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高性能弾性波・半導体機能素子の研究

研究課題

研究課題/領域番号 08650414
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関神奈川工科大学

研究代表者

宝川 幸司  神奈川工科大学, 工学部, 教授 (30257406)

研究分担者 野毛 悟  神奈川工科大学, 工学部, 助手 (10221483)
黄 啓新  神奈川工科大学, 工学部, 助手 (30257414)
宇野 武彦  神奈川工科大学, 工学部, 教授 (50257408)
研究期間 (年度) 1996 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1997年度: 200千円 (直接経費: 200千円)
1996年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワード弾性表面波 / 水晶 / エピタキシャルリフトオフ / GaAs / 双晶水晶 / センサー / y-z,LiNbO_3 / X軸反転 / センサ / 基板エッチング / ボンディング / Y-Z LiNbO_3 / 弾性表面波半導体複合素子 / GaAs半導体 / マチドフィルタ / Y-ZLiNbO_3
研究概要

エピタキシャルリフトオフに基づく弾性波と半導体素子の複合集積化のための基本プロセスの構築、この技術のベースとなる個別素子の評価、新原理素子の探索などの基礎研究に重点を置いて研究を進め、以下の成果を得た。
1.半導体素子技術:フィルム状の素子として加工しても特性劣化のないFET、およびショットキダイオード等の機能素子の要素技術となる半導体フィルム素子の製作技術を立ち上げた。
2.エピタキシャルリフトオフ技術の改良:半導体素子と弾性表面波素子の正確なアライメント、塵やなど歩留の低下を招く要因を低減したウエハハンドリング手法などのプロセス技術を確立した。GaAs基板エッチング法によるGaAs素子の剥離方法及び抵融点共晶合金Au-Sn(80-20%)によるGaAsの素子の弾性波基板へのボンディング方法を確立しました。
3.弾性波基板の加工層の評価;ボンディング条件及び半導体素子との相互作用、素子の信頼性・安定性などの諸条件に被接触基板である圧電体表面の物理的状態が極めて重要な役割を果たす。水晶基板を対象として圧電体表面および表面直下を含め、分子レベルに近い徴視的構造の加工によるダメ-ジ層の模様を明らかにした。現在素子特性との相関を調査している。
4.新原理素子;高温での水晶の相転移現象を利用した温度補償センサ及びゴム系材料を感応膜とした弾性波ガスセンサを提案し、実験的にその有効性を確認した。
5.機能素子;弾性表面波とFETを搭載した半導体フィルムをELOにより集積化した新規な特性可変フィルタを提案し、設計・試作に成功した。

報告書

(3件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (28件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (28件)

  • [文献書誌] K.Hohkawa: "Surface Acoustic Wave Semiconductor coupled devices Employing Epitaxisl lift-off Film" Jpn.J.Appl.Phys.35. 3015-3019 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Suzuki: "Integation of Semiconductor Devices With Surface Acoustic Wave Using the Epitaxial lift-off Process" Jpn.J.Appl.Phys.36. 3109-3114 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Uno: "Transient Phenonmenon of Twin Formation in Quarts Platez" Jpn.J.Appl.Phys.36. 3000-3003 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Q.Huang: "Fabrication of Superconductor/semiconductor Quasi-monolithic devices epitaxial lift-off technology" IEEE Trans.on Appl.Superconduc.3. 3461-3464 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Noge: "Study of the MicrosopicSurface Struture of a Quartz Substrate for Surface Acousic Wave Devices" Jpn.J.Appl.Phys.37. 3081-3086 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hohkawa: "Piezoelectric Sensor using rubber sensing film" Jpn.J.Appl.Phys.38(to be published). (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hohkawa, H.Suzuki, K.Komine and Q.Huang: ""Surface Acoustic Wave Semiconductor coupled devices Employing Epitaxial lift-off Film, "" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.35. 3015-3019 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Suzuki, K.Komine, Q.Huang and K.Hohkawa: ""Integration of Semiconductor Devices with Surface Acoustic Wave Using the Epitaxial lift-off Process", "" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36. 3109-3114 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Uno: ""Transient Phenomenon of Twin Formation in Quartz plates"" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36. 3000-3003 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Q.Huang and K.Hohkawa: ""Fabrication of superconductor/semiconductor Quasi-monolithic devices epitaxial lift-off technology"" IEEE Trans.on Appl.Superconduc. Vol.36. 3461-3464 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Noge, N.Araki, K.Komine, H.Suzuki, H.Shiraishi and K.Hohkawa: ""Study of the Microsopic Surface Structure of a Quartz Substrate for Surface Acoustic Wave Devices"" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36. 3081-3086 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Uno: ""Elastic and Dielectric Anomalies of Twinned Quartz above Twinning Temperature"" Kor.J.Phys.Soc.Vol.32. S1822-S1825 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hohkawa, H.Suzuki, K.Komine and Q.Huang: ""Piezoelectric sensor using rubber sensing film" Jpn.J.Appl.Phys.(to be published). (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Noge and T.Uno: ""Piezoelectric resonance properties of ab phase quartz plate""" Jpn.J.Appl.Phys.(to be published). (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hohkawa and K.Koh: ""A Vortex Flow Device Employing Josephson Junction Network"" 6th ISEC Extended Abstracts. Vol.3. 168-170 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Koh and K.Hohkawa: ""A new fabrication method of superconductor/semiconductor devices by epitaxial liftoff"" 6th ISEC Extended Abstracts. Vol.2. 176-178 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Noge and T.Uno: ""AFM and TEM measurment of the microscopic structure of a quartz substrate"" 1997 IEEE Ultrasonics symposium Proc.285-288 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Noge and T.Uno: ""Monolithic Integration of AT-Cut Resonators Using Artificial Twin Quartz Plate"" 1997 IEEE Ultrasonics symposium Proc.1043-1046 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hohkawa: "Piezoelectric sensor using rubber sensing film" Japanese Journal of Applied Physics. (to be published).

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hohkawa: "A Vortex Flow Device Employing Josephson Junction Network" 6th ISEC Extended Abstracts.

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Koh: "A new fabrication method of superconductor/semiconductor devices by epitaxial liftoff" 6th ISEC Extended Abstracts.

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.Noge: "Piezoelectric resonance properties of a β phase quartz plate" Japanese Journal of Applied Physics. (to be published).

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.Noge: "AFM and TEM measurement of the microscopic structure of a quartz substrat" 1997 IEEE Ultrasonics symposium Proceeding.

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hohkawa: "Application of SAW devices on pulse position modulated spread spectrum communication system" Proceedings on IEEE ISSSTA96. Vol.2. 735-735 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroji Suzuki: "Integration of semiconductor devices with surface acoustic wave using epitaxial lift-off process" Japanese Journal of Applied Physics. (to be published). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Takehiko Uno: "Transient phenomenon of twin formation in Quartz Plates" Japanese Journal of Applied Physics. (to be published). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Qixin Huang: "Fabrication of superconductor/semiconductor Quasi-monolithic devices using epitaxial lift-off technology" IEEE Transactions on Applied Superconductivity. Vol.3(to be published). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Satoru Noge: "Study on the microscopic surface structure of a quartz substrate for SAW device" Japanese Journal of Applied Physics. (to be published). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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