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電子シャワー照射による吸着分子の解難・脱離機構及び微細金属膜形成の基礎研究

研究課題

研究課題/領域番号 08650033
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 表面界面物性
研究機関神戸大学

研究代表者

本郷 昭三  神戸大学, 工学部, 助教授 (00029232)

研究分担者 浦野 俊夫  神戸大学, 工学部, 助教授 (40107983)
研究期間 (年度) 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1996年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワードMDS / TDS / TPT / 昇温脱離分光法 / Si(100) / hydrogen / potassium / sodium
研究概要

1、あらかじめ重水素を吸着させておいたSi表面にNaを後から吸着させると、重水素のおよそ半分が脱離し、残りはNaDを形成する。5層のNaを蒸着しても表面には重水素とNaの結合が見られる。
2、重水素でダングリングボンドを終端したSi(100))表面に1ML異常のNaを吸着させたとき、MDSスペクトルの8cVにNaと重水素の結合による新しいピークが観測された。このピークはSiと結合していた重水素が解離し、Naと結合したために現われた。つまり、Si(100)表面の重水素はNaを多層吸着させると50%程度がSi-D結合状態のまま残り、解離した重水素はNa原子と新たな結合を作ることがわかった。
3、重水素が吸着したシリコン基板にCsを吸着する場合:先に基板に吸着した重水素はCsが吸着する時にはその半分程度は基板との結合を保ち、残りは基板近くでCs-Dの結合を作る。その一部はCsの真空側にも移動するが、そのような位置にはCsが優先的に吸着するので、一部のCsは島状に吸着することになる。結果として重水素が最外表面に現れることはない。Csが多層吸着する場合にも重水素はCs層内に拡散することはなく、最外表面にも現われない。従ってほとんどのCsは重水素の影響を受けずに多層のCsして存在する。
4、Csが吸着したSi基板に重水素を吸着する場合:先に基板に吸着したCsは重水素の吸着によってもその位置を変えないが、Cs-Dの結合を作る。重水素はSi基板とも結合を作るが、Cs層内にも拡散したりして存在し、Cs-Dの結合を作る。Cs-Dの結合はCsと重水素の量が共に多いほど安定である。最も安定な場合で約80℃で切れ、この温度でCsと重水素は同時に脱離する。

報告書

(1件)
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] S.Hongo: "New desorption state of D_2 from deuterium-termenated Si(100)2×1 by pottasium adsorption" Surface Science. 357/358. 698-702 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] S.Hongo: "Thermal Desorption Study of Pottassium from K/Deuterated Si(100)2×1" Applied Surface Science. (印刷中).

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] S.Hongo: "A study ofthe Surface Electronic Properties of Na/D/Si(100) by Metastable Deexutation Spectroscopy" Applied Surface Science. (印刷中).

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K.Ojima: "chemisorption of Ba on Deuteriun-terminateo Si(100) Surface" Applied Surface Science. (印刷中).

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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