| 研究課題/領域番号 |
09650376
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
電子デバイス・機器工学
|
|---|
| 研究機関 | 仙台電波工業高等専門学校 (1998)
東北大学 (1997) |
|---|
研究代表者 |
鈴木 哲 仙台電波工業高等専門学校, 助教授 (90171230)
|
|---|
| 研究分担者 |
安井 孝成 理化学研究所, フォトダイナミクス研究センター, フロンティア研究員 (20241250)
ぺい 鐘石 東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20165525)
山田 巧 NTT, 光エレクトロニクス研究所, 主任研究員
石田 典久 中央大学, 理工学部, 講師
水野 皓司 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (30005326)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
1998年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1997年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
|
|---|
| キーワード | ショットキ・ダイオード / QUIP-SBD / ECRプラズマエッチング / THz / 地球環境計測 / プラズマ計測 / ミキサー / THz帯 / 低欠陥 / l / f雑音 / 導波管 / 検出器 / ミキサ- / GaAs |
|---|
| 研究概要 |
昨年度に引き続き、地球環境計測用2.5THz帯準平面形ショットキ・ダイオード(QUIP-SBD)、及び4THz帯プラズマ計測用SBD検出器の開発を行い、以下の成果を得た。
(1) SBD微細加工プロセスを行う際、GaAs表面に欠陥を生じない条件で、かつ再現性の良いECRプラズマエッチングを行う必要がある。そのため、プラズマ電子温度、電子密度、基板ポテンシャル、基板温度のその場測定を行った。その結果、再現性の良いエッチングを行うためには、5時間のアルゴン/酸素プラズマによるクリーニングが必要であることを明らかにした。
(2) 前述の改良プロセスを用いて、2.5THz帯QUIP-SBDの開発を行った。英国ラザフオード研究所で開発された検出器/ミキサーブロックに本QUIP-SBDを組み込んで性能を測定し、24,000K(DSB)のミキサー雑音温度を得た。この時の局部発振電力は1mW以下で良く、この点においても非常に優れていることを明らかにした。このミキサーは、米国NASAに送られ、衛星搭載のための振動テスト等にもパスし、地球環境計測用衛星に組み込まれる予定である。
(3) 核融合科学研究所で開発が進められている4THz帯プラズマ計測用干渉計に用いるSBD検出器の開発を行った。4THz帯では、従来のコーナーキューブ形の場合、アンテナ素子の位置あわせが極めて難しい。そこで、放物面の焦点距離が任意に設定できることを利用して、コーナーレフレクターの代わりに採用した。この検出器の設計が終了し、現在製作を行っている。製作が完了次第、核融合科学研究所で実験を行う予定である。
|
