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微小角入射X線散乱による結晶成長過程のその場観察

研究課題

研究課題/領域番号 09650016
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関神戸大学

研究代表者

藤居 義和  神戸大学, 工学部, 助教授 (80238534)

研究分担者 吉田 虔太郎 (吉田 虚太郎)  神戸大学, 工学部, 教授 (60031085)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
1998年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1997年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
キーワード微小角入射X線散乱 / 結晶成長 / X線CCDカメラ / 表面荒さ / その場観察 / 超高真空 / 高温での純鉄表面 / PbSe(111)表面 / 表面 / X線 / 結晶 / 表面ステップ
研究概要

回転対陰極X線源を使った「超高真空表面X線回折装置」に、新しく「X線二次元検出システム」を取付け、散乱X線強度の二次元角度分布をその場で観測することにより、微小角X線散乱による結晶成長表面の研究を行った。
PbSe(111)表面について、X線二次元検出システムを使った散乱X線強度の散乱角分布測定実験と、従来のX線検出器を使った実験を併せて行い、X線二次元検出システムによる散乱X線強度分布測定結果の較正を行った。従来のX線検出器を使った鏡面反射角における散乱X線強度の測定において、PbSe(111)表面のLayer-by-layer成長に伴うX線強度振動を観測した。全反射臨界角より小さい幾つかの入射角でこの実験を行ったが、振動振幅は散乱強度の1%以内でノイズに埋もれており平均化処理によって現れる程度であった。次に、X線二次元検出システムを使った散乱X線強度分布のその場観察を行い、この散乱X線強度分布の中で鏡面反射角におけるX線強度と鏡面反射からずれた角度でのX線強度の比が、PbSe(111)表面の成長に伴ってどのような変化を示すかを求めた。散乱実験は幾つかの入射角で試みたが、測定に使用したX線CCDカメラの感度の範囲では、PbSe(111)表面の成長に伴う強度分布変化を示す振動は見られなかった。しかし、微小角入射X線散乱強度の二次元角度分布の測定を幾つか行った結果、非弾性散乱したX線の強度がある程度含まれていることが分かり、これら散乱X線のエネルギー分解測定が、新たな解析につながることが分かった。
また他にも、NiPめっきAl、Tiコーティング鋼について微小角入射X線の散乱強度測定を行い表面・界面構造解析を行った。また、真空中における、多結晶銀表面、多結晶鉄表面の常温と500℃における状態について、微小角入射X線の散乱強度測定を行った。その結果、高温において鉄表面のラフネスが変化することを、X線散乱強度分布の変化から見いだした。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (32件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (32件)

  • [文献書誌] Y.Fujii: "In situ Observation of Layer-by-layer Growth by Surface X-ray Scattering using a Rotating-anode Source" Surface Science. 405. L.549-L.553 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii: "Small Angle Glancing X-ray Scattering for Surface Characterization of Ion-Implanted Industrial Materials" Proc.of 12th Int'l. Conf.on Ion Implantation Technology,IIT/98. in press. (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 藤居義和: "X線微小角散乱による多結晶金属表面粗さの新しい評価法" 神戸大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報. 3in press. (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nakajima: "Oscillation of the intensity of scattered energetic ions from growing surface" Advances in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms. 309-321 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yoshida: "Formation of New Bi-Mn Alloy Phases in Vacuum Deposited Films and Their Structure Determinations by Electron Microscopy" “The ELECTRON"Proc.of the International Centennial Symposium on the Eelectron. 645-651 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii: "A compact UHV X-ray diffractometer for studying surfaces and interfaces" Journal of Synchrotron Radiation. 5. 887-889 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Mannami: "Energy loss of scattered ions at glancing-angle incidence on the crystal surface" Radiat.Phys.Chem.49. 623-629 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii: "A compact UHV X-ray diffractometer for surface glacing scatterings using a rotating-anode source" Review of Scientific Instruments. 68. 1975-1979 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii: "Structural Investigation of Long-Period Tetragonal Bi-Mn Alloy Phase" Proceedings of the 6th International Conference on Quasicrystals. 227-230 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 藤居義和: "超高真空表面X線回折装置と結晶表面の新しい評価法" 神戸大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報. 2. 68-73 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii, T.Nakamura, M.Kai and Kentaroh Yoshida: "In situ Observation of Layer-by-layer Growth by Surface X-ray Scattering using a Rotating-anode Source" Surface Science Letter. Vol.405. 549-553 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii, T.Kashihara, K.Yokoyama, S.Nakagawa, J.Nagaya, T.Nakayama and K.Yoshida: "Small Angle Glancing X-ray Scattering for Surface Characterization of Ion-Implanted Industrial Materials" Proc.of 12th Int'l.Conf.on Ion Implantation Technology. IIT/98, (in press). (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii and K.Yoshida: "New estimation methods of polycrystalline metal surface roughness by small angle x-ray scattering" Annual Report of Venture Business Laboratory, Kobe University. Vol.3, (in press). (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yoshida and Y.Fujii: "Formation of New Bi-Mn Alloy Phases in Vacuum Deposited Films and Their Structure Determinations by Electron Microscopy" "The ELECTRON" Proceedings of the International Centennial Symposium on the Electron. 645-651 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii, Takeshi Nakamura, Mutsumi Kai and Kentaroh Yoshida: "A compact UHV X-ray diffractometer for studying surfaces and interfaces" Journal of Synchrotron Radiation. Vol.5. 887-889 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii, K.Amino and K.Yoshida: "Structural Investigation of Long-Period Tetragonal Bi-Mn Alloy Phase" Proceedings of the 6th International Conference on Quasicrystals. 227-230 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Mannami, K.Narumi, F.Kato, Y.Fujii and K.Kimura: "Energy loss of scattered ions at glancing-angle incidence on the crystal surface" Radiat.Phys.Chem.Vol.49. 623-629 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii, Kenji Yoshida, Takeshi Nakamura and Kentaroh Yoshida: "A compact UHV X-ray diffractometer for surface glancing scatterings using a rotating-anode source" Review of Scientific Instruments. Vol.68. 1975-1979 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Fujii, K.Amino and K.Yoshida: "A compact UHV X-ray diffractometer for surface glancing scattering and new estimation methods of crystal surfaces" Annual Report of Venture Business Laboratory Kobe University. Vol.2. 68-73 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nakajima, Y.Fujii, K.Narumi, K.Kimura and M.Mannami: "Oscillation of the intensity of scattered energetic ions from growing surface" Advances in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms. 309-321 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yoshida: "Formation of New Bi-Mn Alloy Phases in Vacuum Deposited Films and Their Structure Determinations by Electron Microscopy" "The ELECTRON"Proc.of the International Centennial Symposium on the Eelectron. 645-651 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii: "A compact UHV X-ray diffractometer for studying surfaces and interfaces" Journal of Synchrotron Radiation. 5. 887-889 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Fujii: "In situ Observation of Layer-by-layer Growth by Surface X-ray Scattering using a Rotating-anobe Source" Surface Science. 405. L.549-L.553 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Fujii: "Small Angle Glancing X-ray Scattering for SurfaceCharacterization of Ion-Implanted Industrial Materials" Proc.of 12th Int'1.Conf.on Ion Implantation Technology,IIT/98. (in press). (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 藤居義和: "X線微小角散乱による多結晶金属表面粗さの新しい評価法" 神戸大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報. 3(in press). (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Fujii: "In situ Observation of Layer-by-layer Growth by Surface X-ray Scattering using a Rotating-anode Source" Surface Sciense Letter. (in press) (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii: "A compact UHV X-ray diffractometer for studying surfaces and interfaces" Journal of Synchrotron Radiation. 5. (in press) (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Mannami: "Energy loss of scattered ions at glancing-angle incidence on the crystal surface" Radiat.phys.Chem.49. 623-629 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Yoshikazu Fujii: "A compact UHV X-ray diffractometer for surface glancing scatterings using a rotating-anode source" Review of Scientific Instruments. 68. 1975-1979 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Fujii: "Structural Investigation of Long-Period Tetragonal Bi-Mn Alloy Phase" Proceedings of the 6th International Conferense on Quasicrystals. 26-30 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 藤居義和: "超高真空表面X線回析装置と結晶表面の新しい評価法" 神戸大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリ-年報. 2. 68-73 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Makajima: "Advances in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms" Oscillation of the intensity of scattered energetic ions from growing surfase, 309-321 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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