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超精密5軸制御マシニングセンタによる次元マイクロ部品加工

研究課題

研究課題/領域番号 09555040
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関電気通信大学

研究代表者

竹内 芳美  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (50107546)

研究分担者 沢田 潔  ファナック(株), 基礎技術研究所, 室長
浅川 直紀  金沢大学, 工学部, 講師 (50231874)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1998年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワード超精密加工 / マイクロ加工 / ダイヤモンド工具 / 5軸制御 / 溝加工 / CAD / CAM
研究概要

分解能1nmをもつ超精密5軸制御マシニングセンタを自在に稼働させることのできるCAD/CAMソフトウェアを開発し、単独に、あるいは多軸同時制御によってマイクロ加工を実施できる技術を確立することを目的とし、各種のマイクロ部品を製作する基礎技術を研究するものである。得られた研究成果は以下のようにまとめられる。
1. 各軸を単独に、あるいはいくつか組合せた基本動作をさせながら、マイクロダイヤモンド回転工具を使用してマイクロ溝加工を試みた。その応用として、複雑なセンサを構成する光学要素として今後重要になるマイクロエンコーダ面板とマイクロフレネルレンズの加工を行った。その結果、バリがなく、面精度に優れた各種の溝形状を得ることができた。
2. 溝加工用の微細回転工具、ならびにボール部の直径0.03mm程度の小径のダイヤモンド疑似ボールエンドミルを試作し、3軸制御加工で微細な曲面形状を製作できた。
3. 作製したマイクロ溝は非常に良好な形状と面精度をもつので、急峻な溝を形成して溝同士を互いに対抗させて嵌めあわせることにより接着剤の不要なマイクロ接合が可能になることを実証した。また、その本質を解明するための解析も行い、マイクロ溝を利用した微細部品の無接着剤接合の可能性を確認した。
4. 複雑な形状モデルを3次元CADデータやスキャニングデータを利用して生成し、そこから5軸制御のCLデータを生成するメインプロセッサを開発した。このとき、同時5軸制御だけを使うと機械と工具の干渉を引き起こして加工ができなくなる恐れがあり、3軸制御から5軸制御をダイナミックに組み合わせて使用できるマイクロ加工用CAMソフトウェアを研究した。これにより複雑な形状加工の基礎を確立した。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (9件)

  • [文献書誌] 沢田 潔: "超精密マイクロ溝加工の研究(V形状格子溝の製作)" 日本機械学会論文集(C編). 64・627. 4440-4446 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Nuttaphong SORNSUWIT: "マイクロ溝加工技術を用いたフレネムレンズ金型加工" 日本機械学会論文集(C編). 64・628. 4887-4892 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 沢田 潔, 竹内芳美: "超精密マシニングセンタとマイクロ加工" 日刊工業新聞社, 170 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sawada, T.Kawai, Y.Takeuchi, T.Sata: "Development of Ultraprecision Micro Groove (Manufacture of V-shaped Groove)" Tran.JSME (C). Vol.64, No.627. 4440-4446 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Sornsuwit, Y.Takeuchi, K.Sawada, T.Sata: "Metal Mold Manufacture of Fresnel Lens by Use of Micro Grooving Technology" Tran.JSME (C). Vol.64, No.628. 4887-4892 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sawada, Y.Takeuchi: "Ultraprecision Machining Center and Micromachining" Nikkan Kogyo Shinbunn. (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 沢田 潔: "超精密マイクロ溝加工の研究(V形状格子溝の製作)" 日本機械学会論文集(C編). 64・627. 4440-4446 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Nuttaphong SORNSUWIT: "マイクロ溝加工技術を用いたフレネルレンズ金型加工" 日本機械学会論文集(C編). 64・628. 4887-4892 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 沢田潔,竹内芳美: "超精密マシニングセンタとマイクロ加工" 日刊工業新聞社, 170 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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