• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

CT法による非軸対称プラズマジェット診断法の開発とそのプロセス制御への応用

研究課題

研究課題/領域番号 08650872
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 金属生産工学
研究機関山口大学

研究代表者

崎山 智司  山口大学, 工学部, 助手 (60162327)

研究分担者 福政 修  山口大学, 工学部, 教授 (20026321)
研究期間 (年度) 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1996年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
キーワードコンピュータトモグラフィー / プラズマジェット / 熱プラズマ / プラズマプロセス / 熱伝達量
研究概要

プロセス中のプラズマジェットは処理材料を注入されるので軸対称を失う。そのため、これまでのアーベル変換を用いた診断法は使用することが出来ず、これに代わる新たな手法が必要となる。本研究では非軸対称プラズマジェットの診断法として、コンピュータトモグラフィー法の適用可能性を、数値シミュレーション、カロリメトリックプローブを用いた熱伝達量測定及びCCDカメラによる温度測定によって検討した。結果を以下にまとめる。
1.、数値シミュレーションにより、代数的再構成法による再構成画像の精度は投影像数とメッシュ数に依存し、プロセス中のジェットに対しては、メッシュ数40x40、投影像数4で約6%程度の精度が得られることが示された。この値は、実用上十分である。
2.カロリメトリックプローブを用いた熱伝達量測定の結果より、フィードガスを注入しない場合のプラズマジェットの熱伝達量分布はほぼ軸対称であるが、フィードガスを注入した場合は非軸対称となることが分かった。
3.CCDカメラと光学干渉フィルタを用いた温度測定の結果から、フィードガス流量を増加するに従って、ジェットの温度分布の非軸対称性が強くなることが確認された。
以上の結果から、コンピュータトモグラフィー法はプロセス進行中の非軸対称プラズマジェットの診断法として有効である。

報告書

(1件)
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] S.Sakiyama: "Diagnostics of the Plasma Jet using Computer Tomography" Proc.Iuter.Conf.Plasma Physics. (in press). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

URL: 

公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi