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表面再構成構造のマイクロバランスおよび光を用いたその場測定

研究課題

研究課題/領域番号 08650006
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関東京農工大学

研究代表者

纐纈 明伯  東京農工大学, 工学部, 助教授 (10111626)

研究期間 (年度) 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1996年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワードその場測定 / マイクロバランス / 光 / GaAs / 再構成表面 / 解離吸着
研究概要

本研究では、結晶成長時にエネルギーを安定させるために成長最表面で起こる結晶内部と周期の異なる表面再構成構造のその場測定を行い、結晶方位や成長条件により多く存在する再構成構造を明らかにするために、以下の研究を行った。
1.現在、電子線などを用いた高真空中の観察で明らかになっている種々の再構成構造をマイクロバランスを用いたその場観察方法で定量的に明らかにする、
2.高真空中でなく、実際の結晶成長が行われる常圧付近の再構成表面を光を用いたその場測定装置で明らかにする。
その結果、常圧においてGaAs(001)GaおよびGaAs(001)As表面の再構成構造が明らかになった。具体的には、GaAs(001)Ga面においては、キャリヤ-ガスである水素が最表面のGa原子に解離吸着し、Ga-Gaダイマー構造がAs_2-Ga-HのSP2結合に変化する、また、水素分圧と水素原子の表面被覆率の関係を明らかにした。
さらに、GaAs(001)As面からのAs脱離により、常圧でも(2x4)再構成面が形成されることを定量的に初めて明らかにした。

報告書

(1件)
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (3件)

  • [文献書誌] A.Koukitu,T.Taki,N.Takahashi,H.Seki: "In Situ Monitoring of the Chemisorption of Hydrogen Atoms on (001) GaAs Surface in GaAs Atomic Layer Epitaxy" Jpn.J.Appl.Phys.35. L710-L712 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] A.Koukitu,T.Taki: "In Situ Monitoring of hydrogen adsorption on (001) Ga surface in GaAs ALE" Applied Surface Science. (in press). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 共著:A.Koukitu: "Advances in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms" Elsevier editor : T.Nishinaga 他, 608 (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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