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半導体空間光変調器の開発

研究課題

研究課題/領域番号 08650047
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関金沢大学

研究代表者

山田 実  金沢大学, 工学部, 教授 (80110609)

研究分担者 桑村 有司  金沢大学, 工学部, 講師 (10195612)
研究期間 (年度) 1996 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1997年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1996年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワード半導体光変調器 / 空間光変調器 / 面型光変長器 / 光論理演算 / 光コンピュータ / 一方向性光増幅器 / 進行波型 / 電子ビーム / スマート ピクセル / スモ-ルピクセル / 電子空乏化 / 電界効果 / 面型素子
研究概要

1.吸収型光変調器の開発 初年度はp^+nn^+:GaAs基本構造を19対積層した面型変調器を縦6×横6個、2次元集積化した空間光変調器を試作し,「K」と言う文字画像を出力(7.5Vの駆動電圧で消光比8dB)することができた.しかしながら各素子への電気配線がないことや各素子間の電気的絶縁性が悪いなどの実用化に向けての問題点があったため、次年度は配線を含めて一体化した10行10列に2次元集積化した半導体空間光変調器の試作を行った.電気配線法として導電性透明膜を用いて配線パターンを施したガラス基板と素子を集積化した半導体基板とを張り合わせる方法を利用した.また、集積化に適した構造に素子構造を改良し、動作電圧以上の10V程度までは各素子の電気的干渉をなくして独立に各素子を動作することができ、かつ電気配線数を従来の1/2に減らすことができた.素子作製の歩留り(1/3)や素子特性(7Vの電圧変化で50%の消光)は不十分であったが、空間光変調器の作成の基盤技術を確立することができた.
一方、理論解析では、5Vの駆動電圧で消光比10〜20dB、挿入損1〜2dBを目標として透過タイプの面型光変調器の素子構造の設計、最適化を行った.動作速度としては表面積が10×10um^2の素子で数GHzが期待できることがわかった.
2.進行波光相互作用の基礎研究 電子ビームにより光を一方向にのみ増幅する光増幅器の実現可能性を理論的に検討した.電磁界の一部が真空領域にしみ出す構造の光導波路に光を進行させて位相速度を下げ、真空領域を進行している電子ビームがこの光を励起する.特に電子の散乱が与える影響や光波と電子波の位相整合条件などについて、密度行列の手法を用いて解析し、増幅を得るための条件や利得定数を示した.数値例としては、60Kボルトの電子加速により、5cmの相互作用で数〜数十倍の光増幅が可能であることがわかった.

報告書

(3件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (35件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (35件)

  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Analysis of Operating Mechanism in Semiconductor Optical Modulator with Electron-Depleting Absorption Control" Electronics and Communications in Japan Part2. Vol.79・No.5. 12-23 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "Method of Designing a Corrugated Optical Waveguide Filter" Optical Review. Vol.3・No.5. 345-350 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "A Design Method for Dielectric Multilayer Optical Filters" Optical Review. Vol.3・No.6B. 512-517 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Analysis of Modified Franz-Keldysh Effect under Influence of Electronic Interband Relaxation Phenomena" Jpn.J.Appl.Phys.Part1. Vol.35・No.12A. 6117-6125 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Experimental Evidence of Mode Competition Phenomena on the Feedback Induced Noise in Semiconductor Lasers" IEICE Transactions on Electronics. Vol.E79-c・No.12. 1766-1768 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Intensity Noise in Semiconductor Lasers" International Journal of Optoelectronics. Vol.10・No.5. 409-415 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "Design Method for Optical Waveguide Filters Having Corrugation Structures by Corrugation Width Modulation" Optical Review. Vol.4・No.3. 402-407 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 桑村 有司: "電子空元化を用いた平面型半導体光変調器の設計および試作" 電子情報通信学会講文誌C-I. Vol.J81-C-I・No.2. 55-65 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "A Theoretical Analysis of Quantum Noise in Semiconductor Lasers Operating with Self-sustained Pulsation" IEICE Transations on Electronics. Vol.E81-C・No.2. 290-298 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 高田 晴久: "ベッセル関数を基本とした多重反射点を持つ光フィルタの設計方法の検討" 電子情報通信学会講文誌C-I. Vol.J81-C-I・No.3(発表予定). (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Maustafa Ahmed: "A theoretical study on the perturbation expanded higher order nonlinear gain coefficients in injection semiconductor lasers" SPIE Proceeding. (発表予定). (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Computer Simulation of Feedback Induced Noise in Semiconductor Lasers Operating with Self-Sustained Pulsation" IEICE Transations on Electronics. (発表予定). (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Analysis of Operation Mechanism in Semiconductor Optical Modulator with Electron-Depleting Absorption Control" Electronics and Communications in Japan. Vol.79, No.5. 12-23 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "Method of Designing a Corrugated Optical Waveguide Filter" Optical Review. Vol.3, No.5. 345-350 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "A Design Method for Dielectric Multi-layr Optical Filters" Optical Review. Vol.3, No.6B. 512-517 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Analysis of Modified Franz-Keldysh Effect under Influence of Electronic Interband Relaxation Phenomena" Jpn.J.Appl.Phys.Part1. Vol.35, No.12A. 61171-6125 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Experimental Evidence of Mode Competition Phenomena on the Feedback Induced Noise in Semiconductor Lasers" IEICE Trans.Electron.Vol.E79-C,No.12. 1766-1768 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Intensity Noise in Semiconductor Lasers" International Journal of Optoelectonics. Vol.10, No.5. 409-415 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "Design Method for Optical Waveguid Filter Having Corrugation Structures by Corrugation Width Modulation" Optical Review. Vol.4, No.3. 402-407 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Design and Fabrication of a Surface-Illminated-Type Semiconductor Optical Modulator with Electron Depleting Absorption Control" IEICE Trans. (C-I). Vol.J81-C-I,No.2. 55-65 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "A Theoretical Analysis of Quantum Noise in Semiconductor Lasers Operating with Self-Sustained Pulsation" IEICE Trans.Electron.Vol.E81-C,No.2. 290-298 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Haruhisa Takata: "A Bassel function based design method of a periodic multi-reflection optical filter" IEICE Trans. (C-I). Vol.J81-C-I,No.3. (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "A theoretical study on the perturbation expanded higher order nonlinear gain coefficient in injection semiconductor lasers" SPIE Proceeding. (to be published).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Computer Simulation of Feedback Induced Noise in Semiconductor Lasers Operating with Self-Sustained Pulsation" IEICE Trans.Electron.(to be published).

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 桑村 有司: "電子空乏化を用いた平面型半導体光変調器の設計および試作" 電子情報通信学会論文誌 C-I. Vol.J81・No.2. 55-65 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "A theoretical analysis of quantum noise in semiconductor lasers operating with self-sustained pulsation" IEICE Trans.Electron.Vol.E81-C・No.2. 290-298 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 高田 晴久: "ベッセル関数を基本とした多重反射点を持つ光フィルタの設計方法の検討" 電子情報通信学会論文誌 C-I. Vol.J81・No.3. (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "A theoretical study on the perturbation expanded higher order nonlinear gain coefficients in injection semiconductor lasers" SPIE Proceeding. (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Computer simulation of feedback induced noise in semicondoctor lasers operating with self-sustained pulsation" IEICE Trans.Electron.(1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Analysis of Operating Mechanism in Semiconductor Optical Modulator with Electron-Depleting Absorption Control" Electronics and Communications in Japan Part2. Vol.79.No.5. 12-23 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Moustafa Ahmed: "Method of Designing a Corrugated Optical Waveguide Filter" Optical Review. Vol.3.No.5. 345-350 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "A Design Method for Dielectric Multilayer Optical Filters" Optical Review. Vol.3.No.6B. 512-517 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Yuji Kuwamura: "Analysis of Modified Franz-Keldysh Effect under Influence of Electronic Interband Relaxation Phenomena" Jpn.J.Appl.Phys.Part 1. Vol.35.No.12A. pp.6117-6125 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Experimental Evidence of Mode Competition Phenomena on the Feedback Induced Noise in Semiconductor Lasers" IEICE Transactions on Electronics. Vol.E79-C.No.12. 1766-1768 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Minoru Yamada: "Intensity Noise in Semiconductor Lasers" International Journal of Optoelectronics. Vol.10.No.5. 409-415 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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