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電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 08650001
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関北海道大学

研究代表者

田中 啓司  北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20002313)

研究分担者 山口 雅史  北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (80239912)
研究期間 (年度) 1996 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1997年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1996年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワードカルコゲナイドガラス / ガラス転移 / 微細加工 / 電子励起 / 走査型トンネル顕微鏡 / 電子加工 / 光誘起現象 / ラマン散乱 / イオン伝導 / ガラス細工
研究概要

ガラスを加熱すると水飴状に軟らかくなる「ガラス転移」を起こすことは古くから知られているが、本研究は当研究室で1995年に発見した「電子的ガラス転移」のメカニズムを明らかとし、かつ応用を考えることを目的として開始したものである。
その結果、以下に要約するような成果を得た。
1.光ばかりでなく、電子線や走査型トンネル顕微鏡STMによっても微細加工できることを発見した。電子線やSTMを用いると、サブミクロンの微細加工ができる。実際に、マイクロレンズや回折格子を試作した。
2.As_2S_3のような特定のカルコゲナイドガラスだけでなく、銀や銅を含むカルコゲナイドガラスでも、似たような現象が発現することを発見した。酸化物ガラスでは、原子間の結合に共有性が少ないので、類似の現象が発現しないと考えられる。
3.微細加工がなぜ可能なのかについて多くの新知見を得た。たとえば光を用いる場合には、自由キャリヤ-の励起が重要であることがわかった。
ただし、電子励起によってなぜミクロな流動などが生じるかについては、ナノスケールでの実験手段が十分でないことから、未知の点が多く、さらに研究を進めているところである。

報告書

(3件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (40件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (40件)

  • [文献書誌] N., Toyosawa: "Photocurrent enhancement in light-soaked As_2S_3 glass" Solid State Commun.97・7. 623-626 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K., Tanaka: "Photoinduced phenomena in As_2S_3 glass under sub-bandgap" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 714-718 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M., Itoh: "Transient photoconduction and photoinduced phenomena in ion-conducting amorphous semiconductors" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 684-687 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N., Yoshida: "Photo-and electron-induced chemical modification in Ag-As(Ge)-S(Se) glasses" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 749-752 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K., Tanaka: "Photoinduced processes in chalcogenide glasses" Current Opinion in Solid State and Mater.Sci.1・4. 567-571 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K., Tanaka: "The constant-photocurrent method applied to chalcogenide materials" Philos.Mag.Lett.74・4. 281-287 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K., Tanaka: "Electron beam induced reliefs in chalcogenide glasses" Appl.Phys.Lett.70・2. 261-263 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N., Yoshida: "Direct fabrication of microrelief patterns by electron-beam exposure in Ag-As-S glasses" Appl.Phys.Lett.70・6. 779-781 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N., Yoshida: "Ag migration in Ag-As-S glasses induced by electron-beam irradiation" J.Non-Cryst.Solids. 210. 119-129 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N., Toyosawa: "Photocurrent enhancement in light-soaked chalcogenide glasses" Phys.Rev.B. 56・12. 7416-7421 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K., Tanaka: "Direct microfabrication of chalcogenide glasses by light and electron-beam exposure" Solid State Phenomena. 55. 153-158 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M., Ohto: "Scanning tunneling spectroscopy of Ag-As-Se ion-conducting glasses" Appl.Phys.Lett.71・23. 3409-3411 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Toyosawa: "Photocurrent enhancement in light-soaked As_2S_3glass" Solid State Commun.97-7. 623-626 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Photoinduced phenomena in As_2S_3glass under sub-bandgap excitation" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 714-718 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Itoh: "Transient photoconduction and photoinduced phenomena in ion-conducting amorphous semiconductors" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 684-687 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Photo-and electron-induced chemical modifications in Ag-As (Ge) -S (Se) glasses" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 749-752 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Photoinduced processes in chalcogenide glasses" Current Opinion in Solid State and Mater.Sci.1-4. 567-571 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "The constant-photocurrent method applied to chalcogenide materials" Philos.Mag.Lett.74-4. 281-287 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Electron beam induced reliefs in chalcogenide glasses" Appl.Phys.Lett.70-2. 261-263 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Direct fabrication of microrelief patterns by electron-beam exposure in Ag-As-S glasses" Appl.Phys.Lett.70-6. 779-781 (1997)

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    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Ag migration in Ag-As-S glasses induced by electron-beam irradiation" J.Non-Crysts.Solids. 210. 119-129 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Toyosawa: "Photocurrent enhancement in light-soaked chalcogenide glasses" Phys.Rev.B. 56-12. 7416-7421 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Direct microfabrication of chalcogenide glasses by light and electron-beam exposure" Solid State Phenomena. 55. 153-158 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Ohto: "Scanning tunneling spectroscopy of Ag-As-Se ion-conducting glasses" Appl.Phys.Lett.71-23. 3409-3411 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Toyosawa: "Photocurrent enhancement in light-soaked As_2S_3 glass" Solid State Commun.97・7. 623-626 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Photoinduced phenomena in As_2S_3 glass under sub-bandgap excitation" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 714-718 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Itoh: "Transient photoconduction and photoinduced phenomena in ion-conducting amorphous semiconductors" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 684-687 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Photo- and electron-induced chemical modifications in Ag-As(Ge)-S(Se) glasses" J.Non-Cryst.Solids. 198-200. 749-752 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Photoinduced processes in chalcogenide glasses" Current Opinion in Solid State and Mater.Sci.1・4. 567-571 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "The constant-photocurrent method applied to chalcogenide materials" Philos.Mag.Lett.74・4. 281-287 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Electron beam induced reliefs in chalcogenide glasses" Appl.Phys.Lett.70・2. 261-263 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Direct fabrication of microrelief patterns by electron-beam exposure in Ag-As-S glasses" Appl.Phys.Lett.70・6. 779-781 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Ag migration in Ag-As-S glasses induced by electron-beam irradiation" J.Non-Crysts.Solids. 210. 119-129 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Toyosawa: "Photocurrent enhancement in light-soaked chalcogenide glasses" Phys.Rev.B. 56・12. 7416-7421 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Direct microfabrication of chalcogenide glasses by light and electron-beam exposure" Solid State Phenomena. 55. 153-158 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Ohto: "Scanning tunneling spectroscopy of Ag-As-Se ion-conducting glasses" Appl.Phys.Lett.71・23. 3409-3411 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 田中啓司: "カルコゲナイドガラスの研究の一展開「電子励起によるnew glass 創製に向けて」" NEW GLASS. 11・4. 4-9 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 田中啓司: "光ガラス細工「電子励起によるカルゴゲナイドガラスの微細加工」" 応用物理. 66・3. 252-255 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Electron beam induced reliefs in chalcogenidc glasses" Applied Physics Letters. 70・2. 261-263 (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] N.Yoshida: "Direct fabrication of microrelief patterns by electron-beam exposure in Ag-As-S glasses" Applied Physics Letters. (印刷中). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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