| 研究課題/領域番号 |
08650375
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 信州大学 |
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研究代表者 |
上村 喜一 信州大学, 工学部, 助教授 (40113005)
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| 研究期間 (年度) |
1996 – 1997
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| 研究課題ステータス |
完了 (1997年度)
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| 配分額 *注記 |
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1997年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1996年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
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| キーワード | 炭化珪素 / マイクロマシニン / センサ / 圧力セン / 赤外光源 / 耐環境性材料 / マイクロマシニング / 温度センサ / 圧力センサ |
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| 研究概要 |
多結晶炭化珪素薄膜の作製と評価、ならびに薄膜の加工技術の開発に加えて、センサの試作と特性評価を行った。具体的な業績の内容を以下に示した。
○炭化珪素薄膜の微細加工 フォトリソグラフィとプラズマエッチングにより、マイクロマシン要素として使用可能な程度の精度で、多結晶炭化珪素薄膜を加工する方法を確立した。プラズマエッチングに際して、二酸化珪素とのエッチング速度比を大きく保ったままで実用的な速度のエッチングが可能となる条件を見出した。
○計測用マイクロ赤外光源の試作 多結晶炭化珪素薄膜を用いた微細構造体の一つとして、多結晶炭化珪素を用いたマイクロエアブリッジを試作し、その製作工程について検討した。この構造は、計測用マイクロ赤外光源として応用可能である。
○光学読みとり式ダイヤフラム圧力センサの試作と特性評価 多結晶炭化珪素薄膜を用いたダイヤフラムを設計し、その製作工程を検討した。さらに、この構造に、読み取り用の光ファイバを接続して圧力センサを構成し、その特性を測定した結果、この構造が圧力センサとして有効であることを示した。
これらの結果から、多結晶炭化珪素薄膜が、マイクロマシニング材料として有用であることが示された。
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