangement and Motion Control of fine particles-" Proceeding of JSPE. 1125-1126 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Sawaki, Y.Mori, M.Yamamoto, J.Ikeno, O.Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 9th report, -Elucidation of Levitation-" Proceeding of JSPE. 360. (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Mori, J.Ikeno, O.Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 10th report, -Effect of Objects on manipulation of a fine particl-" Proceeding of JSPE. 564. (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Sawaki, J.Ikeno, O.Horiuchi: "Study on a manipulation of fine particles by laser beam and the applications, 11th report, -3 Dementional manipulation of fine particles in Air-" Proceeding of JSPE. 565. (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 澤木大輔: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第5報)〜空中における微粒子の組立〜" 精密工学会学術講演論文集. 479-480 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 澤木大輔: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第6報)〜超微粒子の操作〜" 精密工学会学術講演論文集. 481-482 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 森幸博: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第7報)〜接着剤を用いた微粒子の3次元組立〜" 精密工学会学術講演論文集. 1123-1124 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 澤木大輔: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第8報)〜定点配列と運動制御〜" 精密工学会学術講演論文集. 1125-1126 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 森幸博: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第9報)〜浮上現象の解明〜" 精密工学会学術講演論文集. 360 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 池野 順一: "結晶化ガラスのYAGレーザ加工〜クラックフリー・3次元加工法の開発〜" 精密工学会学術講演論文集. 232 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 柏木 正弘: "CMPのサイエンス" (株)サイエンスフォーラム, 373 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 池野順一 他2: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第3報)" 精密工学会講演論文集. 703-704 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 池野順一 他2: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第4報)" 精密工学会講演論文集. 705-706 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 澤木大輔 他3: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第5報)" 精密工学会講演論文集. 479-480 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 澤木大輔 他3: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第6報)" 精密工学会講演論文集. 481-482 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 森 幸博 他3: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第7報)" 精密工学会講演論文集. (予定). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 澤木大輔 他3: "レーザ光線による微粒子の操作とその応用に関する研究(第8報)" 精密工学会講演論文集. (予定). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 日本学術振興会第136委員会編: "精密加工の最先端技術" 工業調査会, 329 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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