• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

化合物半導体における低温イオン注入誘起相変態の研究

研究課題

研究課題/領域番号 08875124
研究種目

萌芽的研究

配分区分補助金
研究分野 構造・機能材料
研究機関高知工科大学 (1997)
北海道大学 (1996)

研究代表者

谷脇 雅文  高知工科大学, 工学部, 教授 (20133712)

研究期間 (年度) 1996 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
1997年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
1996年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワードイオン注入 / 相変態 / 化合物半導体 / 非晶質 / インジウムリン / インジウムリン アンチモン / ガリウムアンチモン / 電気抵抗 / インジウムアンチモン / 岩塩型
研究概要

低温でSnイオン注入したInPの表面層を断面TEMで調べ、多結晶リングを観察した。一連の強いリングはInPの高圧相であるrock-salt型データと良く対応することから、注入によって蓄積された応力によって、表面層がzinc-b1end型からrock-sa1t型に相変態したものと考えた。この現象の探索と、注入・アニールによって電気的性質の変化を調べた。
InP、InSbではrock-sa1t型のリングが観察されたが、Ga系ではみとめられなかった。特にGaSbには、非晶質をあらわすハロ-がわずかに認められるのみであった。再同定の結果、InPおよびInSbのすべてのリングは、In_2O_3のX-rayデータとよく符号した。酸化物In_2O_3は、SEM観察結果から、試料を薄膜化するさいに飛散したInが酸素と結合し、In_2O_3となって、TEM試料上に残ってしまったものと考えられる。注入InPをあらためて観察したところ、注入層の支配的な構造は非晶質であった。しかし、rock-salt type構造とみられるextra spotも観察されている。試料のSAEDには、母相の格子定数の縮小が見られ、zinc-blend typeからrock-salt typeへの相変態は有り得る。
InPの電気抵抗はイオン注入によってさほど変わらない(2.5Ω)。しかしアニールによって大きく変化する。50°Cのアニールで抵抗は10倍になり、l00°Cでもとにもどる。150°Cのアニールの後ではふたたび増加するが、200-250°Cでは2.5Ωにもどる。50°Cおよび150°Cアニールの後の、注入層の比抵抗を見積もってみると、240-280Ω・mになり、Virginの30000倍の値になる。ドープされた半導体の場合、高抵抗になるのは非晶質になったときと多結晶になったときである。電気抵抗の変化は、これら、構造の変化に対応しているものと考えられる。

報告書

(2件)
  • 1997 実績報告書
  • 1996 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (3件)

  • [文献書誌] Masafumi TANIWAKI: "Annzaling behavior of electrical conductivity of Inp implanted with Sn at a low temperature" KURRI Progress Report. 1996. 87 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.YAMAKI: "Phase transformation in III-V compound semiconductors by Ion implantation at a low temperature" Abstracts of internal symposium on advanced Materials and technology for the 215 century. 167 (1995)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.TANIWAKI: "Ion-implantation-induced phase tram stormation in compound semiconductors" KURRI Progress Report. 1995. 99 (1996)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

URL: 

公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi