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高効率・低コストの太陽電池用の多結晶シリコン薄膜の新しい製造法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 09480102
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 エネルギー学一般・原子力学
研究機関大阪大学

研究代表者

中戸 義禮  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (70029502)

研究分担者 八重 真治  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助手 (00239716)
研究期間 (年度) 1997 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
11,300千円 (直接経費: 11,300千円)
1999年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1998年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1997年度: 7,200千円 (直接経費: 7,200千円)
キーワード太陽電池 / 多結晶シリコン薄膜 / 溶融塩 / 電解還元 / 接合 / 表面準位 / 終端結合 / ナノ加工 / 新型の太陽電池 / シリコン表面終端 / 電析機構 / 白金超微粒子 / 電析 / 多結晶シリコン / 薄膜材料 / 四塩化ケイ素 / フラットバンド電位
研究概要

高効率・低コストな新型の太陽電池の開発を目標に、良質な多結晶シリコン薄膜の新しい製造法の確立を目指して研究を行った。本研究の新しい方法とは、シリコンの原料として安価な四塩化ケイ素を用い、溶融塩を電解質として、電解還元により陰極基板上に薄膜を析出させるというものである。四塩化ケイ素が溶融塩に難溶のため析出物が不均一になるという問題を解決するため、種々の溶融塩を検討した。三塩化アルミニウム・塩化ノルマルブチルピリジニウム混合溶融塩は四塩化ケイ素を高濃度に溶解したが、100℃以下でしか使用できないため、析出Siがアモルファスになるという欠点があった。そこで、塩化リチウム・塩化カリウム溶融塩を用いて、電極を回転する方式で溶質の難溶性を解決することにし、この方法で陰極基板の全域に薄膜が形成できることが明らかになった。この研究に平行して、多結晶シリコン薄膜の利用に適した高性能の新しい接合法の開拓、シリコン表面上の表面準位の分布と低減、シリコン表面終端結合の化学的変換、シリコン表面のナノ加工に関する研究も行った。シリコンの電析機構とその制御法を明らかにするために、原子レベルで平坦なシリコン単結晶表面上のSi-HやSi-X(X=ハロゲン)結合の反応性を調べ、適当な条件下でSi-X終端結合を形成できることを見出した。新しい接合法の開発に関しては、白金超微粒子を施したn型Si表面を用いる新型固体太陽電池"n-Si/Pt,SiO2/p-CuI/ITO"が良好な特性を示し、新しい接合法として有望であることを明らかにした。特に、金属微粒子をつけない場合に、開回路光電圧(Voc)0.617Vという理論値に近い大きい値が得られることが明らかになった。金属微粒子をナノメートルのサイズで大きさ、分布をよく制御してつける方法についても検討し、配向ナノロッドを形成できることを見出した。

報告書

(4件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (28件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (28件)

  • [文献書誌] Y. Nakato: "Efficient Solar-to-Chemical Conversion by One Chip of n-Type Silicon with Surface Asymmetry"Electrochem. Solid-State Lett.. 1. 71-73 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Kobayashi: "Oxide Thickness Dependence of Energy Shifts in the Si 2p Levels for the SiO_2/Si Structure, and its Elimination by a Palladium Overlayer"Appl. Phys. Lett.. 73. 933-935 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Morisawa: "Electrochemical Metal Deposition on Atomically Nearly-Flat Silicon Surfaces Accompanied by Nano-Hole Formation"Electrochem. Acta. 44. 3725-3729 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Ishida: "Structural Control of Semiconductor Surfaces on Atomic and Nanometer Scales for Efficient Solar Energy Conversion"Z. Phy Chem.. 212. 99-106 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Murakoshi: "Anisotropic Agglomeration of Surface-Modified Gold Nanoparticles in Solution and on Solid Surfaces"Jpn. J. Appl. Phys.. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Imanishi: "Formation of Ordered Rod-like Clusters of Iodine on H-Terminated Si(111) Surfaces During Immersion in Concentrated HI Solutions"Jpn. J. Appl. Phys.. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Nakato: "Efficient Solar-to-Chemical Conversion by One Chip of n-Type Silicon with Surface Asymmetry"Electrochemical and Solid-State Letters. Vol.1, No.2. 71-73 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Kobayashi: "Oxide Thickness Dependence of energy Shifts in the Si 2p Levels for the SiOィイD22ィエD2/Si Structure, and its Elimination by a Palladium Overlayer"Appl. Phys. Lett.. Vol.73, No.7. 933-935 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Morisawa: "Electrochemical Metal Deposition on Atomically Nearly-flat Silicon Surfaces Accompanied by Nano-hole Formation"Electrochimica Acta. Vol.44. 3725-3729 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Ishida: "Structural Control of Semiconductor Surfaces on Atomic and Nanometer Scales for Efficient Solar Energy Conversion"Z. Phys. Chem.. Vol.212. 99-106 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Murakoshi: "Anisotropic Agglomeration of surface-Modified Gold Nanoparticles in Solution and on Solid Surfaces"Jpn. J. Appl. Phys.. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Imanishi: "Formation of Ordered Rod-like Clusters of Iodine on H-Terminated Si (111) Surfaces During Immersion in Concentrated HI Solutions"Jpn. J. Appl. Phys.. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Morisawa: "Electrochemical Metal Deposition on Atomically Nearly-Flat Silicon Surfaces Accompanied by Nano-Hole Formation"Electrochim. Acta. 44. 3725-3729 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] M. Ishida: "Structural Control of Semiconductor Surfaces on Atomic an Nanometer Scales for Efficient Solar Energy Conversion"Z. Phy Chem. 212. 99-106 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] K. Murakoshi: "Anisotropic Agglomeration of Surface-Modified Gold Nanoparticles in Solution and on Solid Surfaces"Jpn. J. Appl. Phys.. (in press).

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] A. Imanishi: "Formation of Ordered Rod-like Clusters of Iodine on H-Terminated Si(111) Surfaces During Immersion in Concentrated HI Solutions"Jpn. J. Appl. Phys.. (in press).

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] R.Hinogami: "An Approach to Ideal Semiconductor Electrodes for Efficient Photoelectrochemical Reduction of Carbon Dioxide by Modification with Small Metal Particle" J.Phys.Chem.B. 102(6). 974-980 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Nakamura: "Photoelectrochemical Reduction of CO_2 at a Metal-particle Modified p-Si Electrode in Non-aqueous Solutions" Studies on Surface Science and Catalysis. 114. 565-568 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Nakato: "Efficient Solar-to-Chemical Conversion by One Chip of n-Type Silicon with Surface Asymmetry" Electrochemical and Solid-State Letters. 1(2). 71-73 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] R.Schlaf: "Fermi Level Pinning on HF Etched Silicon Surfaces Investigated by Photoelectron Spectroscopy" The Journal of Vacuum Science and Technology. (in press). (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Ishida: "Structural Control of Semiconductor Surfaces on Atomic and Nanometer Scales for Efficient Solar Energy Conversion" Z.Phy Chem.(in press). (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Morisawa: "Electrochemical Metal Deposition on Atomically Nearly-Flat Silicon Surfaces Accompanied by Nano-Hole Formation" Electrochim.Acta. (in press). (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Kawakami: "Improvement in Photovoltage and Stability of Porous n-Si Electrodes Coated with Platinum by Regulation of the Thickness of Nanoporous Layers" J.Phys.Chem.B. 101・23. 4508-4513 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] R.Hinogami: "Modification of Semiconductor Surface with Ultrafine Metal Particles for Efficient Photoelectrochemical Reduction of Carbon Dioxide" Appl.Surf.Sci.121/122. 301-304 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kobayashi: "Improvement of 〈indium-tin-oxide/silicon oxide/n-Si〉 junction solar cell characteristics by cyanide treatment" J.Appl.Phys.81. 7630-7634 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Fujitani: "Modulation of Flat-band Potential and Increase in Photovoltage for n-Si Electrodes by Formation of Halogen Atom Terminated Surface Bonds" Chem.Lett.1041-1042 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kobayashi: "Improvement of Electrical Characteristics of 〈Indium Tin Oxide/Silicon Oxide/Polycrystalline n-Si〉 Solar Cells by a KCN Treatment" J.Electrochem.Soc.144・8. 2893-2897 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] R.Hinogami: "An Approach to Ideal Semiconductor Electrodes for Efficient Photoelectrochemical Reduction of Carbon Dioxide by Modification with Small Metal Particles" J.Phys.Chem.B. 102・6. 974-980 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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