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大電力高速半導体デバイスの極限性能追求システム

研究課題

研究課題/領域番号 09355009
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 電力工学・電気機器工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

安岡 康一  東京工業大学, 工学部, 助教授 (00272675)

研究分担者 井深 真治  東京工業大学, 工学部, 助手 (70262277)
石井 彰三  東京工業大学, 工学部, 教授 (40016655)
深尾 正  東京工業大学, 工学部, 教授 (10016545)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
26,300千円 (直接経費: 26,300千円)
1998年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1997年度: 24,600千円 (直接経費: 24,600千円)
キーワードパワーデバイス / デバイスシミュレータ / 高速ターンオン / 高速駆動方式 / キャリア挙動 / パルスパワー / 高速大電流 / 外部回路 / ゲート駆動回路
研究概要

従来のパワーデバイスは、ターンオフ特性を重視した性能向上が追求されてきたが、新たな用途であるパルスパワー応用では高速ターンオン特性が第一に重要である。本研究ではこうした新分野でのパワーデバイス応用を開拓するため、パワーデバイスの極限性能はどのようなものかの工学的側面、何がその性能を支配しているのかの物理学的側面の両方から特性評価を可能とするシステムを開発した。平成10年度は、初年度に製作した評価回路と駆動電源を使用して実際にパワーデバイスを試験評価し、デバイスシミュレータから得られる結果と比較しながら、デバイスの限界性能を定量的に評価する手法を確立した。以下に成果を項目別に示す。
(1) 極限性能評価システムの動作検証では、超低インダクタンス評価回路と高速測定系を組み合わせ、半導体デバイスの極限性能評価システムを構成した。特に試験評価回路の静電容量値を可変とすることで、パワーデバイスの非破壊試験を可能とした。この結果、SIサイリスタが最大電流変化率di/dt=1.1×10^<11>(A/s)までの高速ターンオン特性を有していることを初めて検証することができた。
(2) デバイスシミュレータによる理論解析では、大容量SIサイリスタの実用モデルを構築し、パワーデバイスのターンオン特性を決定づける要因を、特にキャリアの移動に着目して検討し、続いて外部回路条件が及ぼす影響を明らかにした。
(3) パワーデバイスの高速駆動法の検討では、パワーデバイスをnsで高速駆動するため高速MOSFETを使用した高速ゲート駆動回路を開発した。この結果、従来型のゲート駆動回路では引き出せなかったターンオン特性を得ることに成功し、充電電圧5kVでターンオン時間35nsを達成することができた。さらに繰り返し周波数2kHzで安定に動作できることも確認した。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (25件)

  • [文献書誌] Shinji IBUKA: "SI-Thyristor As A High Power Switching Device for Fast High Voltage Pulse Generators" 11th IEEE Int.Pulsed Power Conf.2. 954-958 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shinji IBUKA: "Evaluation of 5500V-Class SI-Thyristor As Pulsed Power Switching Device Utilization A Low Inductance Testing Circuit" 23rd Int.Power Modulator Symposium. 4.3- (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 神宮司和孝: "パルス大電力放電励起に用いる半導体パワーデバイスの特性評価" 電気学会プラズマ研究会. EP-98-55. 43-47 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 石井彰三: "大電力パルス発生技術とそれに向けたパワーデバイスの動向" 電気学会電子デバイス・半導体電力変換合同研究会. EDD-98-87. 1-6 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.YASUOKA: "Testing System for Measuring High di/dt Response of Power Devices" 電気学会プラズマ研究会. EP-98-78. 75-80 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.OSADA: "Switching Characteristics of SI-thyristors for High-repetition Rate Pulsed Power Applications" 電気学会プラズマ研究会. EP-98-88. 81-86 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 石井彰三: "大電力パルス発生技術とそれに向けたパワーデバイスの動向(技術報告)" 電気学会, 86 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shinji IBUKA: "SI-thyristor as a high power switching device for fast high voltage pulse generators" 11th IEEE Int.Pulsed Power Conf.Vol.2. 957-958 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shinji IBUKA: "Evaluation of 5500V-class SI-thyristor as pulsed power switching device utilizing a low inductance testing circuit" 23^<rd> Int.Power Modulator Symposium. 4-3. (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kazutaka JINGUSHI: "Evaluation of semiconductor power devices for exciting pulsed high-power discharges" IEEJ. EP-98-55. 43-47 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shozo ISHII: "Key technology for the pulsed power generation and technological advance of semiconductor power devices" IEEJ. EDD-98-97. 1-6 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Koichi YAUSOKA: "Testing system for the measuring high di/dt response of power devices" IEEJ. EP-98-78. 75-80 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Toshihiro OSADA: "Switching characteristics of SI-thyristors for high-repetition rate pulsed power applications" IEEJ. EP-98-88. 81-86 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shozo ISHII: "Key technology for the pulsed power generation and technological advance of semiconductor power devices" IEEJ Technical report 710. (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shinji IBUKA: "SI-Thyristor As A High Power Switching Device for Fast High Voltage Pulse Generators" 11th IEEE Int.Pulsed Power Conf.2. 954-958 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Shinji IBUKA: "Evaluation of 5500V-Class SI-Thyristor As Pulsed Power Switching Device Utilization A Low Inductance Testing Circuit" 23rd Int.Power Modulator Symposium. 4・3 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 神宮司和孝: "パルス大電力放電励起に用いる半導体パワーデバイスの特性評価" 電気学会プラズマ研究会. EP-98-55. 43-47 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 石井彰三: "大電力パルス発生技術とそれに向けたパワーデバイスの動向" 電気学会電子デバイス・半導体電力変換合同研究会. EDD-98-87. 1-6 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.YASUOKA: "Testing System for Measuring High di/dt Response of Power Devices" 電気学会プラズマ研究会. EP-98-78. 75-80 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] T.OSADA: "Switching Characteristics of SI-thyristors for High-repetition Rate Pulsed Power Applications" 電気学会プラズマ研究会. EP-98-88. 81-86 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 石井彰三: "大電力パルス発生技術とそれに向けたパワーデバイスの動向" 電気学会(技術報告), (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Shinji Ibuka: "Fast High-Voltage Pulse Generator with Nonlinear Transmission Line for High Repetition Rate Operation" IEEE Transactions on Plasma Science. 25(2). 266-271 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Shinji Ibuka: "SI-Thyristor As High Power Switching Device for Fast High Voltage Pulse Generators" Abst. of The 11th IEEE Int. Pulsed Power Conf.267- (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Shozo Ishii: "SI-Thyristor and its Pulsed Power Applications" Proc. of The 10th Symp. of Static Induction Devices. 35-38 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 石井彰三: "パワーデバイスと高速パルス大電力技術" 平成9年電気学会産業応用部門全国大会. S1. 1-2 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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