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走査プローブ顕微鏡による有機強誘電体薄膜のナノスケール分域特性

研究課題

研究課題/領域番号 09305005
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 表面界面物性
研究機関京都大学

研究代表者

山田 啓文  京都大学, 工学研究科, 助教授 (40283626)

研究分担者 堀内 俊寿  京都大学, 工学研究科, 助手 (10238785)
夛田 博一  京都大学, 工学研究科, 講師 (40216974)
松重 和美  京都大学, 工学研究科, 教授 (80091362)
研究期間 (年度) 1997 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
32,000千円 (直接経費: 32,000千円)
1999年度: 11,400千円 (直接経費: 11,400千円)
1998年度: 10,900千円 (直接経費: 10,900千円)
1997年度: 9,700千円 (直接経費: 9,700千円)
キーワード有機強誘電体 / 走査プローブ顕微鏡 / 圧電振動応答像 / PVDF / VDFオリゴマー / ナノスケール分極領域 / 超高密度記録 / ナノスケール分極記録 / 原子間力顕微鏡 / 強誘電体薄膜 / ナノスケール分極 / 分子メモリー / 近接場光学顕微鏡 / NSOM / AFM / フォトカンチレバ- / 有機分子薄膜
研究概要

(1)有機強誘電性高分子薄膜の作製
本研究では、有機溶媒に溶かしたポリフッ化ビニリデン-3フッ化エチレン共重合体P(VDF/TrFE)溶液を導電性基板上に滴下し、スピン・コート法により薄膜化した後、熱アニーリングすることで試料薄膜を作製した。原子間力顕微鏡(AFM)による高分解能観察の結果、薄膜は、幅約100nm、長さ約1000nmの棒状構造体で構成されており、さらにこの棒状構造体には内部構造があることを明らかになった。
(2)ナノスケール分極域の形成と評価
導電性AFM探針により試料の局所領域に電界を加えることで作製されたナノスケール分極領域の電気的特性を評価した。また、ポーリング電界の大きさや加える時間と得られる分極領域のサイズ・電気特性の関係についても評価した。これらの測定から、基板との界面近傍に薄膜に分極反転不可能な分極層が存在していており、超薄膜においてはその影響が顕著になることが明らかになった。
(3)ナノスケール分極域の表面電荷の評価と制御
走査型マックスウェル応力顕微鏡を用いて、有機強誘電体薄膜における局所分極領域のの表面電位特性を評価した結果、ポーリングされた領域の表面電位は配向された双極子からの寄与でなく、探針から注入あるいは堆積した表面電荷によって生じることが明らかになった。
(4)高密度記録媒体としての検討
以上の実験結果に基づき、最適のポーリング条件下では厚さ30nmのP(VDF/TrFE)薄膜に対して、30nm径の分極領域を達成できた。これは記録密度として230Gbit/in^2に相当し、非常に高密度なメモリーが作製可能なことを示唆している。

報告書

(4件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (47件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (47件)

  • [文献書誌] H.Fujisawa, M.Shimizu, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Investigation of the current path of Pb(Zr, Ti)O3 thin films using an atomic force microscope with simultaneous current measurement"Applied Physics Letters. Vol. 71, No. 3. 416-418 (1997)

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  • [文献書誌] Y.Yoshida, K.Ishida, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Effect of Substrate Temperature on Molecular Oreintation in Evaporated Thin Films of Vinylidene Fluoride Oligomer"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 36, Part 1. 7389-7394 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 堀内 俊寿、松重 和美: "エネルギー分散型斜入射X線分光計の開発と薄膜評価への応用"応用物理. 第66巻、第9号. 974-978 (1997)

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  • [文献書誌] K.Hoyashi, T.Horiuchi, K.Matsushige: "The IN-SITU Observation of Organic Thin Films During Growth Process by Using Grazing Incidence X-Ray Diffraction and Fluorescence Methods"Advances in X-Ray Analysis. Vol. 39. 653-658 (1997)

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  • [文献書誌] K.Ishida, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Structural and Optical Characterzation of Epitaxially Grown PolysilaneThin Films"Synthetic Metals. 91. 371-373 (1997)

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  • [文献書誌] K.Ishida, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Structural Evaluation of Epitaxially-Grown Organoferroelectric Thin Films by Energy Dispersive Grazing Incidence X-ray Analysis"TECHNICAL REPORT OF IEICE. OME98-27. 17-24 (1997)

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  • [文献書誌] K.Matsushige: "Nanoscale control and detection of electric dioples in organic molecules"Nanotechnology. 9. 208-211 (1998)

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  • [文献書誌] X.Chen, H.Yamada, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Structures and Local Polarized Domains of Ferroelectric Organic Films Studied by Atomic Force Microscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 37, Part 1. 3834-3837 (1998)

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  • [文献書誌] K.Ishida, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Structural Characterization of Organic Thin Films by Reciprocal Space Mapping using Energy Dispersive-Grazing Incidence X-Ray Diffraction"Advances in X-Ray Chemical Analysis. 30. 177-188 (1999)

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  • [文献書誌] X.Chen, H.Yamada, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Strong substrate effect in local poling of ultrathin ferroelectric polymer films"Thin Solid Films. 353. 259-263 (1999)

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  • [文献書誌] X.Chen, H.Yamada, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Investigation of Surface Potential of Ferroelectric Organic Molecules by Scanning Probe Microscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 38. 3932-3935 (1999)

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  • [文献書誌] H.Okino, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Electrical properties of Highly Strained Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films on MgO(100)"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 38, Part 1. 5388-5391 (1999)

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  • [文献書誌] X.Chen, H.Yamada, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Surface potential of ferroelectric thin investigated by scanning probe microscopy"Journal of Vacuum Science & Technology B. Vol. 17, No. 5. 1930-1934 (1999)

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  • [文献書誌] K.Noda, K.Ishida, T.Horiuchi, K.Matsushige: "Strucures of vinylidene fluoride oligomer thin films on alkali halide substrate"Journal of Applied Physics. Vol. 86, No. 7. 3688-3693 (1999)

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  • [文献書誌] H. Fujisawa, M. Shimizu, T. Horiuchi, K. Matsushige: "In vestigation of the current path of Pb (Zr, Ti) O3 thin films using an atomic force microscope with simultaneous current measurement"Applied Physics Letters. Vol. 71, No. 3. 416-418 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yoshida, K. Ishida, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Effect of Substrate Temperature on Molecular Orientation in Evaporated Thin Films of Vinylidene Fluoride Oligomer"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 36, Part 1. 7389-7394 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Horiuchi, K. Matsushige: "Development of energy-dispersive grazing-incidence X-ray spectrometry and its applications to studies of thin films"Appl. Phys.. Vol. 36, No. 9. 974-978 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Hayashi, T. Horiuchi, K. Matsushige: "The IN-SITU Observation of Organic Thin Films During Growth Processby using Grazing Incidence X-Ray Diffraction and Fluorescence Methods"Advances in X-Ray Analysis. Vol. 39. 653-65 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Ishida, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Structural and OpticalCharacterization of Epitaxially Grown Polysilane Thin Films"Synthetic Metals. 91. 371-373 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Ishida, T. Horiuchi, K.Matsushige: "Structural Evaluation of Epitaxially-Grown Organoferroelectric Thin Films by Energy Dispersive Grazing Incidence X-ray Analysis"TECHNICAL REPORT OF IEICE. OME98-27. 17-24 (1997)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Matsushige: "Nanoscale control and detection of electric dioples in organic molecules"Nanotechnology. 9. 208-211 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] X. Chen, H. Yamada, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Structures and Local Polarized Domains of Ferroelectric Organic Films Studied by Atomic Force Microscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 37, Part 1. 3834-3837 (1998)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Ishida, T.Horiuchi, K. Matsushige: "Structural Characterization of Organic Thin Films by Reciprocal Space Mapping using Energy Dispersive-Grazing Incidence X-Ray Diffraction"Advances in X-Ray Chemical Analysis. 30. 177-188 (1999)

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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] X. Chen H. Yamada, , T. Horiuchi, K. Matsushige: "Strong substrate effect in local poling of ultrathin ferroelectric polymer films"Thin Solid Films. 353. 259-263 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] X. Chen, H. Yamada, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Investigation of Surface Potential of Ferroelectric Organic Molecules by Scanning Probe Microscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 38. 3932-3935 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Okino, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Electrical Properties of Highly Strained Epitaxial Pb(Zr, Ti) o3 Thin Films on MgO(100)"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 38. 5388-5391 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] X. Chen, H. Yamada, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Surface potential of ferroelectric thin investigated by scanning probe microscopy"Journal of Vacuum Science & Technology B. Vol. 17, No. 5. 1930-1934 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Noda, K. Ishida, T. Horiuchi, K. Matsushige: "Structures of vinylidene fluoride oligomer thin films on alkali halide substrate"Journal of Applied Physics. Vol. 86, No. 7. 3688-3693 (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Xinqi Chen: "Surface potential of ferroelectric thin investigated by scanning probe microscopy"Journal of Vacuum Science & Technology B. Vol.17,No.5. 1930-1934 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Hirotake Okino: "Electrical Properties of Highly Strained Epitaxial Pb(Zr,Ti)O^3 Thin Films on MgO(100)"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol.38,Part 1 No.9B. 5388-5391 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Xinqi Chen: "Strong substrate effect in local poling of ultrathin ferroelectric polymer films"Thin Solid Films. 353. 259-263 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Noda: "Structures of vinylidene fluoride oligomer thin films on alkali halide substrate"Journal of Applied Physics. Vol.86,No.7. 3688-3693 (1999)

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      1999 実績報告書
  • [文献書誌] X.Q.Chen: "Structures and Local Palarized Domains of Ferroelectric Organic Films Studied by Atomic Force Microscopy" Jap.J.Appl.Phys. 37. 3834 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] X.Q.Chen: "Formation of Nanoscale Polarized Domains in Organic Ferroelectric Thin Films by Scanning Probe Microscopy" Mol.Cryst.Liq.Cryst.(印刷中).

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] X.Q.Chen: "Investigation of Surface Potential on Ferroelectric Organic Molecules by Scanning Probe Micro" Jap.J.Appl.Phys. (印刷中).

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Kobayashi: "The Molecules Arrangement of Alkanethiol Self-Assembled Monolayers on Au(III)Studied by Scanning Tunneling Microscopy" Jpn.J.Appl.Phys. 37(11A). (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Kobayashi: "STM Studied on Nanoscopic Structures and Electric Characteristic of Alkanethiol and Alkanedithiol Self-Assembled Monolayers" Thin Solid Films. (印刷中).

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Orita, T.Horiuchi et al.: "In situ Energy Dispersive X-ray Reflectivity Measurements of Changes in Thin Films for Organic Electroluminescent Devices" Synthetic Metals. vol.91. 371-373 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Ishda, K.Matsushige et al.: "Structural and Opyical Characterization of Epitaxially-grown Polysilaane" Synthetic Metals. vol.91. 251-253 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Kenji Ishida, Kazumi Matsushige etal.: "Heteroepitaxial Growth of Fluorinated Long Chain Molecule on CaF2 (111) and Gold Coated KCl (001)" Molecular Crustals and Liquid Crystals. Vol.294. 43-46 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Kobayashi, Hirofumi Yamada etal.: "Structural Study on Self-Assembled Monolayers of Alkanedithiol Molecules" J.Jpn.Appl.Phys.Vol.37,No.3A. L297-299 (1998)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Kobayashi, Hirofumi Yamada etal.: "Structural Study on Self-Assembled Monolayers of Alkanedithiol Molecules" Molecular Crustals and Liquid Crystals. (in press).

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Chen Xinqi, Hirofumi Yamada etal.: ""Structures and Local Polarized Domains of Ferroelectric Organic Films Studied by AFM"" J.Jpn.Appl.Phys.(in press).

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.P.Jarvis, H.Yamada et al.: "Tip surface interactions studied using a force controlled atomic force microscope in ultrahigh vacuum" Applied Physics Letters. Vol.70,No.17. 2238-2240 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Fujii, H.Yamada et al.: "Error budget of step height and pitch measurement using a scanning tunneling microscope with a three-dimensional interferometer" J.Vac.Sci.Technol.B. Vol.15,No.4. 1494-1497 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kageshima, H.Yamada et al.: "Nature of Tip-Sample Interaction in Dynamic Mode Atomic Force Microscopy" J.Jpn.Appl.Phys.Vol.36,No.12A. 7354-7357 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.Yamamoto and H.Yamada: ""Interpretation of Direct and Indirect Force Modulation Methods Using Polymer Films"" Langmuir. Vol.13. 4861-4864 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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