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マイクロメカトロニクス・システムにおける3次元マイクロ構造製作プロセスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 09044135
研究種目

国際学術研究

配分区分補助金
応募区分共同研究
研究分野 応用物理学一般
研究機関東京都立科学技術大学 (1998)
東京大学 (1997)

研究代表者

原島 文雄  東京都立科学技術大学, 学長 (60013116)

研究分担者 LEE KokーMeng  ジョージア工科大学, 機械工学科, 助教授
SCHMIDT Gunt  ミュンヘン工科大学, 制御工学科, 教授
橋本 秀紀  東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30183908)
藤田 博之  東京大学, 生産技術研究所, 教授 (90134642)
増沢 隆久  東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60013215)
SCHMITT Gunt  ミュンヘン工科大学, 制御工学科, 教授
SCHIMIDT gun  ミュンヘン工科大学, 制御工学科, 教授
GAGNEPAIN Je  フランス科学技術庁, 工学部門, 部長(研究職)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
16,000千円 (直接経費: 16,000千円)
1998年度: 7,200千円 (直接経費: 7,200千円)
1997年度: 8,800千円 (直接経費: 8,800千円)
キーワードマイクロメカトロニクス / 3次元マイクロ構造 / ナノテクノロジー / プロセス / マニピュレーション / テレオペレーション / マイクロ・アクチュエータ / マイクロセンサ / 3次元マイクロ装置 / MEMS / ナノ / マイクロ・モータ
研究概要

平成10年度の研究計画に基づき、日本、米国、フランス、ドイツの複数の研究者がお互いに訪問しあい、平成9年度で得られた交流成果の上に、3次元マイクロ構造製作プロセス、ナノ領域における3次元マイクロ構造の検討、応用システムの検討の3分野を中心に更にマイクロメカトロニクスに関する深い議論、活発な意見交換、共同研究を行なった。特に、今年度においては、マイクロメカトロニクスがナノ領域まで研究領域を広げる道筋を体系的に検討するという新しい進展を示すことができた。これは日・仏の本研究の分担者らが中心となリナノに関する国際ワークショップを開催し集中的に討論した成果である。この成果を受けて、ナノ領域の新しい研究分野が生まれつつある。
本研究の研究成果は著名な国際会議、ワークショップ等において数多く発表されており、国際的に高い評価を受けており、マイクロメカトロニクス及び新しい研究分野であるナノテクノロジーに大きなインパクトを与えている。
平成9年度、10年度の本研究成果は現在、世界中で注目を集めつつあるナノ・ピコテクノロジーに対して多大な貢献を与え、今後この分野での我が国の優位性を得るための基礎的な成果となっている。
今後の展開としては、マイクロ領域からナノ領域への研究課題の移行を念頭に置いた、組織的な研究が望まれる。米国では、既にそのような動きが出ており、我が国においても現在の優位性を保つためにもナノに特化したプロジェクトが必要である。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (42件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (42件)

  • [文献書誌] S.Nakamura: "A One-Body Mems Device Composed of Mutually Insulated Metallic Parts" Micro Electro Mechanical Systems. 278-283 (1998)

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  • [文献書誌] Makoto Mita: "An Out-of-Plane Polysilicon Actuator with a Smooth Vertical Mirror for Optical Fiber Switch Application" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 33-34 (1998)

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  • [文献書誌] H.Toshiyoshi: "Micromechanical Fiber Optic Switches based on Electromagnetic Torsion Mirros" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 23-24 (1998)

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  • [文献書誌] Hiroyuki Fujita: "Micromachined Optical Switches for Free-Space Beam Steering" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 19-20 (1998)

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  • [文献書誌] E.H.Yang: "Fabrication and Characterization of U-shaped Beams for the Determination of Young's Modulus Modification due to Joule Heating of Polysilicon Microstructures" Transducers 97. Volume 1. 603-606 (1997)

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  • [文献書誌] P.Langlet: "A quantitative analysis of Scratch Dreive Actuation for integrated X/Y motion system" Transducers 97. Volume 2. 773-776 (1997)

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  • [文献書誌] S.Nakamura: "An Electrostatic Micro Actuator for a Magnetic Head Tracking System of Hard Disk Drives" Transducers 97. Volume 2. 1081-1084 (1997)

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  • [文献書誌] Yoshio Mita: "Two Dimensional Micro Conveyance System with Through Holes for Electrical and Fluidic Interconnection" Transducers 97. Volume 1. 37-40 (1997)

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  • [文献書誌] Metin Sitti: "Nano Tele-Manipulation Using Virtual Reality Interface" Proceedings of IEEE International symposium on Industrial Electronics. Volume 1 of 2. 171-176 (1998)

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  • [文献書誌] Metin Sitti: "Tele-Manipulation Using Atomic Force Microscope" Proceedings of 1998 IEEE/RSJ International Conference Intelligent Robots and Systems. Volume 3. 1739-1746 (1998)

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  • [文献書誌] Satoshi Horiguchi: "Virtual Reality User Interface for Teleoperated Nanometer Scale Object" Proceedings of the 7th IEEE International Workshop on Robot and Human Communication. Volume 1. 142-147 (1998)

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  • [文献書誌] Metin Sitti: "Trends on Mechatronics for Micro/Nano Telemanipulation : Survey and Requirements" Proceedings of the 9th International Federation of Automatic Control. Volume 1. 235-240 (1998)

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  • [文献書誌] Metin Sitti: "Macro to Nano Tele-Manipulation Through Nanoelectromechanical Systems" Proceedings of the 24th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society. Volume 1 of 4. 98-103 (1998)

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  • [文献書誌] S.Nakamura: "A One-Body Mems Device Composed of Mutually Insulated Metallic Parts" Micro Electro Mechanical Systems. 278-283 (1998)

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  • [文献書誌] Makoto Mita: "An Out-of-Plane Polysilicon Actuator with a Smooth Vertical Mirror for Optical Fiber Switch Application" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 33-34 (1998)

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  • [文献書誌] H.Toshiyoshi: "Micromechanical Fiber Optic Switches based on Electromagnetic Torsion Mirros" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 23-24 (1998)

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  • [文献書誌] Hiroyuki Fujita: "Micromachined Optical Switches for Free-Space Beam Steering" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 19-20 (1998)

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  • [文献書誌] E.H.Yang: "Fabrication and Characterization of U-shaped Beams for the Determination of Young's Modulus Modification due to Joule Heating of Polysilicon Microstructures" Transducers 97. Volume 1. 603-606 (1997)

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  • [文献書誌] P.Langlet: "A quantitative analysis of Scratch Dreive Actuation for integrated X/Y motion system" Transducers 97. Volume 2. 773-776 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Nakamura: "An Electrostatic Micro Actuator for a Magnetic Head Tracking System of Hard Disk Drives" Transducers 97. Volume 2. 1081-1084 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshio Mita: "Two Dimensional Micro Conveyance System with Through Holes for Electrical and Fulidic Interconnection" Transducers 97. Volume 1. 37-40 (1997)

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  • [文献書誌] Metin Sitti: "Nano Tele-Manipulation Using Virtual Reality Interface" Proceedings of IEEE International symposium on Industrial Electronics. Volume 1 of 2. 171-176 (1998)

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  • [文献書誌] Metin Sitti: "Tele-Nanorobotics Using Atomic Force Microscope" Proceedings of 1998 IEEE/RSJ International Conference Intelligent Robots and Systems. Volume 3. 1739-1746 (1998)

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  • [文献書誌] Satoshi Horiguchi: "Virtual Reality User Interface for Teleoperated Nanometer Scale Object Manipulation" Proceedings of the 7th IEEE International Workshop on Robot and Human Communication. Volume 1. 142-147 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Metin Sitti: "Trends on Mechatronics for Micro/Nano Telemanipulation : Survey and Requirements" Proceedings of the 9th International Federation of Automatic Control. Volume 1. 235-240 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Metin Sitti: "Macro to Nano Tele-Manipulation Through Nanoelectromechanical Systems" Proceedings of the 24th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society. Volume 1 of 4. 98-103 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Nakamura: "A One-BodyMems Device Composed of Matually Insulated Metallic Parts" Micro Erectro Mechanical Systems. 278-283 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Makoto Mita: "An Out-of-Plone Polysilicon Acutuator with a Smooth Mirror for Optical Fiber Switch Application" 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings. 33-34 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] E.H.Yang: "Fabrication and Characterization of U-shaped Beams for the Determination of Younger Modulity Modification due to fould Heales" Transducers 97. Volume 1. 603-606 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] P,Langlet: "A quanlitative analysis of Scratch Dreive Actuation for integrared X/Y motion system" Transducers 97. Volume 2. 773-776 (1997)

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      1998 実績報告書
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      1998 実績報告書
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  • [文献書誌] Y. Fukuta: "The Reshaping Technology for Three Dimensional Polysilicon Microstructures" Trans. IEE Japan. 117-E. (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T. Akiyama: "Scratch Drive Actuotor with Mechanical Links for Self Assembly of Three Dimensional MEMS" IEEE J. Microelectromechanical Sys.6 10. (1997)

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      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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