| 研究課題/領域番号 |
09650729
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
本多 卓也 北陸先端科学技術大学院大学, 知識科学研究科, 教授 (10016595)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
1998年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1997年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
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| キーワード | 矩形波 / 反応性ガス / スパッター / DLC / 薄膜 / 反応 |
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| 研究概要 |
化学反応の持つ非線形性を利用して、高効率、高制御性の反応性スパッター法の開発を目的とする。実験方法は反応性ガスを矩形波状にスパッターガスであるアルゴンに加えた反応性スパッターを用い、反応性スパッターに特有な反応性ガスによるターゲット板への被毒効果を低減させつつ、生成薄膜の組成の精密制御を可能にすることを目的とした。
平成9年度は、反応系は窒化チタンをステンレスの基板上に堆積させる方法で、反応性スパッターに特有な反応性ガスによるターゲット板への被毒効果を低減させ、最大1〜2割程度の向上が見られた。またこの点の効果には、反応の圧次数が大きく寄与するため、取り扱う反応系の速度論的検討が急務であることと、測定精度が上げられればこの方法で速度論的研究も行いうる点が指摘された。
平成10年度は、反応系としては鉄基板上にDiamondlike Carbon(DLC)を堆積させ、3段階の組成傾斜を持った傾斜機能材料型の薄膜を堆積させた。DLC膜はすでに超硬バイト上にコーティングされ、市販製品もあるが、よりいっそうの接着強度も望まれている。そのため組成が変化した中間層を鉄基板とDLC膜との間に堆積させた。このような中間層を間に挟むことにより、より大きな熱応力にも耐えられるコーティング膜が得られ、より高速あるいは切削表面精度の向上が期待される。平成10年度では、3段階の組成をかえた中間層の設定が行いうる条件を見つけ、実際に製作し、組成変化の様子も確認した。
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