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低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用

研究課題

研究課題/領域番号 08555067
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 電力工学・電気機器工学
研究機関金沢大学

研究代表者

作田 忠裕  金沢大学, 工学部, 教授 (80135318)

研究分担者 宮本 昌弘  富士電機総合研究所, 課長
滝川 浩史  豊橋技術科学大学, 工学部, 助教授 (90226952)
田中 康規  金沢大学, 工学部, 助手 (90303263)
榊原 建樹  豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (10023243)
研究期間 (年度) 1996 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
12,100千円 (直接経費: 12,100千円)
1998年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
1997年度: 4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
1996年度: 6,000千円 (直接経費: 6,000千円)
キーワード低周波磁界 / 大口径プラズマ / プラズマ・プロセシング / 高速プロセシング / インバータ電源 / クラスター / フラーレン / 高速プロセミング / 熱プラズマプロセシング / 均一プロセシング
研究概要

平成10年度では、周波数450kHzにおいて、低周波コイル形状を大口径150mm直径、長さを150mmとし、従来にはない広い領域のプラズマを発生させることに成功した。最小所要のプラズマ電力は、周波数450kHzで約30kWであることを確認した。また、これを用いた巨大クラスタ一C60等の生成実験を、フラーレン合成に適しているといわれるHeおよびCO2ガス雰囲気中でのプラズマで行った。
1) プラズマ高温場の分光計測 平成8年度で設備備品として購入した450KHz低周波電源を用いて大口径のAr、He、CO2等種々の誘導プラズマを形成させ、電力30kWにおいていずれのプラズマも発生可能であることがわかった。特に、CO2混入プラズマはAr/He希ガスプラズマと比べプラズマ温度が高くなることが判明した。
2) 大口径プラズマへの微粒子負荷の導入 これら誘導プラズマ中に負荷としての原材料炭素粉末を注入し、高速分光測定によりプラズマ温度場の安定性を測定した結果、いずれのプラズマも中心温度の低下が認められるものの、全体としての高反応場は安定に維持することができた。
3) クラスター生成実験 この低周波誘導熱プラズマ炉を用いて実際にクラスター生成実験を進めた。原料に炭素粉末を用い、炭素系フラーレンの連続生成実験を行った。プロセスパラメータは、プラズマへの入力電力、原料注入速度、Ar、He、CO2ガスの構成比とする。特徴的なことは、CO2プラズマではC60フラーレンの生成がほとんどみられなかったが、Ar、Heを主体とする希ガス中プラズマにおいて大量のC60生成が可能であることが判明した。これは、希ガスによる炭素原子の急速冷却効果が極めて重要であることを示している。

報告書

(4件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (27件)

  • [文献書誌] 作田,田中,香月,石垣: "パルス変調された高周波誘導熱プラズマの発生" 日本金属学会誌. 63-1. 2-8 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.T〓ika,M.Takahashi,K.C.Paul,T.Sakuta: "Transport Thermariynamic Properties of N_2/O_2 Matures it Different Admixture Ratio" International Workshop on High Voltage Engineering IWHV99. I. 103-108 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakata,K.C.Paul,S.Hata〓a,M.Takahashi,Y.Tanaka: "Spectroscopic.Meascuremants of SF_6 and N_2 Induction Plasmas at Atmospheric Pressure" International Workshop on High Voltage Engineering IWHV99. I. 109-114 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 田中,作田: "化学非平衡モデルによる誘導SF_6熱プラズマの過波解約" 電気学会放電研究会 資料. 1. 29-34 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.C.Paul,T.Takoshima,T.Sakuta: "Coppey Vapor Effect on RF Inductively Coupled SF_6 Plasmas" IEEE Trans, on Plasma Sci. 26-3. 1000-1009 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakuta, Y.tanaka, M.Katsuki, T.Ishigaki: "Generation of inductively coupled thermal plasma with pulse modulated mode." J.Japan Inst.Metals.Vol.63, No.1. 2-8 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Tanaka, M.Takahashi, K.C.Paul: "T,Sakuta, Transport and Thermodynamic Properties of N2/O2 Mixtures at Different Admixture Ratio" International Workshop on High Voltage Engineering IWHV99. Vol.I. 103-108 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakuta, K.C.Paul, S.Hatazawa, M.Takahashi, Y.Tanaka: "Spectroscopic Measurements of SF6 and N2 Induction Plasmas at Atmospheric Pressure" International Workshop on High Voltage Engineering IWHV99. Vol.I. 103-108 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Tanaka and T.Sakuta: "Numerical Analysis on Transient Behavior of Induction SF6 Thermal Plasma by Non-Chemical Equilibrium Model" IEEJ Workshop. ED-98-232. 29-34 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.C.Paul, T.Takashima, T.Sakuta: "Copper Vapor Effect on RF Inductively Coulped SF6 Plasmas" IEEE Trans. On Plasma Sci.Vol.26, No.3. 1000-1009 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 作田,田中,香月,石垣: "パルス変調された高周波誘導熱プラズマの発生" 日本金属学会誌. 63-1. 2-8 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Tanaka,M.Takahasi,K.C.Paul,T.Sakuta: "Transport and Thermodynamic Properties of N_2/O_2 Mixtures at Different Admixture Ratio" International Workshop on High Voltage Engineering IWHV'99. I. 103-108 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakuta,K.C.Paul,S.Hatazawa,M.Takahashi,Y.Tanaka: "Spectroscopic Measurements of SF_6 and N_2 Induction Plasmas at Atmospheric Pressure" International Workshop on High Voltage Engineering IWHV'99. I. 109-114 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 田中,作田: "化学非平衡モデルによる誘導SF_6熱プラズマの過渡解析" 電気学会 放電研究会資料. 1. 29-34 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.C.Paul,T.Takashima,T.Sakuta: "Copper Vapor Effect on RF Inductively Coupled SF_6 Plasmas" IEEE Trans,on Plasma Sci. 26-3. 1000-1009 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 宮本昌弘, 作田忠裕他: "50kHz磁界による大口径誘導熱プラズマの発生" 電気学会論文誌B. Vol.117-B. 671-678 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.C.Paul, T.Sakuta: "Transport and Thermodynamic Properties of SF_6 Gas Contaminated by PTFE reinforced with Al_2O_3 and BN Particles" IEEE Trans.on Plasma Science. Vol.25. 786-798 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakuta 他: "Generation of 50-kHz Large Area Induction Therinal Plasma for High Rate,Vniform Processing" IEEE Trans. on Plasma Science. Vol.25. 1029-1033 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakuta 他: "Generation of Large Area He/CO_2 Induction Plasma for C_<60> Fullerene Synthesis" 1st Asia-Pacific Int.Symp.Basic and Appl.of Plasma Tech. 55-58 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ishigaki, T.Sakuta 他: "Generation of Pulse-modulated Induction thermol Plasma at atmospheric pressure" Appl.Phys.Lett.71. 3787-3789 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] J.Mostaghimi, T.Sakuta 他: "Transient response of the radio frequency inductively coupled Plasma to a sudden change in power" J.of Applied Physics. 83. 1898-1908 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakuta: "Dynamic behavior and stability of induction thermal plasma" Proc.3rd Asia Pacific Conf.on Plasma Chemistry. vol.2. 385-392 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 番匠俊行,作田忠裕 他: "パルス状電磁界を印加した誘導熱プラズマの解析" 電気学会開閉保護・高電圧合同研究会. SP-96-31. 45-54 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 中田隆雄,作田忠裕 他: "SF_6誘導プラズマの分光観測" 電気学会開閉保護・高電圧合同研究会. SP-96-33. 63-72 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 作田忠裕,西田友佐 他: "フラーレン生成用大口径誘導プラズマの発生と分光観測" 電気学会開閉保護・高電圧合同研究会. SP-96-76. 141-149 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K.C.Paul,T.Sakuta 他: "The dynamic behavior of wall-stabilized SF_6 arcs contaminated by Cu and PTFE vapours" J,Phys.D : Applied Physics. 30. 103-112 (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 宮本昌弘,作田忠裕 他: "50kHz磁界による大口径誘導熱プラズマの発生" 電気学会論文誌B. (1997.5月掲載決定). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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