| 研究課題/領域番号 |
09450236
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
弘津 禎彦 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (70016525)
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| 研究分担者 |
卞 波 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (80283810)
大久保 忠勝 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (00242462)
中田 芳幸 大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (40164214)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
15,200千円 (直接経費: 15,200千円)
1998年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
1997年度: 11,800千円 (直接経費: 11,800千円)
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| キーワード | 極細束電子線 / ナノ結晶構造解析 / 高分解能電子顕微 / 試料傾斜ドリフト補正 / ナノビーム電子回折 / 極細束電子線構造解析 / 高分解能電子顕微鏡 / 電子線構造解析 / ドリフト補正 |
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| 研究概要 |
本研究は、数nmの粒子からなる同一の視野を保持したまま高分解能観察・電子回折像撮影を行うことによりナノ結晶の電子線構造解析を可能とする「極細束電子線ナノ結晶構造解析法」の開発、及びその応用を目的として行われた。構造解析の対象としたナノ結晶は周囲の拘束のない自由ナノ結晶、マトリックス中に埋め込まれた非晶質中の規則領域などである。具体的にはまず、市販の電子顕微鏡試料ドリフト補正装置を改良することで大角度試料傾斜に伴う試料位置補正を可能にする「電子顕微鏡試料傾斜ドリフト補正装置」の開発を行った。さらに、本装置を用いた極細束電子線による材料のナノ結晶・ナノ領域構造解析の適応範囲の把握と有用性の確認を行うためにナノメートルサイズの組織を有する「アモルファス合金中のナノ組織」、「金属ナノ微粒子」の作成、評価についての研究を行った。この結果、限られた条件下ではあるが本装置を用いることでナノ領域での極細束電子線ナノ結晶構造解析の可能性が示された。
本研究によりナノ結晶・ナノ領域構造解析の実現に向けて大きな障害の一つとなっていた「複数の方位からのナノ領域観察」の可能性を示すことができた。今後、ゴニオメータの機械的制御精度の向上,任意の試料位置を電子顕微鏡ホルダのX,Y軸上に配置できるような試料ホルダの開発により複数方位からのナノ領域高分解能観察が実用的な技術になるものと考えられる。高分解能観察下での十分な精度を保持した多方位からの同一視野観察、および電子回折は今後のナノ構造、ナノ粒子構造解析に全く新しい道を開くものであり、X線多軸ゴニオステージによる単結晶構造解析に類似した「電子顕微鏡ナノ粒子単結晶構造解析」の実現に向けて今後さらなる継続的な開発が必要である。
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