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半導体吸着制御表面における素励起

研究課題

研究課題/領域番号 09640386
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
研究機関岩手大学

研究代表者

稲岡 毅  岩手大学, 工学部, 助教授 (40184709)

研究期間 (年度) 1997 – 1999
研究課題ステータス 完了 (1999年度)
配分額 *注記
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1999年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
1998年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1997年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
キーワード半導体表面 / 吸着 / キャリア涸渇層 / 表面素励起 / 表面プラズモン / 表面極性フォノン / 密度汎関数法 / 誘電応答理論 / キャリア蓄積層 / 表面光学フォノン / 誘電応答 / 表面励起 / 電子構造 / 表面バンド湾曲 / キャリア密度分布
研究概要

吸着の被覆度の増加とともに、ドープした半導体表面にキャリア涸渇層あるいは蓄積層が形成されていく例がいくつか知られている。本研究では、まず局所密度汎関数法を用いて、キャリア涸渇層形成過程における基底状態及び熱平衡状態の変化を解析した。キャリア密度プロファイルの形状の移り変わりやその温度依存性などを見出した。次に、熱平衡状態の計算結果を基礎にし、時間依存の局所密度汎関数法を用いて、キャリア涸渇層形成過程における表面素励起の変化を系統的に解析した。ここでの表面素励起は、キャリア系の表面プラズモン(PL)と表面極性フォノン(PH)が結合して生ずる2つの結合モードA、Bとキャリア系に起因する遮蔽電荷を伴う表面極性フォノンモードCを指す。主要な研究成果は次のように要約される。
(1)涸渇層形成過程における各モードのエネルギー分散とエネルギー損失強度の変化を解析した。モードAあるいはBでは、初期の上向き分散曲線が低エネルギー側にシフトすると同時に、下に凸の反り形の分散曲線に移り変わる。
(2)誘起電荷密度分布におけるキャリア成分とフォノン成分の位相関係と振幅比を解析することにより、涸渇層形成過程におけるPLとPHの結合形態の変化が明らかになった。
(3)誘起電荷密度分布の等高線図から、涸渇層形成過程におけるモードAあるいはBの空間構造の著しい変化を見出した。また、モードCでは、PHが遮蔽電荷を引きずりながら伝搬する様相と遮蔽電荷分布の変化が明らかになった。
(4)本解析により、高分解能電子エネルギー損失分光(HREELS)による実験結果が明確に説明された。
さらに、鏡面反射配置のHREELSと関連して、低視射角の入射角を固定して入射エネルギーを幅広い範囲で変えることにより、幅の狭いプローブ分散領域を走査することができ、従って表面励起モードの分散関係が正確に測定できることが分かった。
なお、キャリア蓄積層形成過程における表面素励起の変化については、今後の課題となった。

報告書

(4件)
  • 1999 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1998 実績報告書
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (20件)

  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Microscopic Structure of Dipolar Surface Plasmons in Spherical Small Particles in a Broad Size Range"Journal of the Physical Society of Japan. 66. 3908-3921 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Evolution of Electron States at Doped Semiconductor Surfaces in a Depletion-Layer Formation Process"Surface Science. 431. 156-167 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA et al.: "Thickness Dependence of Carrier-Electron States in Doped Semiconductor Films"Journal of the Physical Society of Japan. 68. 4009-4013 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Elementary Excitations at Doped Polar Semiconductor Surfaces with Carrier-Depletion Layers"Applied Surface Science. 169/170. 51-56 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Evolution of Elementary Excitations at a Doped Polar Semiconductor Surface in a Depletion-Layer Formation Process"Physical Review B. 63(印刷中). (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Kinematic Analysis of a Dispersion Region Probed in Reflection Electron-Energy-Loss Spectroscopy"Surface Science. (印刷中). (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Microscopic Structure of Dipolar Surface Plasmons in Spherical Small Particles in a Broad Size Range"J.Phys.Soc.Jpn. 66-12. 3908-3921 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Evolution of Electron States at Doped Semiconductor Surfaces in a Depletion-Layer Formation Process"Surface Science. 431-(1/3). 156-167 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA, Atsushi NISHIDA and Masayuki HASEGAWA: "Thickness Dependence of Carrier-Electron States in Doped Semiconductor Films"J.Phys.Soc.Jpn.. 68-12. 4009-4013 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Elementary Excitations at Doped Polar Semiconductor Surfaces with Carrier-Depletion Layers"Applied Surface Science. 169. 51-56 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Evolution of Elementary Excitations at a Doped Polar Semiconductor Surface in a Depletion-Layer Formation Process"Physical Review B. 63 (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Kinematic Analysis of a Dispersion Region Probed in Reflection Electron-Energy-Loss Spectroscopy"Surface Science. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1999 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Microscopic Structure of Dipolar Surface Plasmons in Spherical Small Particles in a Broad Size Range"Journal of the Physical Society of Japan. 66・12. 3908-3921 (1997)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Evolution of Electron States at Doped Semiconductor Surfaces in a Depletion-Layer Formation Process"Surface Science. 431・(1-3). 156-167 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Thickness Dependence of Carrier-Electron States in Doped Semiconductor Films"Journal of the Physical Society of Japan. 68・12. 4009-4013 (1999)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Elementary Excitations at Doped Polar Semiconductor Surfaces with Carrier-Depletion Layers"Applied Surface Science. 印刷中. (2000)

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] "その他、投稿中のもの1編、投稿準備中のもの2編"

    • 関連する報告書
      1999 実績報告書
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Microscopic Structure of Dipolar Surface Plasmons in Spherical Small Particles in a Broad Size Range" Journal of the Physical Society of Japan. 66・12. 3908-3921 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Evolution of Electron States at Doped Semiconductor Surfaces in a Depletion-Layer Formation Process" Surface Science. (発表予定). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Takeshi INAOKA: "Microscopic Structure of Dipolar Surface Plasmons in Spherical Small Particles in a Broad Size Range" Journal of the Physical Society of Japan. 66・12. 3908-3921 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2020-05-15  

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