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中性子照射したワイドギャップ型SiC半導体における光学及び電気特性の評価

研究課題

研究課題/領域番号 09680480
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 エネルギー学一般・原子力学
研究機関京都大学

研究代表者

岡田 守民  京都大学, 原子炉実験所, 助手 (00027450)

研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
1998年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1997年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワード中性子照射効果 / 欠陥回復過程 / 吸収スペクトル / ワイドギャップ半導体 / 炭化珪素 / 照射欠陥 / 電気特性 / 照射温度依存性
研究概要

原子炉中性子で照射した4H及び6H型炭化珪素単結晶における光学及び電気的特性は、光学的分光分析法及び電気的測定法で分析された。試料は、京大の研究炉に設置された低温照射装置(KUR-LTL)において種々の温度で又、東大の高速中性子炉(YAYOI)において室温で照射された。その照射試料中に、780nmに中心を持つ幅の広い光吸収帯が観測される。その吸収帯の起源は、常磁性の珪素空孔より成る欠陥と類似の熱焼鈍特性を持つことからSi空孔型の欠陥中心(V_<si>-type center)によるものとされた。
KUR-LTLで種々の温度で照射されたSiC結晶中に生成されたV_<si>-type centerの生成効率は、約200Kで最大になる。このV_<si>-type center生成の照射温度依存特性は、20Kから400Kの間で一様に減少する傾向にある酸化物や金属等と明らかに異なっている。
一方、中性子照射されたSiC試料の電気抵抗値は、中性子線量の増加と共に高くなることが分かった。その抵抗増加は、キャリア密度の減少によって説明された。高温でのアニール挙動から、電気抵抗とキャリア易動度が350Kと500Kの二つのアニール段階持つこと、又、両者は、800Kのアニールで40%回復すること、しかし、その温度でキャリア密度は変化しない等のことが分かった。
また、SiCの中性子転換注入(NTD)効果が観測され、^<29>Si(n,γ)^<30>Si反応により生成された^<30>Pの一部が電子ドナーとして有効に働くことが確認された。

報告書

(3件)
  • 1998 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (54件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (54件)

  • [文献書誌] 岡田, 守民: "SiC単結晶における照射導入欠陥生成効率の照射温度依存性" 京大原子炉実験所第33回学術講演会報文集. 33. 142-147 (1999)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 岡田, 守民: "各種材料の低温度領域における温度制御照射効果の研究" 京大原子炉実験所第32回学術講演会報文集. 32. 211-216 (1998)

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  • [文献書誌] 岡田, 守民: "炭化珪素の低温度領域における温度制御照射効果の研究" 京大原子炉実験所第32回学術講演会報文集. 32. 245-250 (1998)

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  • [文献書誌] 岡田, 守民: "京大炉極低温照射施設と非金属性物質の照射効果" 大阪ニュークリアサイエンス協会、第7回放射線利用総合シンポジウム報告集. 7. 11-19 (1998)

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  • [文献書誌] M., Okada: "Optical modulation of bulk one-phonon state in diamond" Appl. Phys. Lett.73. 1358-1360 (1998)

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  • [文献書誌] M., Okada: "Optical properties of CsI single crystals irradiated with neutrons at low temperature" phys. Stat. Sol. (a). 67. 253-259 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M., Okada: "Neutron-irradiation effect on the mechanical properties of almina fiber" J.Nucl. Mat.254. 243-248 (1998)

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  • [文献書誌] M., Okada: "Irradiation temperature dependence on defect formations in insulating crystals during neutron irradiations" Mem. Fac. Educ. Kagawa Univ. (II). 48. 25-36 (1998)

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  • [文献書誌] M., Okada: "The elastic constants of silicon carbide : A Brilloun-scattering study of 4H and 6H SiC single crystals" J.Appl. Phys.82. 3153-3154 (1997)

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  • [文献書誌] M., Okada: "Photochromic behaviour of the N3 centre in neutron-irradiated and annealed type-Ib diamond" Phil. Mag. Lett.76. 93-97 (1997)

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  • [文献書誌] 岡田, 守民: "Hexagonal SiC単結晶の照射欠陥." 京大原子炉実験所第30回学術講演会報文集. 30. 121-128 (1996)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M., Okada: "Radiation-induced defects in neutron-irradiated 4H-and 6H-SiC single crystals" Inst. Phys.142. 469-472 (1996)

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  • [文献書誌] M.Okada: "Irradiation temperature dependence of production efficiency of the irradiation-induced defects in SiC single crystals irradiated with neutrons" Proc.Sci.Semin.Res.Reactor Inst.Kyoto Univ.33. 142-147 (1999)

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  • [文献書誌] M.Okada: "Study on effects of temperature-controlled irradiation in the low temperature region in some materials" Proc.Sci.Semin.Res.Reactor Inst.Kyoto Univ.32. 211-216 (1998)

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  • [文献書誌] M.Okada: "Study on effects of the temperature-controlled irradiation in the low temperature region in SiC single crystals" Proc.Sci.Semin.Res.Reactor Inst.Kyoto Univ.32. 245-250 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Irradiation effects of nonmetallic materials and an outline of the low temperature irradiation facility of the Kyoto University Reactor" Proc.7th Symp.Radiation Utiliz. 7. 11-19 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Optical modulation of bulk one-phonon state in diamond" Appl.Phys.Lett.73. 1358-1360 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Optical properties of CsI single crystals irradiated with neutrons at low temperature" Phys.Stat.Sol.(a). 167. 253-259 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Neutron-irradiation effect on the mechanical properties of almina fiber" J.Nucl.Mat.254. 243-248 (1998)

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      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Irradiation temperature dependence on defect formations in insulating crystals during neutron irradiations" Mem.Fac.Educ.Kagawa Univ.(II). 48. 25-36 (1998)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "The elastic constants of silcon carbide : A Brilloun-scattering study of 4H and 6H SiC single crystals" J.Appl.Phys.82. 3152-3154 (1997)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Photochromic behavior of the N3 center in neutron-irradiated and annealed type-Ib diamond" Phil.Mag.Lett.76. 93-97 (1997)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Irradiation-induced defects in hexagonal SiC single crystals" Proc.Sci.Semin.Res.Reactor Inst.Kyoto Univ.30. 121-128 (1996)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Okada: "Radiation-induced defects in neutron-irradiate 4H-and 6H-SiC single crystals" Inst.Phys.142. 469-472 (1996)

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    • 関連する報告書
      1998 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 岡田守民: "SiC単結晶における照射導入欠陥生成効率の照射温度依存性" 京大原子炉実験所第33回学術講演会報文集. 33. 142-147 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 金澤哲: "炭化ケイ素の中性子照射効果と核転換注入" 京大原子炉実験所「精密制御照射装置の開発・設置と応用」ワークショップ. (3月15日発表). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 金澤哲: "中性子照射したSiCのESRと光吸収(2)" 日本原子力学会、春の年会. (3月24日発表). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 金澤哲: "中性子照射したSiCのESRと光吸収 ; 炉中性子と14MeV中性子の比較" 日本原子力学会、秋の大会予稿集第1分冊. 182-182 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 金澤哲: "中性子照射した4H-SiCの電気的特性の測定" 日本原子力学会、秋の大会予稿集第1分冊. 183-183 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "中性子低温照射装置を用いたセラミックスの研究-SiC単結晶中における欠陥生成効率の照射温度効果" 「材料照射効果の多方面への応用研究会」(京大原子炉実験所). (3月19日発表). (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "各種材料の低温度領域における温度制御照射効果の研究(1)" 京大原子炉実験所第32回学術講演会報文集. 32. 211-216 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 金澤哲: "炭化珪素の低温度領域における温度制御照射効果の研究" 京大原子炉実験所第32回学術講演会報文集. 32. 245-250 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 跡部絋三: "非金属伝導性物質の照射効果に関する研究" 京大原子炉実験所第32回学術講演会報文集. 32. 223-228 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "京大炉極低温照射施設概要と非金属性物質の照射効果" 大阪ニュークリアサイエンス協会、第7回放射線利用総合シンポジウム報告集. 7. 11-19 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Mita: "Optical modulation of bulk one-phonon atate in diamond" AppL Phys.Lett.73. 1358-1360 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Okada: "Optical Properties of CsI single crystals irradiated with neutrons at low temperature" Phys.Stat.Sol.(a). 167. 253-259 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Sakuma: "Neutron-irradiation effect on the mechanical properties of almina fiber" J.Nucl.Mat.254. 243-248 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Nakagawa: "Irradiation Temperature dependence on defect formations in insulating crystals during neutron irradiations." Mem.Fac.Educ.Kagawa Univ.II-48. 25-36 (1998)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "中性子照射したSiC単結晶における照射欠陥生成の照射温度効果" 日本原子力学会、秋の大会予稿集第1分冊. 154-154 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 石井淳也: "中性子照射した4H-SiC単結晶のアニール特性" 日本原子力学会、秋の大会予稿集第3分冊. 834-834 (1997)

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  • [文献書誌] 跡部絋三: "中性子重照射したAIN中の生成元素とその挙動" 京大原子炉実験所第31回学術講演会報文集. 31. 43-48 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "SiC単結晶の中性子照射効果" 京大原子炉実験所「精密制御照射装置の開発・設置と応用」ワークショップ報告書. 2-19 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] K.Kamitani: "The elastic constants of silicon carbide : A Brilloun-scattering study of 4H and 6H single crystals" J.Appl.Phys.82. 3152-3154 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Mita: "Photochromic behaviour of the N3 centrein neutron-irradiated and annealed type-Ib diamond" Phil.Mag.Lett.76. 93-97 (1997)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "中性子照射した六方晶SiC単結晶中の着色中心" 日本原子力学会、春の年会予稿集. 471-471 (1996)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "Hexagonal SiC単結晶の照射欠陥" 京都大学原子炉実験所第30回学術講演会報文集. 30. 121-128 (1996)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] M.Okada: "Radiation-induced defects in neutron-irradiated 4H-and 6H-SiC single crystals" Inst.Phys.142. 469-472 (1996)

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      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "各種材料の低温度領域における温度制御照射効果の研究(1)" 京大原子炉実験所学術講演会報文集. 32. 211-216 (1998)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 金沢 哲: "炭化珪素の低温度領域における温度制御照射効果の研究" 京大原子炉実験所学術講演会報文集. 32. 245-250 (1998)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "京大炉極低温照射施設概要と非金属性物質の照射効果" 大阪ニュークリアサイエンス協会、放射線利用総合シンポジウム報告集. 7. 11-19 (1998)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 岡田守民: "中性子照射したSiC単結晶における照射欠陥生成の照射温度効果" 日本原子力学会秋の大会予稿集. 154-154 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Kamitani: "The elastic constants of silicon carbide:A Brilloun-scattering study of 4H and 6H single crystals" Journal of Applied Physics. 82. 3152-3154 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Mita: "Photochromic behaviour of the N3 centrein neutron-irradiated and annealed typeIb diamond" Philosophical Magazine Letters. 76. 93-97 (1997)

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      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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