| 研究概要 |
近年,情報化の波が中小企業並びに家庭までおよんでいる。このような中で出力装置の分野においては,出力品質が良く,低騒音かつ高速での出力が可能であることから電子写真複写機が有望視されている。ところが,その中心となる感光体ドラムは機能上,小型化が困難であることから新しい感光体材料の開発が望まれる。
そこで本研究では,ドラムの基板材料として透明でフレキシブルな高分子フィルムを用い,低温で透明導電性薄膜(ITO膜)を蒸着し,その上に感光体材料を付け感光体ドラムとすることで,小型化・薄型化可能な新しい材料を開発することを目的とした。
基板材料とする高分子フィルムは熱に弱いことから,その基板上に透明導電性薄膜および感光体材料の多層構造薄膜を作製するには低温成膜技術が必要となる。本校現有のイオンビームスパッタリング装置が薄膜材料のスパッタに用いるプラズマの発生部が薄膜製造室と隔たる特徴から高分子フィルム基板の温度上昇を抑えた低温成膜が期待できる。そこで,その装置を用いて以下の研究実績を得た。(1)現有のイオンビームスパッタリング装置を,ITO膜の低温成膜用に改良した。(2)イオンビームガンの条件を制御するシステムを作製した。(3)イオンビームガンの条件を変化したITO膜の低温成膜実験を行った。(4)ITO膜の機能性の評価として透過率・抵抗率を測定した。(5)X線回折測定による原子構造の評価,AES測定による組成分析を行った。以上の結果より,低温成膜の最適条件を見つけることができ,電子写真複写機における感光体フィルムベルトの開発が期待できる。
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