| 研究課題/領域番号 |
09650168
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 長崎大学 |
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研究代表者 |
浦 晟 長崎大学, 工学部, 教授 (40037825)
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| 研究分担者 |
中嶋 明 (中島 明) 長崎大学, 工学部, 助手 (30108344)
川添 強 長崎大学, 工学部, 助教授 (40253629)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
1998年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1997年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
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| キーワード | 表面改質 / 耐衝撃摩耗 / 引掻き試験 / PVD法 / CVD法 / スパッタリング / イオンプレーティング / イオン注入 / 引っ掻き試験 / トライボロジー / 表面改質材 / 衝撃摩耗 / 薄膜剥離 / PVD膜の摩耗 / CVD膜の摩耗 |
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| 研究概要 |
トラ〓ボロジー環境下で使用される表面改質材の摩耗特性のうち、衝撃強度とはく離強度を中心に系統的な実験を行い興味あるいくつかの知見をえた。
供試材の選定については、多くの表面被覆法、改質法について、検討したく
PVD法(スパッタリング、イオンプレーテイング、イオン注入、)CVD法(熱GVD、プラズマCVD)拡散処理法、溶射法等による成膜材を用いた。衝撃に関しては膜の厚さと膜を施している母材との関係により著しい差異を生ずることが明らかになり成膜法の選択が重要であることが明らかになったが、さらに膜の接着度合い如何も無視できず、各膜質について軽荷重下での引っ掻き試験も行った。この試験においては引っ掻き圧子ダイヤモンドの接触径が小さいか、圧子への荷重が大きい場合は、圧子の膜貫通により膜なしの母材での摩擦になり摩擦が大きくなる。すなわち、膜が容易に破損する場合は摩擦上昇による早い損傷に至ることが明らかになった。また、特にDLCやMoS2は荷重を受けた後、変形量が大きくるる圧痕周辺部においてはコーテイング膜に亀裂が生じやすい。はく離による膜の脱落がある。TiCNやTiN荷重下の母材の変形にも被覆材が容易に追随し、膜の接着性の強さ、PVDコーテイング法の優れている点が明らかになった。しかしこの試験の結果、母材との境界におけるいわゆるはく離は一般には、顕著ではない。
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