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電界放出微小エミッタの新しい電子ビーム収束機構に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 08750397
研究種目

奨励研究(A)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関静岡大学

研究代表者

澤田 和明  静岡大学, 電子工学研究所, 助手 (40235461)

研究期間 (年度) 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1996年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワード電界放出エミッタ / 真空マイクロエレクトロニクス / ポリシリコン / ボルカナ型エミッタ / 収束電極
研究概要

エミッタ先端の電界を弱めることなしに電子を収束できる新しい電界放出微小エミッタの構造を提案した.本研究で提案するエミッタはゲート電極の同心円状に線状に配置し,またエミッタの外側に同心円上に収束電極を製作した構造を持っており,その形状からボルカノ型エミッタと名付けた.ボルカノ型エミッタから放出される電子は中心のゲート電極に向かって放出され,クロスオーバーして発散すると考えられ,収束電極に正電位を印加するとゲート電極に引っ張られて放出していた電子の軌道を偏向することができ,クロスオーバーの点をアノード点にコントロールすることが可能であると考えた.まずボルカノ型電界放出エミッタの製作プロセスの確立を行った.作製プロセスとして最も重要なところが,エミッタ電極となるポリシリコンの堆積条件であった.まず円状のマスクの下にはポリシリコン膜が少量回り込みような条件の抽出を行った.その結果,先端の膜厚およびエミッタの形状が最適となる条件を見つけることができた.このようにして製作したエミッタを用いて電界放出の実験を行ったところ,ゲート電圧35V程度から電子の放出が確認され,約50Vで10nAの放出電流が確認できた.このとき使用したエミッタの数は1個であった.次に収束電極をボルカノ型電界放出微小エミッタに配置した構造の有限要素法を用いてシミュレーションを行った.その結果,収束電極の位置は,ポリシリコンエミッタと同一の高さにすると,制御性良く収束することがわかった.

報告書

(1件)
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] 鈴木勝美: "Volcano型ポリシリコンエミッタからの電子放出特性" 1996年 テレビジョン学会年次大会講演予稿集. 7-8 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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