| 研究課題/領域番号 |
09640489
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
物理学一般
|
|---|
| 研究機関 | 姫路工業大学 |
|---|
研究代表者 |
細野 和彦 姫路工業大学, 工学部, 教授 (20028236)
|
|---|
| 研究分担者 |
関岡 嗣久 姫路工業大学, 工学部, 講師 (40118013)
青木 一彦 姫路工業大学, 工学部, 講師 (60047628)
三田村 徹 姫路工業大学, 工学部, 講師 (90047605)
寺沢 倫孝 姫路工業大学, 工学部, 教授 (20197792)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
1998年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1997年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
|
|---|
| キーワード | 静電加速器 / 低エネルギービーム輸送 / 軽イオン / 金属イオン / 荷電変換 / 照射損傷 / イオン注入 / 重イオン / 検出器 |
|---|
| 研究概要 |
本研究は姫路工業大学が所有している2台の静電加速器(最高電圧200kV)からの1.低エネルギー軽イオン及び重イオンビームを標的位置まで輸送するシステムの改善、および2.金属イオンの加速とそのエネルギーの増強を行うことを目的とした。まず、ビーム輸送系の改善はビームの特性を向上させ、ビームの大きさ、広がり等を自由に制御でき、しかも安定なビーム輸送システム環境を整備するため、改良を加えた。ビーム形状、ビームのひろがり等の結果は充分満足できる。この改良により最適条件を見い出し、多くの利用者によって照射実験、イオン注入が行われ、照射損傷実験研究に成果が出ている。
さらに、二台の加速装置から二種類のイオンを別々に加速して、一つの試料に同時照射する機能をもたすため、一台の加速装置を金属イオンを加速できるように改良した。これにより軽イオンおよび重イオンを同時照射が可能なようなシステムにすることが可能となった。
これまでに行ってきた主な点は、(1)四重極レンズの高圧安定化電源、ビームの分析や安定性を向上させるための分析及び偏向電磁石の電流電源等を導入、低エネルギー軽イオンビームのビーム形状、ビームのひろがり等改善を図った。
また一方で、一台の加速装置をタンデム加速方式にして、金属源からNi-負イオンを引き出し、途中でこのイオンをNi+正イオンに荷電変換して、標的までビームを輸送する。金属原子をイオン化・加速できる手段を手にすることが可能となった。問題の一つとして、アルゴンガスによる変換効率をどの程度上げることができるかである。今後この変換効率向上に努めれば、この加速装置の応用範囲をさらに大きく拡ろがると期待できる。
|
