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PDP用高周波駆動マイクロプラズマセルの開発

研究課題

研究課題/領域番号 09450146
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

真壁 利明  慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (60095651)

研究分担者 中野 誠彦  慶應義塾大学, 理工学部, 専任講師 (40286638)
研究期間 (年度) 1997 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
12,200千円 (直接経費: 12,200千円)
1999年度: 3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
1998年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
1997年度: 5,100千円 (直接経費: 5,100千円)
キーワードマイクロセルプラズマ(MCP) / 高周波プラズマ / プラズマディスプレーパネル(PDP) / Xe / Ne混合ガス / 化学イオン化 / RCTモデル / プラズマモデリング / rfプラズマ / 体積(サイズ)効果 / プラズマディスプレイパネル / マイクロプラズマセル
研究概要

実用化されている低周波駆動のプラズマディスプレーパネルは低発光効率とLSI回路不整合性が本質的な課題である。本研究はこれら課題を革新的にブレークスルーする全く新しい高周波駆動マイクロセルプラズマ(MCP)をプラズマモデリングから提案することを目的とした。今年度は、
1)慣用的なPDP、すなわち、誘電体3電極型の低周波(100kHz)駆動プラズマの書き込み、維持、消去の各フェーズをシミュレーションし、3つの電極それぞれの機能を把握し、入力電力にたいする発光種生成功率が低い事実を総合的に評価した。
2)原料ガスXe/Ne系の科学イオン化作用が全電離過程に与える影響を定量的に把握するために、Xe/Ne系の電子輸送パラメータをボルツマン方程式の直接解法(DNP)から解析しデータベースを構築した。
3)高周波駆動、特に、50MHzで円筒状誘電体で囲まれたリング電極を有する容量結合マイクロセル内のプラズマ構造と維持特性を解明した。マイクロオーダーのセルを用いる限り、セル側壁からの荷電粒子の損失とセル内での発生の比は大略代表的なセル長さに逆比例し増大する。結局、MCP実現の鍵はセル壁でのプラズマ損失過程をできるだけ防ぐことができるセル構造の具体化である。
4)本研究では具体的なセル構造を提案し、そのプラズマモデリング予測から50MHz駆動MCPの優れた具体的特性を明らかにした。低周波駆動に比較してイオンが担う電力が減少し、従って、電子衝突を経た光発光効率が実現できることを論じた。

報告書

(4件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (25件)

  • [文献書誌] M. Kurihara and T. Makabe: "Two-dimensional modeling of a micro-cell-plasma in Xe driven by high frequency"IEEE Trans on Plasma Sci.. 27(5). 1372-1378 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J. Sumioka, M. Kurihara and T. Makabe: "2D modeling of a conventional PDP in Xe with three electrodes system"Proc of 17th Symp on Plasma Proceeding. 283-286 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原優: "高周波(HF)励起マイクロセルプラズマ"プラズマ・核融合学会誌. (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原優: "RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング-Ne/Xe混合ガスの影響-"第60回応用物理学会講演予稿集. No.1. 170 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原優: "Frequency characteristics in a micro-cell plasma in Xe by using RCT model"Program of the 52th GEC. 44, No.4. 19 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原優: "RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング-Ne/Xe混合ガス-"プラズマ・核融合学会誌. (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 真壁利明: "プラズマエレクトロニクス"培風館. 224 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Kurihara and T. Makabe: "Two-dimensional modeling of a micro-cell-plasma in Xe driven by high frequency"IEEE Trans. On Plasma Sci. 27(5). 1372 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Makabe and M. Kurihara,: "Micro-cell-plasma driven by high frequency voltage source"J. Plasma and Fusion Research. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Makabe: "Plasma Electronics"Baifukan. (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kurihara and T.Makabe: "Two-dimensional modeling of a micro-cell-plasma in Xe driven by high frequency"IEEE Trans.on Plasma Sci. 27(5). 1372-1378 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原 優: "RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング-Ne/Xe混合ガスの影響-"第60回応用物理学会講演予稿集. No.1. 170 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原 優: "Frequency characteristics in a micro-cell plasma in Xe by using RCT model"Program of the 52th GEC. 44,No.4. 19 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] J.Sumioka,M.Kurihara,T.Makabe: "2D modeling of a conventional PDP in Xe with three electrodes system"Proc.of 17th Symp.on Plasma Processing. 283-286 (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原 優: "RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング-Ne/Xe(10%)混合ガス-"応用物理学会講演予稿集. (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] 真壁利明、栗原 優: "高周波(HF)励起マイクロセルプラズマ"プラズマ・核融合学会誌. (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kurihara: "RF plasma characteristics in a micro-cell in Xe by using RCT model" Extended abstracts in 4^<th> Int.Cont.on Reactive Plasmas. 39-40 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kurihara: "高周波マイクロセルプラズマのモデリング" 電気学会 プラズマ研究会資料. EP-98-104. (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kurihara: "2D modeling of a micro-cell plasma in Xe driven by high frequency" IEEE Trans.on Plasma Science. (accepted). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kurihara: "2D modelling of RF plasma in a micro-cell in Xe by using RCT model" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 326-365 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Nakano: "Modeling of dual frequency capacitively coupled plasma by two dimensional relaxation contimuum model" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 194-197 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Hasebe: "2D modeling of nonvolatile particle transport from etched surface in RIE" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 186-189 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] R.Hashido: "Two-dimensional transport of submicton particles in capacitively coupled plasma reactor" Jpn.J.Appl.Phys.36・6A. 3707-3713 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kurihara: "Electron transport in CF4,Xe by using DNP of the Boltzmann equation" Bulletin of the American Phys.Soc.42・8. 1705- (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 栗原優: "RCTモデルによるXe,RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング" 第45回春季応用物理学会予稿集. (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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