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環境質制御ナノ欠陥追跡・解析装置の開発

研究課題

研究課題/領域番号 09555030
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関京都大学

研究代表者

駒井 謙治郎  京都大学, 工学研究科, 教授 (70025948)

研究分担者 箕島 弘二  京都大学, 工学研究科, 助教授 (50174107)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
13,600千円 (直接経費: 13,600千円)
1998年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
1997年度: 10,500千円 (直接経費: 10,500千円)
キーワード原子間力顕微鏡 / マイクロメカニカルテスティング / その場観察 / 動的環境強度 / 環境ぜい化 / 微小機械要素 / 単繊維試験 / 高強度・高弾性繊維 / 動的環境強度環 / マイクロマシン / 損傷評価 / ラマン分光
研究概要

環境質を制御し,かつ動的荷重を負荷した条件下において原子間力顕微鏡観察が行えるように,真空環境や湿潤ガス環境下で動作可能な環境質対応型原子間力顕微鏡と微小な荷重を精度良く負荷することの可能な環境対応型動的負荷装置,および環境槽よりなる環境質制御ナノ欠陥追跡・解析装置を試作した。本試作装置に採用した原子間力顕微鏡は,1)試料の上方に探針駆動のためのピエゾ素子スキャナ,探針,検出系の全てが位置している構造,2)ピエゾ素子スキャナ,検出系(半導体レーザ素子やレーザ光検出器)が環境槽と分離している構造,を有している。このような構造を採用することにより,湿潤ガス環境中の原子間力顕微鏡観察においてもスキャナや半導体レーザ素子に湿潤ガスが曝されることなく安定した原子間力顕微鏡観察を可能とした。また,マイクロエレメントや複合材料強化用高強度・高弾性繊維に対して動的な荷重を精度良く負荷可能なように電磁力方式による環境対応型動的負荷装置を開発した。本研究においては,本試作装置が所望の性能を有していることを確認するとともに,試作装置と微小材料機械的特性評価試験装置を用いて,セラミックス系単繊維の引張荷重保持下および変動応力下の試験を実施するとともに,原子間力顕微鏡を用いてナノメータオーダで単繊維表面の損傷を可視化した。その結果,空中の変動応力下および水環境中の一定持続荷重下ともに応力繰返し数あるいは時間の経過とともに,nmオーダの表面あらさが増大することを明らかにするとともに,そのあらさの増大速度を求め,試作装置の有用性を確認した。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (43件)

  • [文献書誌] 駒井 謙治郎: "マイクロマテリアル : 1.マイクロマテリアルの現代的ニーズと今後の展開" 材料. 46-12. 1442-1447 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 箕島 弘二: "アラミド単繊維の機械的特性と疲労に及ぼす真空環境効果" 日本機械学会関西支部第73期定時総会講演会講演論文集. No.984-1. 12-19,12-20 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 箕島弘二: "マイクロマテリアルの機械的特性評価法" 材料. 47-4. 427-433 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minoshima: "Influence of Vacuum and Water on Tensile Fracture Behavior of Aramid Fibers" Damage and Fracture Mechanics-Computer Aided Assessment and Control. 595-604 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Komai: "Fracture and Fatigue Behavior of Single Crystal Silicon Microelements and Nanoscopic AFM Damage Evaluation" Microsytem Technologies. 5-1. 30-37 (1998)

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  • [文献書誌] 箕島弘二: "セラミックス系単繊維の引張破壊特性に及ぼす真空・水環境効果と繊維表面損傷のAFM微視観察" 日本機械学会論文集, A編. 64-628. 2964-2969 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 駒井謙治郎: "SiマイクロエレメントのFIB加工と破壊強度に及ぼす微小切欠き効果" 第42回日本学術会議材料研究連合講演会. 273-274 (1998)

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  • [文献書誌] 箕島弘二: "アラミド単繊維の疲労破壊特性に及ぼす真空環境効果" 日本機械学会第76期全国大会講演論文集, No.98-3. Vol.1. 723-724 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 駒井謙治郎: "Siマイクロエレメントの破壊と疲労に及ぼす微小切欠きと水環境の影響" 日本機械学会関西支部第74期定時総会講演会講演論文集. No.994-1. 8-21,8-22 (1999)

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  • [文献書誌] 駒井謙治郎: "マイクロマテリアルにおける機械的特性とナノスコピック損傷評価" 日本機械学会論文集, A編. 65-631 印刷中. (1999)

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  • [文献書誌] 箕島弘二: "高強度・高弾性単繊維の横方向圧縮試験と環境効果" 日本機械学会論文集, A編. 65-631 印刷中. (1999)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minoshima: "Influence of Specimen Size and Sub-Micron Notch on the Fracture Behavior of Single Crystal Silicon Microelements and Nanoscopic AFM Damage Evaluation" Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices, A.H.Heuer and S.J.Jacobs, Eds., MRS Symposium Proceedings. Vol.546 in press. (1999)

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  • [文献書誌] K.Komai: "Fracture and Fatigue Behavior in Micromaterials" Proceedings of International Conference on Small Fatigue Cracks. in press. (1999)

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  • [文献書誌] K.Komai: "Micromaterials I : Current Needs and Future Trends of Micromaterials" Journal of the Society of Materials Science, Japan. Vol.46. 1442-1447 (1997)

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  • [文献書誌] K.Minoshima, et al.: "The Influence of Vaccum on Tension-Tension Fatigue Fracture Behavior of Aramid Fibers" Proceedings of 73rd Annual Meeting of JSME of Kansai Div.No.984-1. 12-19-12-20 (1998)

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  • [文献書誌] K.Minoshima et al.: "Micromaterials V : Mechanical Evaluation of Micromaterials" Journal of the Society of Materials Science, Japan. Vol.47. 427-433 (1998)

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  • [文献書誌] K.Minoshima et al.: "Influence of Vacuum and Water on Tensile Fracture Behavior of Aramid Fibers." Damage and Fracture Mechanics-Computer Aided Assessment and Control. 595-604 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Komai, et al.: "Fracture and Fatigue Behavior of Single Crystal Silicon Microelements and Nanoscopic AFM Damage Evaluation" Microsystem Technologies. Vol.5. 30-37 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minoshima et al.: "Influence of Vacuum and Water on Fracture Behavior of Ceramic Precursor Type Fibers and AFM Observation of Surface Damage" Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers, Series A. Vol.64. 2964-2969 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Komai et al.: "Focused Ion Beam Machining of Single Crystal Si Microelement and the Influence of Micro-Notch on Fracture Behavior" Proceedings of 42nd Japan Congress on Materials Research, The Science Council of Japan. 273-274 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minoshima et al.: "The Effects of Vacuum Environment on Fatigue Fracture Behavior of Aramid Fibers" Proceedings of the 76th JSME Fall Annual Meeting. No.98-3, Vol.I. 723-724 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Komai et al.: "Influence of Micro-Notch and Water on Fracture and Fatigue Strength of Single-Crystal Silicon Microelements" Proceedings of 74th Annual Meeting of JSME of Kansai Div.No.994-1. 8-21-8-22 (1999)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Komai et al.: "Mechanical and Nanoscopic Damage Evaluation in Micromaterials" Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers, Series A. Vol.65(in press). (1999)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minoshima et al.: "Lateral Compression of High Strength and High Elastic Modulus Fibers and Influences of Environments" Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers, Series A. Vol.65(in press). (1999)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minoshima: "Influence of Specimen Size and Sub-Micron Notch on the Fracture Behavior of Single Crystal Silicon Microelements and Nanoscopic AFM Damage Evaluation" Materials Science of Microelectromechanical Systems(MEMS)Devices, A.H.Heuer and S.J.Jacobs, Eds., MRS Symposium Proceedings. (in press). (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Komai et al.: "Fracture and Fatigue Behavior in Micromaterials" Proceedings of International Conference on Small Fatigue Cracks. (in press). (1999)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 箕島弘二: "マイクロマテリアルの機械的特性評価法" 材料. 47-4. 427-433 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Minoshima: "Influence of Vacuum and Water on Tensile Fracture Behavior of Aramid Fibers" Damage and Fracture Mechanics-Computer Aided Assessment and Control. 595-604 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Komai: "Fracture and Fatigue Behavior of Single Crystal Silicon Microelements and Nanoscopic AFM Damage Evaluation" Microsytem Technologies. 5-1. 30-37 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 箕島弘二: "セラミックス系単繊維の引張破壊特性に及ぼす真空・水環境効果と繊維表面損傷のAFM微視観察" 日本機械学会論文集,A編. 64-628. 2964-2969 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 駒井謙治郎: "マイクロマテリアルにおける機械的特性とナノスコピック損傷評価" 日本機械学会論文集,A編. 65-631. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 箕島弘二: "高強度・高弾性単繊維の横方向圧縮試験と環境効果" 日本機械学会論文集,A編. 65-631. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Minoshima: "Influence of Specimen Size and Sub-Micron Notch on the Fracture Behavior of Single Crystal Silicon Microelements and Nanoscopic AMF Damage Evaluation" Materials Science of Microelectromechanical systems (MEMS) Devices,A.H.Heuer and S.J.Jacobs,Eds.,MRS Symposium Proceedings. Vol.546. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.komai: "Fracture and Fatigue Behavior in Micromaterials" Proceedings of International Conference on Small Fatigue Cracks. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 駒井謙治郎: "SiマイクロエレメントのFIB加工と破壊強度に及ぼす微小切欠き効果" 第42回日本学術会議材料研究連合講演会. 273-274 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 箕島弘二: "アラミド単繊維の疲労破壊特性に及ぼす真空環境効果" 日本機械学会第76期全国大会講演論文集,No.98-3. Vol.1. 723-724 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 駒井謙治郎: "Siマイクロエレメントの破壊と疲労に及ぼす微小切欠きと水環境の影響" 日本機械学会関西支部第74期定時総会講演会講演論文集. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Komai: "Fracture and Fatigue Behavior of Single Crystal Si Microelement and Nanoscopic AFM Damage Evalution" ICM&M'97. 733-738 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Minoshima: "Influence of Vacuum and Water on Tensile Fracture Behavior of Aramid Fibers" Advanced Technology in Experimental Mechanics. 372-378 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 箕島 弘二: "アラミド繊維の引張破壊特性に及ぼす真空・水環境効果と繊維損傷のAFM微視観察" 日本機械学会論文集,A編. 63-614. 2142-2148 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 駒井 謙治郎: "マイクロマテリアル:1.マイクロマテリアルの現代的ニーズと今後の展開" 材料. 46-12. 1442-1447 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Komai: "Nanoscopic Evaluation of Localized Corrosion Damages in an Austenitic Stainless Steel" Transactions of the 14th International Conference on Structural Mechanics in Reactor Technology. Vol.9. 109-120 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 箕島 弘二: "アラミド単繊維の機械的特性と疲労に及ぼす真空環境効果" 日本機械学会関西支部第73期定時総会講演会講演論文集. No.984-1. 129-19--12-20 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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