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イオンビームミキシング法を用いたC-N系超硬質膜コーティングによる生体材料の開発

研究課題

研究課題/領域番号 09650136
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

松室 昭仁  名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (80173889)

研究分担者 中本 剛  名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (30198262)
森 敏彦  名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (90023340)
研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
1998年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
1997年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
キーワードC-N膜 / ダイナミックイオンミキシング / 超硬質膜 / 生体材料 / トライボロジー特性 / トライポロジー特性 / C-N系薄膜
研究概要

本研究はダイナミックイオンミキシング法により新たな超硬質材料として期待されているC-N系材料を人工関節等の生体適合材料に応用することを目的に膜形成条件および生体での適用を前提とした生理食塩水中での摩擦摩耗特性をはじめとする機械的性質について検討したものである.
本年度得られた結果は以下の通りである.
(1) 生体適合材料のTiN上に形成されたC-N膜は大気中,真空中いずれも摩擦係数0.2と低く,5000サイクルの摺動試験にも耐えうる耐摩耗性を示した.このTiN基板とC-N膜の密着性はオージェ電子分光により界面での化学結合によるものと判断された.また,市販のDLC薄膜との比較においても優れた耐摩耗性を示し,DLCに代る新規表面改質材料の可能性を明確にした.
(2) 生理食塩水中における摩擦試験機を作製し,生体環境下で起こりうるアルミナディスクとTi基板上に形成されたC-N膜の摺動試験を行った.摩擦係数は0.2程度で大気中,真空中と変わらず低摩擦でありその有効性を示すことができた.摩耗は大気中と同程度進行した.しかし,生理食塩水中の溶出元素の分析をイオン発光分析(ICP)により行った結果,Ti元素の溶出量はわずかであり生理食塩水中でも母材保護のための表面改質材としての有効性を示すことができた.

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] M.Kohzaki: "Preparation of carbon nitride thin films by ion beam assisted deposition and their mechanical properties" Thin Solid Films. 308-309. 239-244 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki: "Influence of deposition temperature on bonding state and microstructure of carbon nitride thin films prepared by ion-beam-assisted deposition" Jpn.J.Appl.Phys.36-14A. 2313-2318 (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 神崎昌郎: "イオンビーム支援蒸着法による窒化炭素膜形成におけるArイオン添加の効果" 精密工学会誌. 64-1. 152-156 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 松室昭仁: "ダイナミックイオンミキシング法によりTi-N系薄膜の形成とその機械的性質" 日本機械学会論文集. A64-618. 402-408 (1998)

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  • [文献書誌] A.Matsumuro: "Formation of TiN films with the preferred orientation by ion-beam-assisted deposition and their mechanical properties by nano-indentation method" Proc.CIMTEC'98. in print. (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hayashi: "Tribological properties of carbon nitride thin films prepared on titanium-nitride substrates by ion-beam-assisted deposition" Proc.CIMTEC'98. in print. (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki, A.Matsumuro, T.Hayashi, M.Muramatsu, K.Yamaguchi: "Influence of deposition temperature on bonding state and microstructure of carbon nitride thin films prepared by ion-beam-assisted deposition." Jpn.J.Appl.Phys.36-14A. 2313-2318 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki, A.Matsumuro, T.Hayashi, M.Muramatsu, K.Yamaguchi: "Preparation of carbon nitride thin films by ion beam assisted deposition and their mechnical properties." Thin Solid Films. 308-309. 239-244 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hayashi, A.Matsumuro, M.Muramatsu, K.Yamaguchi, Y.Takahashi: "Formation of Ti-N thin films prepared by dynamic ion mixing technique and their mechanical properties." Proc.IMMM'97. 591-598 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki, A.Matsumuro, T.Hayashi, M.Muramatsu, K.Yamaguchi: "Nano-indentation hardness and frictional characteristics of carbon nitride films produced by ion-beam-assisted deposition." Proc.Tribology in Manufacturing Processes'97. 310-315 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki, A.Matsumuro, T.Hayashi, M.Muramatsu, K.Yamaguchi: "Preparation of carbon nitride thin films by ion beam assisted deposition and their mechnical properties." Proc.ICMCTF'97. 203-203 (1997)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hayashi, A.Matsumuro, M.Muramatsu, Y.Takahashi, M.Kohzaki, K.Yamaguchi: "Variation in the preferred-orientations and their mechanical properties of TiN thin films prepared by ion-beam-assisted deposition" Proc.SSAM-4. 279-282 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hayashi, H.Yoshida, A.Matsumuro: "Visualization of atom-surface interaction using a molecular dynamics method." Proc.SSAM-4. 283-286 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki, A.Matsumuro, T.Hayashi, K.Yamaguchi: "Preparation of hard carbon nitride films and their microstructure" Proc.SSAM-4. 256-259 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hayashi、A.Matsumuro、M.Muramatsu、K.Yamaguchi: "Tribological properties of carbon-nitride thin films prepared on titanium-nitride substrates by ion-beam-assisted deposition." Proc.CIMTEC'98. (in print). (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Matsumuro、T.Watanabe、T.Hayashi、M.Muramatsu、Y.Takahashi、K.Yamaguchi: "Formation of TiN films with the preferred orientation by ion-beam-assisted deposition and their mechanical properties by nano-indentation method." Proc.CIMTEC'98. (in print). (1998)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kohzaki: "Preparation of carbon nitride thin films by ion-beam assisted deposition and their mechanical proerties" Thin Solid Films. 308-309. 239-244 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kohzaki: "Influence of deposition temperature on bonding state and microstructure of carbon nitride thin films prepared by ion-beam-assiated deposition" Jpn.J.Appl.Phys.36-14A. 2313-2318 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 神崎昌郎: "イオンビーム支援蒸着法による窒化炭素膜形成におけるArイオン添加の効果" 精密工学会誌. 64-1. 152-156 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 松室昭二: "ヂナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質" 日本機械学会論文集. A64-618. 402-408 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] A.Matsumuro: "Formation of TiN films with the preferred orientation by ion-beam-assisted deposition and their mechanical properties by nano-indentation method" Proc.CIMTEC '98. in print. (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hayashi: "Tribological properties of carbon nitride thin films prepared on titanium-nitride substrates by ion-beam-assisted deposition" Proc.CIMTEC '98. in print. (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kohzaki: "Preparation of carbon nitride thin films by ion beam assisted deposition and their mechanical properties" Thin Solid Films. 308-309. 239-244 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 松室昭仁: "ダイナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質" 日本機械学会論文集. 64-618(印刷中). (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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