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化学反応を用いたアトムリソグラフィー

研究課題

研究課題/領域番号 08834002
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 極微細構造工学
研究機関東京大学

研究代表者

田中 虔一  東京大学, 物性研究所, 教授 (00016718)

研究分担者 大川 祐司  東京大学, 理化学研究所, 研究員 (40242169)
研究期間 (年度) 1996 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1997年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1996年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワードSTM / ナノ構造 / アトムリソグラフィー / Cu(100) / サーファクタント成長 / Niの量子ドット / Niの量子細線 / Cu(100)表面 / スーパーグリッド / ナノサイズエピタクシー / 自己秩序配列 / 量子ドッド、量子細線 / Cu(110)表面 / 量子ドット、量子細線 / 単結晶表面の光反応 / 表面再構成
研究概要

本研究目的は我々が提出した「Pseudo Moleculesの化学」と言う新しい概念に従って化学反応を用いて表面にナノサイズの構成或いは物質制御を行うことである。機能性物質を表面にアトムスケールで合成配列させ、物質として全く新規な表面を合成する新しい試みの一つは吸着表面でのヘテロエピタクシャル成長である。先ず、35年間解けなかったCu(100)表面の吸着酸素の構造を解くことに成功した。次にこの表面でのヘトエオエピタクシャル成長の構造制御機構を明かにした。Cu(100)表面に吸着したO原子は基本的にc(2x2)-O配列で吸着するが歪みを表面に分散させるために小さなドメインを作ってランダムに配列するのでその境界線が清浄なジグザグ線を作る。一方、N原子も小さな(2x2)-Nドメインを作って配列するが、規則的に並ぶため境界線はスーパーグリッド状の格子を形成する。このような表面に金属を蒸着すると、動くことの可能なO原子はサーファクタントとして機能しlayer-by-layer成長を促進するが、動くことの出来ないN原子にはそのような機能はない。即ち、c(2x2)-O Cu(100)表面にNiを蒸着するとNiは単原子層でc(2x2)-Oの表面構造を持つ島として無定形な形で成長する。一方、c(2x2)-NCu(100)表面にNiを蒸着させるとスパーグリッドを形成する線の交点に一定のサイズのNiのドットが形成する。またCu(100)表面に0.3ML以上の酸素を吸着させると歪みにより表面Cu原子が規則的に抜ける。この表面にNiを蒸着するとNiの原子細線が成長する。

報告書

(3件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (27件)

  • [文献書誌] Y.Okawa: "Selective Cu-atom transportation from a scanning tunneling microscopy tip onto a Ag(110)surfaceby chemical reaction" Appl.Phys.Lett.70. 3371-3373 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "STM studies of oxygen-induced reconstruction on a Pt-Rh(100)alloy surface." Sulf.Sci.337-379. 32-37 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Atomic-scale fabrication of novel surfaces using chemical reactions." Sulf.Sci.377-379. 744-753 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.M.H.Janssen: "The interaction of NO with stepped Rh surfaces." Surf.Sci.382. 201-213 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Atomic scale chemical fabrication of metal surfaces." Surf.Sci.386. 56-66 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Growth of nano-size Ni thin films on amodifiied c(2x2)-N Cu(100)surface." J.J.Appl.Phys.37. L141-144 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Okawa and K.Tanaka: "Selective Cu-atom transportation from a scanning tunneling microscopy tip onto aAg (110) surface by chemical reaction" Appl.Phys.Lett. 70. 3371-3373 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto, Y.Aibara, K.Mukai, K.Moriwaki, Y.Okawa: "B.E.Nieuwenhuys, and Tanaka, STM studies of oxygen-induced reconstruction on a Pt-Rh (100) alloy surface" Surf.Sci. 377-379. 32-37 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka, Y.Okawa, Y.Matsumoto and T.Fujita: "Atomic-scale fabrication of novel surfaces using chemical reactions" Surf.Sci. 377-379. 744-753 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.M.H.Janssen, A.R.Cholach, M.Ikai, K.Tanaka, and B.E.Nieubenhuys: "The interaction of NO with stepped Rh surfaces" Surf.Sci. 382. 201-213 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tanaka and Y.Okawa: "Atomic scale chemical fabrication of metal aurfaces" Surf.Sci. 386. 56-66 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto and K.Tanaka: "Growth of nano-size Ni thin films on a modified c (2*2) -N Cu (100) surface" J.J.Appl.Phys. 37. 141-144 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Ikai: "Spatial Distribution of N_2 and NO Desorbing from a Rh(533) Surface." J.Chem.Phys.106. 311-320 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.M.H.Janssen: "The interaction of NO with stepped Rh surfaces." Surf.Sci.382. 201-213 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] A.Sasahara: "Catalytic activity of Pt-deposited Rh(110) bimetallic surface for NO+H_2 reaction" J.Phys.Chem.B. 101. 1186-1189 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Hong He: "Hydrogenation of carbidic carbon on Ni(100) surface." Surf.Sci.376. 310-318 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Da-ling Lu: "Crystal habit of Ir,Rh,Co,and Fe particles formed in solution." J.Crystal Growth. 181. 395-402 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Atomic scale chemical fabrication of metal surfaces." Surf.Sci.386-3. 56-66 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tanaka: "Atomic-scale fabricaation of novel surfaces using chemical reactions." Surf.Sci.377-379. 744-753 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Growth of nano-size Ni thin films on a modified c(2×2)-N Cu(100) surface." J.J.SAppl.Phys.37. 154-157 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Takehiro: "Structure of the p(2x3)Ni(110)-N Surface Studied by Scanning Tunneling Microscopy" Phys.Rev.B. 53. 4094-4098 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Da-Ling Lu: "Gold Particles Deposited on Electrodes in Salt Solutions under Different Potentials" J.Phys.Chem.344. 1833-1837 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Da-Ling Lu: "Single Crystal Cu_2O Formation on Amorphous Carbon Electrode and Effect of Anions on the Chystal Habidt of Cu_2O Particles" J.Electrochem.Soc.143. 2105-2109 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Da-Ling Lu: "Chystallographic Habit of Gold Particles Grown on Electrodes in Acidic Solution at Different Electrode Potentials" J.Electroanal.Chem.406. 101-107 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "STM Studies of a Catalytically Active p(3x1)Pt-Rh(100)Alloy Surface" Surface Sci.355. 109-114 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Atomic Scale Reaction Regulated in One-dimensional Channels Evidenced by STM." J.Vac.Sci.Technol. B,14. 1114-1116 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] T.Fujita: "Phase Boundaries of Nanometer Scale c(2x2)-O Domains on the Cu(100)Surface" Phys.Rev.B. 54. 2167-2174 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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