| 研究分担者 |
GANSCHOW Ste ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
EPELBAUM Bor ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
SCHRODER Win ドイツ, 結晶成長研究所, 所長
MULLER Georg ドイツ, ErlangenーNurmberg大学, 教授
島村 清史 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (90271965)
BOECK Torste ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
PROKESCH Mic ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
KLIMM Detlef ドイツ, 結晶成長研究所, 研究員
|
|---|
| 研究概要 |
現在の科学技術の発展に伴い,単結晶材料は光・電子デバイスの基盤材料として更なる高品質化・高性能化が求められている.これには抜本的な技術革新が急務であり,それを達成するためには結晶成長中の諸現象,特に熱・物質移動現象を中心とした複雑な融液物性の解明が必要である.本研究は,これらの状況を鑑み,日独相互協力体制の基で,バルク単結晶作製時における熱・物質移動現象の解明を行い,その精密制御手法の確立を探求した.
本研究期間内に,東北大学金属材料研究所からのべ6名(2名は分担者外)ドイツ結晶成長研究所に派遣し,ドイツ結晶成長研究所からは東北大学金属材料研究所へのべ7名(1名は分担者外)招聘し,
・磁場印加CZ法,LEC法,FZ法による半導体結晶作製中の熱・物質移動現象
・フッ化物及び酸化物結晶作製時における不純物分布の解析
等を中心に調査研究を行った.
この中で特にフッ化物結晶結晶作製時に問題となる炉内温度勾配,或いは精密な温度制御,純度制御,雰囲気制御などを解決し,従来結晶成長が困難とされたCe:LiCaAlF_6,Ce:LiSrAlF_6,Ce:YLiF_4,Ce:LuLiF_4,Ce:BaLiF_3などの高品質単結晶成長に成功し,過去報告値を数段上回る紫外レーザー出力60mJの発生に成功した.
これら相互の研究状況の調査・討論等を進めていく中で,日独共同研究体制がより強化し,その結果,平成10年度において「日独結晶成長会議」が開催された.この会議が話題を呼び,平成11年度初頭に,「日独波蘭結晶成長会議」が開催される予定となった.
尚,本調査研究実績には含まれていないが,当該研究分担者であるドイツ結晶成長研究所・教授Peter Rudolph,研究員Boris Epelbaum博士が,それぞれ約三ヶ月,東北大学の客員教授・助教授として招聘された.この招聘により,先述の会議の打ち合わせ,並びに当該研究課題に関する調査・討論等が滞りなく,進められた.
|
