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電子顕微鏡像の最大エントロピー修復による構造解析法の研究

研究課題

研究課題/領域番号 09650063
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関名古屋大学

研究代表者

花井 孝明  名古屋大学, 工学研究科, 講師 (00156366)

研究分担者 室岡 義栄  名古屋大学, 工学研究科, 助手 (40273263)
田中 成泰  名古屋大学, 工学研究科, 助手 (70217032)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
1998年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1997年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワード最大エントロピー法 / 画像修復 / 電子顕微鏡像 / ランダム空間分布制約 / 量子ノイズ / 構造解析法 / コントラスト伝達関数 / 複素波動関数 / ランダム空間分布制約条件
研究概要

1. 電子顕微鏡(TEM)像に含まれる量子ノイズが空間的にランダムに分布するという統計的性質を取り入れて改良した最大エントロピー(ME)画像修復のプログラムを,大型計算機から備品として購入したパーソナルコンピュータに移植した.これにより,処理の進行に伴う像の変化の様子や,従来法であるχ^2条件との比較を視覚的に行うことが可能となり,また,defocus量などの処理に用いるパラメータの決定も容易となって,処理の効率が格段に向上した.
2. ME画像修復法を弱位相物体の大きくフォーカスをずらした電子顕微鏡(TEM)像に適用してその効果を調べた.もとのTEM像の高い空間周波数領域で起こっていたコントラストの反転が,ME修復により正しいコントラストに復元され,その結果として解像度が向上した.さらに,コントラスト伝達関数の零点近傍の空間周波数成分も,ME修復の非線型性により復元されることが分った.
3. 弱位相近似の成立しない結晶試料に対してME修復法を用いるためには,TEMの結像過程をコンピュータ上で再現して,試料直下の電子の波動関数から像強度を計算する必要がある.この計算をME修復プログラムに組み入れるために,C++言語を用いて像シミュレーションのプログラムを開発し,プログラムが正常に動作することを確認した.
4. 従来,ME修復法は強度すなわち正の実数のみを取り扱うという前提のもとに構築されてきた.しかし,結晶の構造解析を行うためには,複素数である電子の波動関数を求める必要がある.そこで,複素振幅を扱えるようにME修復法を拡張し,高速フーリエ変換を用いた計算機アルゴリズムの開発に成功した.

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] 花井孝明: "Maximum Entropy Restoration of Electron Microscope Images with a Random-Spatial-Distribution Constraint (印刷中)" Scanning Electron Microscopy. Suppl.11. (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 花井孝明: "Reduction of Spherical Aberration of a Transmisson Electron Microscope by Means of a Foil Lens" Electron Microscopy 1998. 1. 83-84 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 田中成泰: "Characterization of Etch Pits and Correlated Defects in ZnSe/(001)GaAs" Microscopy Research and Technique. 43. 518-519 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 花井孝明: "Characteristics and Effectiveness of a Foil Lens for Correction of Spherical Aberration in Scanning Transmission Electron Microscopy" Journal of Electron Microscopy. 47・3. 185-192 (1998)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 田中成泰: "Photochemical Etching Technique Preparing High-quality TEM Samples of n-type Compound Semiconductors" Journal of Electron Microscopy. 46・2. 129-133 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takaaki Hanai: "Maximum Entropy Restoration of Electron Microscope Images with a Random-Spatial-Distribution Constraint(in print)" Scanning Microscopy. Supplement 11. (1999)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takaaki Hanai: "Reduction of Spherical Aberration of a Transmission Electron Microscope by Means of a Foil Lens" Electron Microscopy 1998. 1. 83-84 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeyasu Tanaka: "Characterization of Etch Pits and Correlated Defects in ZnSe/(001) GaAs" Microscopy Research and Technique. 43. 518-519 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takaaki Hanai: "Characteristics and Effectiveness of a Foil Lens for Correction of Spherical Aberration in Scanning Transmission Electron Microscopy" Journal of Electron microscopy. 47-3. 185-192 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shigeyasu Tanaka: "Photochemical Etching Technique Preparing High-quality TEM Samples of n-type Compound Semiconductors" Journal of Electron Microscopy. 46-2. 129-133 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 花井孝明: "Maximum Entropy Restoration of Electron Microscope Images with a Random-Spatial-Distribution Constraint(印刷中)" Scanning Electron Microscopy. Suppl.11. (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 花井孝明: "Reduction of Spherical Aberration of a Transmission Electron Microscope by Means of a Foil Lens" Electron Microscopy 1998. 1. 83-84 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 田中成泰: "Characterization of Etch Pits and Correlated Defects in ZnSe/ (001) GaAs" Microscopy Research and Technique. 43. 518-519 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 花井孝明: "Characteristics and Effectiveness of a Foil Lens for Correction of Spherical Aberration in Scanning Transmission Electron Microscopy" Journal of Electron Microscopy. 47・3. 185-192 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 田中成泰: "Photochemical Etching Technique Preparing High-quality TEM Samples of n-type Compound Semiconductors" Journal of Electron Microscopy. 46・2. 129-133 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 花井孝明: "Characteristics and Effectiveness of a FOil Lens for Correction of Spherical Aberration in Scanning Transmission Electron Microscopy(発表予定)" Journal of Electron Microscopy. 47・3. (1998)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 花井孝明: "Maximum Entropy Restoration of Electron Microscope Images with a Random-Spatial-Distribution Constraint(発表予定)" Scanning Electron Microscopy. Suppl.11. (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 田中成泰: "Photochemical Etching Technique Preparing High-quality TEM Samples of n-type Compound Semiconductors" Journal of Electron Microscopy. 46・2. 129-133 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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