• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

ゾル-ゲル法による制御された組織を持つ酸化物コーティング膜の作製

研究課題

研究課題/領域番号 09450328
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 無機工業化学
研究機関大阪府立大学

研究代表者

南 努  大阪府立大学, 工学部, 教授 (80081313)

研究分担者 松田 厚範  大阪府立大学, 工学部, 助手 (70295723)
忠永 清治  大阪府立大学, 工学部, 助手 (90244657)
辰巳砂 昌弘  大阪府立大学, 工学部, 教授 (50137238)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
11,300千円 (直接経費: 11,300千円)
1998年度: 4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
1997年度: 6,900千円 (直接経費: 6,900千円)
キーワードゾル-ゲル法 / 微細組織 / 微粒子 / 無機-有機複合体 / 電気泳動電着 / 厚膜 / 強誘電体薄膜 / 透明 / 透明化 / 原紙間力顕微鏡 / 硬度 / 有機無機複合コーティング膜
研究概要

本研究では、これまでのゾル-ゲル法による酸化物薄膜の作製方法、およびゾル-ゲル電気泳動電着法による酸化物厚膜の作製方法に関する知見を基に、液相法の特徴を生かして薄膜および厚膜表面の組織をナノメーターの領域で制御することによって、膜に機能性を付与した新しい材料を創製することを目的とした。
本研究で得られた成果の概要を以下に示す。
1. ポリビニルトリエトキシシラン-テトラエトキシシラン系から、ゾル-ゲル法によりポリイミド基板上に有機-無機複合コーティング膜を作製した。広い組成範囲でクラックのない柔軟性のある膜を作製することができた。
2. シリカ微粒子を含むゾル溶液にカチオン性の高分子界面活性剤であるポリエチレンイミンを加えた溶液を用いてステンレス基板上への電気泳動電着を行った。0.01mass%のポリエチレンイミンを添加した場合に膜厚は約20μmとなり、熱処理を行ってもクラックのない厚膜が得られた。
3. 酢酸イットリウム、酢酸マンガンを用いてYMnO_3系強誘電体薄膜を作製した。さらに、5〜10%イットリウムが過剰の組成において緻密で平滑な表面を持つ薄膜を得ることができ、良い誘電特性を示すことを見い出した。
4. YMnO3薄膜をラッピドサーマルアニーリング(RTA)を用いて熱処理を行うことにより、通常の熱処理に比べて非常に結晶性のよい緻密な組織を有する薄膜を作製することができた。
5. チタニア-シリカ系ゾル-ゲル薄膜を温水処理することにより、アナターゼナノ微結晶が均一に分散した透明薄膜が100℃以下の低温で作製できることを見い出した。
6. フェニルシルセスキオキサン粒子を電気泳動電着に用いることによりITOコートガラス基板に厚膜を形成した。得られた厚膜は400℃で熱処理を行うことにより透明性が飛躍的に向上した。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (45件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (45件)

  • [文献書誌] K. Tadanaga: "Preparation of Organic-Inorganic Hybrid Coating Films from Vinyltriethoxysilane-Tetraethoxysilane by the Sol-Gel Method" J. Ceram. Soc. Jpn.105〔7〕. 555-558 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Hasegawa: "Preparation of Thick Silica Films by the Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using a Cationic Polymer Surfactant" J. Ceram. Soc. Jpn.105〔7〕. 569-572 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Iwashita: "Water Permeation of SiO_2-CH_3SiO_<3/2> Thin Films Modified with Trimethylsilyl Groups on Nylon-6 Substrates" J. Sol-Gel Sci. Tech.10〔3〕. 301-307 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N. Fujimura: "YMnO_3 Thin Films Prepared from Solutions for Non Volatile Memory Devices" Jpn. J. Appl. Phys.36〔12〕. L1601-L1603 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Matsuda: "Optical Disk Substrate Fabricated by the Sol-Gel Method" Key Engineering Materials. 150. 111-120 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Hasegawa: "Effect of Poly(acrylic acid) on the Preparation of Thick Silica Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition of Re-dispersed Silica Particles" J. Mat. Sci.33〔4〕. 1095-1098 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Kitahata: "Microstructure and Dielectric Properties of YMnO_3 Thin Films Prepared by Dip-Coating" J.Am.Ceram.Soc.81〔5〕. 1357-1360 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Physical and Chemical Properties of MeSiO_<3/2>-SiO_2 Films Prepared by the Sol-Gel Method" Proc.XVIII Inter.Cong.on Glass. C4. 37-42 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Katagiri: "Preparation of Transparent Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Phenyltriethoxysilane-Derived Particles" J.Am.Ceram.Soc.81〔9〕. 2501-2503 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R.Sakamoto: "Preparation of Titania Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Hydrothermally Treated Particles" J.Ceram.Soc.Jpn.106〔10〕. 1034-1036 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Fine-Patterning and Characterization of Gel Films Derived from Methyltriethoxysilane and Tetraethoxysilane" J.Am.Ceram.Soc.81〔11〕. 2849-2852 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tadanaga: "Preparation and Dielectric.Properties of YMnO_3 Ferroelectric Thin Films by the Sol-Gel Method" J.Sol-Gel Sci.Tech.13〔1-3〕. 903-907 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 辰巳砂昌弘: "表面処理対策Q&A1000" (株)産業技術サービスセンター, 965 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Tatsumisago: "Variation of Microenvironment around Auramine O Molecules Doped in Silica Prepared from Tetramethoxysilane" J.Sol-Gel Sci.Tech.10[1]. 13-17 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tadanaga: "Preparation of Organic-Inorganic Hybrid Coating Films from Vinyltriethoxysilane-Tetraethoxysilane by the Sol-Gel Method" J.Ceram.Soc.Jpn. 105[7]. 555-558 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Preparation of Thick Silica Films by the Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using a Cationic Polymer Surfactant" J.Ceram.Soc.Jpn. 105[7]. 568-572 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Preparation of Thick Inorganic-Organic composite Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Organically Modified Silica Particles and PolyethyleneMaleate" Chem.Lett.[11]. 1115-1116 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Iwashita: "Water Permeation of SiO2-CH3SiO3/2 Thin Films Modified with Trimethylsilyl Groups on Nylon-6 Substrates" J.Sol-Gel Sci.Tech.10[3]. 301-307 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Fujimura: "YMnO3 Thin Films Prepared from Solutions for Non Volatile Memory Devices" Jpn.J.Appl.Phys.36[12]. L1601-L1603 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Optical Disk Substrate Fabricated by the Sol-Gel Method" Key Engineering Materials. 150. 111-120 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Effect of Poly (acylic acid) on the Preparation of Thick Silica Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition of Re-dispersed Silica Particles" J.Mat.Sci.33[4]. 1095-1098 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kitahata: "Microstrucutre and Dielectric Properties of YMnO3 Thin Films Prepared by Dip-Coating" J.Am.Ceram.Soc.81[5]. 1357-1360 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Physical and Chemical Properties of MeSiO3/2-SiO2 Films Prepared by the Sol-Gel Method" Proc.XVIII Inter.Cong.on Glass. C4. 37-42 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Katagiri: "Preparation of Transparent Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Phenyltriethoxysilane-Derived Particles" J.Am.Ceram.Soc.81[9]. 2501-2503 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R.Sakamoto: "Preparation of Titania Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Hydrothermally Treated Particles" J.Ceram.Soc.Jpn.106[10]. 1034-1036 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Fine-Patterning and Characterization of Gel Films Derived from Methyltriethoxysilane and Tetraethoxysilane" J.Am.Ceram.Soc.81[11]. 2849-2852 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tadanaga: "Preparation and Dielectric Properties of YMnO3 Ferroelectric Thin Films by the Sol-Gel Method" J.Sol-Gel Sci.Tech.13[1-3]. 903-907 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Preparation of Thick Films by Electrophoretic Deposition Using Surface Modified Silica Particles Derived from Sol-Gel Method" J.Sol-Gel Sci.Tech.(in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Effect of Heat Treatment on the Morphology and Transparency of Thick Inorganic-Organic Hybrid Films Prepared by the Electrophoretic Sol-Gel Deposition of Polyphenylsilsesquioxane Particles" Proc.1998 Pac Rim Meeting of the Ceramic Societies. (in press). (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Tatsumisago: "Preparation of Oxide Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition" Hyomen-shori Taisaku Q & A. ver.2 5 (3). 938-941 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Effect of Poly(acrylic acid) on the Preparation of Thick Silica Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition of Re-dispersed Silica Particles" J.Mat.Sci.,. 33・[4]. 1095-1098 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kitahata: "Microstructure and Dielectric Properties of YMnO_3 Thin Films Prepared by Dip-Coating" J.Am.Ceram.Soc.,. 81・[5]. 1357-1360 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Physical and Chemical Properties of MeSiO_<3/2>-SiO_2 Films Prepared by the Sol-Gel Method" Proc.X VIII Inter.Cong.on Glass. C4. 37-42 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Katagiri: "Preparation of Transparent Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Phenyltriethoxysilane-Derived Particles" J.Am.Ceram.Soc.,. 81・[9]. 2501-2503 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] R.Sakamoto: "Preparation of Titania Thick Films by Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using Hydrothermally Treated Particles" J.Ceram.Soc.Jpn.,. 106・[10]. 1034-1036 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Fine-Patterning and Characterization of Gel Films Derived from Methyltriethoxysilane and Tetraethoxysilane" J.Am.Ceram.Soc.,. 81・[11]. 2849-2852 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Preparation of Thick Films by Electrophoretic Deposition Using Surface Modified Silica Particle Derived from Sol-Gel Method" J.Sol-Gel Sci.Tech.,in press. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tadanaga: "Preparation and Dielectric Properties of YMnO_3 Ferroelectric Thin Films by the Sol-Gel method" J.Sol-Gel Sci.Tech.,. 13・[1-3]. 903-907 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Effect of Heat Treatment on the Morphology and Transparency of Thick Inorganic-Organic Hybrid Films Prepared by the Electrophoretic Sol-Gel Deposition of Polyphenylsilsesquioxane Particles" Proc.1998 Pac Rim Meeting of the Ceramic Societies,in press. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 辰巳砂昌弘: "表面処理対策Q&A1000" (株)産業技術サービスセンター, 965 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tadanaga: "Preparation of Organic-Inorganic Hybrid Coating Films from Vinyltriethoxysilane-Tetraethoxysilane by the Sol-Gel Method" J.Ceram.Soc.Jpn.105[7]. 555-558 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hasegawa: "Preparation of Thick Silica Films by the Electrophoretic Sol-Gel Deposition Using a Cationic Polymer Surfactant" J.Ceram.Soc.Jpn.105[7]. 569-572 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Iwashita: "Water Permeation of SiO_2-CH_3SiO_<3/2> Thin Films Modified with Trimethylsilyl Groups on Nylon-6 Substrates" J.Sol-Gel Sci.Tech.10[3]. 301-307 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] N.Fujimura: "YMnO_3 Thin Films Prepared from Solutions for Non Volatile Memory Devices" Jpn.J.Appl.Phys.36[12]. L1601-L1603 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] A.Matsuda: "Optical Disk Substrate Febricated by the Sol-Gel Method" Key Engineering Materials. 150. 111-120 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

URL: 

公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi