| 研究課題/領域番号 |
09640383
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
素粒子・核・宇宙線
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| 研究機関 | 高エネルギー加速器研究機構 |
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研究代表者 |
尾高 茂 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 助手 (20160880)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
1998年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1997年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
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| キーワード | ガスマイクロストリップ / フレキシブル基板 / FPC / ポリイミド基板 / フォトリソグラフ / 超精密切削 |
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| 研究概要 |
ガスマイクロストリップ測定器は、良いtwo-track resolution(lmm以下)を有する低コストの飛跡検出器として、高エネルギー物理学実験等において将来ドリフトチェンバーやプロポーショナルチェンバーに代わる測定器と成り得るものである。しかしそのためには微細なマイクロストリップ電極を大面積の基板上に形成する技術の確立が不可欠である。また、様々な形状に対応するためには電極基板は柔軟性を有することが望ましい。
本研究ではこの様な技術の確立を目的として、技術情報の収集とそれを基にした試作を行った。その結果、20〜30μmの線幅のマイクロストリップパターンは既存のフレキシブル回路基板(FPC)技術で製作可能であることが実証できた。パターン幅の絶対的な精度に関してはさらに研究開発を行う必要があるが電極の均一性は十分に良好である。
本研究の試作では、18μm厚というマイクロストリップ電極としてはかなり厚い電極材料を使用した。厚い電極はガスマイクロストリップ測定器についての懸案である放電の問題に対する有力な解決法になる可能性がある。これまでに開発されてきたガスマイクロストリップ測定器用電極のほとんどは非常に薄いものであり、これほど厚い電極を使用した例は無い。この様な厚い電極でも実用になり得る微細なパターン形成が可能であることを実証できたことが本研究の最大の成果である。今後さらに予算的なサポートが得られれば、本研究で得られた知見を基にして実用的な測定器を目指した開発を行って行きたい。
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