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プロセッシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 08558045
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 プラズマ理工学
研究機関九州大学

研究代表者

村岡 克紀  九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (80038546)

研究分担者 伊藤 正博  日本真空(株), 技術開発部, 室長(研究職)
林 俊雄  日本真空(株), 技術開発部, 部長(研究職)
内田 岱二郎  日本真空(株), 副社長(研究職)
MARK Bowden (BOWDEN Mark)  九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (10260720)
内野 喜一郎  九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (10160285)
研究期間 (年度) 1996 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
13,300千円 (直接経費: 13,300千円)
1998年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1997年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1996年度: 9,500千円 (直接経費: 9,500千円)
キーワード磁気中性線放電 / プロセシングプラズマ / カオス / 電子挙動 / レーザー応用計測 / エッチング / 容量結合方式 / スパッタリング / 電子密度・温度 / レーザートムソン散乱法 / レーザー誘起蛍光法 / 誘導結合方式 / 磁気中性線 / 電子温度 / 電子密度 / 電子速度分布関数 / 換算電界 / プロセスプラズマ / RF放電 / 磁場強度 / 磁場こう配
研究概要

本研究では、磁気中性線放電(NLD)プラズマの生成機構や物理的特性の解明を理論的および実験的に行った。また、NLDプラズマをプロセスへ応用し、酸化膜に対しての高速・超均一・超微細なエッチング特性を評価した。まず、2次元的な電磁場配位を用いてNLDにおける電子挙動を理論的にモデル化した。このNLの周りで電子はカオス的運動をし、無衝突領域においても高周波電場より効率的な加熱を受けることを示した。次に実験により、NL周りでの電子挙動について調べた。その結果、NLDプラズマ内の励起・電離はNL上で集中的に起こり、NL上での電子の加熱がNLDプラズマの生成に本質的役割を果たしていることを明らかにした。これらの実験結果は、上記の2次元的理論モデルによる解析結果と一致するものであったが、プラズマ生成効率の磁場勾配依存性については、実験結果と2次元モデルでは矛盾が生じた。すなわち、NL周りでの磁場勾配が小さい程2次元モデルではプラズマの生成が頻繁になることが予想されたが、実験的にはある有限の磁場勾配の値に対してプラズマ生成が最大となった。この矛盾を解消するため、3次元的な電磁場配位モデルを提案するとともに、これに電子衝突および高周波誘導電界の空間的減衰の効果を取り入れた。このモデルにより、プラズマ生成効率を最大とする磁場勾配の存在が示され、その最適値は実験結果と一致するものであった。これにより、NLD装置設計の指針が得られた。応用に関しては、NLDプラズマを用いたシリコン酸化膜エッチングの特性を調べた。エッチ速度として約1μm/minが得られた。また、ホールパターンをエッチングした時の穴は垂直形状が得られた。これらエッチ速度とホール形状共に、同一条件下においてICPでエッチングしたときのものより優れた結果であった。さらに、スパッタリング用途への応用のため、容量結合方式のNLDを提案した。

報告書

(4件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] T.Sakoda, H.Iwamiya, K.Uchino, K.Muraoka, M.Itoh, T.Uchida: "Electron Temperature and Density Profiles in a Neutral Loop Discharge Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 36・1A/B. 67-69 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakoda, T.Miyao, K.Uchino and K.Muraoka: "Studies of a Magnetic Neutral Loop Discharge Based on Laser Diagnostics of Electron Behavior and Atomic Processes" Japanese Journal of Applied Physics. 36・11. 6981-6985 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Tsuboi, T.Hayashi and T.Uchida: "Observation of Induction Power Dependence on the Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Thermalization Phenomena" Japanese Journal of Applied Physics. 36・10. 6540-6544 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.Chen, M.Itoh, T.Hayashi and T.Uchida: "Dry Etch Process in Magnetic Neutral Loop Discharge. Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 37・1. 332-336 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Uchida: "Magnetically Neutral Loop Discharged Plasma Sources and System" Journal of Vacuum Science & Technology A. 16・3. 1529-1536 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.Chen, M.Itoh, T.Hayashi and T.Uchida: "SiO_n Etching in Magnetic Neutral Loop Dischage Plasma" Journal of Vacuum Science & Technology A. 16・3. 1594-1599 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 陳 巍,林 俊雄,伊藤正博,坪井秀夫,内田岱二郎: "4.磁気中性線放電(NLD)プラズマ" プラズマ核融合学会誌. 74・3. 258-265 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Z.Yoshida, H.Asakura, H.Kakuno, J.Morikawa, K.Takemura, S.Takizawa and T.Uchida: "Anomalous Resistance Induced by Chaos of Electron Motion and its Application to Plasma Production" Physical Review Letters. 81・12. 2458-2461 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakoda, H.Iwamiya, K.Uchino, K.Muraoka, M.Itoh and T.Uchida: "Electron Temperature and Density Profiles in a Neutral Loop Discharge Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.36, No.1A/B. 67-69 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sakoda, T.Miyao, K.Uchino and K.Muraoka: "Studies of a Magnetic Neutral Loop Discharge Based on Laser Diagnostics of Electron Behavior and Atomic Processes" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.36, No.11. 6981-6985 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Tsuboi, T.Hayashi and T.Uchida: "Observation of Induction Power Dependence on the Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Thermalization Phenomena" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.36, No.10. 6540-6544 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.Chen, M.Itoh, T.Hayashi and T.Uchida: "Dry Etch Process in Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.37, No.1. 332-336 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Uchida: "Magnetically Neutral Loop Discharged Plasma Sources and System" Journal of Vacum Science & Technology A. Vol.16, No.3. 1529-1536 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.Chen, M.Itoh, T.Hayashi and T.Uchida: "SiO_2 Etching in Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma" Journal of Vacum Science & Technology A. Vol.16, No.3. 1594-1599 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.Chen, T.Hayashi, M.Itoh, H.Tsuboi and T.Uchida: "Magnetic Neutral Loop Discharge (NLD) Plasma" Journal of Plasma and Fusion Research. Vol.74, No.3. 258-265 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Z.Yoshida, H.Asakura, H.Kakuno, J.Morikawa, K.Takemura, S.Takizawa and T.Uchida: "Anomalous Resistance Induced by Chaos of Electron Motion and its Applcation to Plasma Production" Physical Review Letters. Vol.81, No.12. 2458-2461 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 陳巍,林俊雄,他: "4.磁気中性線放電(NLD)プラズマ" プラズマ・核融合学会誌. 74・3. 258-265 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] W.Chen,M.Itoh,他: "Dry Etch Process in Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 37・1. 332-336 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] T.Uchida: "Magnetically Natural Loop Discharge Plasma Sources and System" Jounal of Vacuum Science and Technology A. 16・3. 1529-1536 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] W.Chen,M.Itoh,他: "Sio_2 Etching in Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma" Jounal of Vacuum Science and Technology A. 16・3. 1594-1598 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakoda,H.Iwamiya,K.Uchino,K.Muraoka,M.Itoh and T.Uchida: "Electron Temperature and Density Profiles in a Neutral Loop Discharge Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.36 No.1A/B. L67-L69 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakoda,T.Miyao,K.Uchino and K.Muraoka: "Studies of a Magnetic Neutral Loop Discharge Based on Laser Diagnostics of Electron Behavior and Atomic Processes" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.36 No.11. 6981-6985 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 迫田達也、川上 真、宮尾貴幸、内野喜一郎、村岡克紀: "磁気中性線放電プラズマの生成条件に関する研究" 九州大学大学院総合理工学研究科報告. 第19巻 第3号. 323-329 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakoda,H.Iwamiya,K.Uchino,K.Muraoka,M.Itoh and T.Ochida: "Electron Temperature and Density Profiles in a Neutral Loop Discharge Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. Vol.36 No.1A/B. L67-L69 (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2021-04-07  

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