| 研究課題/領域番号 |
09750030
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| 研究種目 |
奨励研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
表面界面物性
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
長尾 忠昭 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助手 (40267456)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
1998年度: 200千円 (直接経費: 200千円)
1997年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
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| キーワード | 表面 / 界面 / エピタクシャル成長 / 磁性 / ナノ構造 / 走査トンネル電位差計(STP) / 走査トンネル顕微鏡(STM) / 超薄膜 / ELS-LEED / エピタクシー |
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| 研究概要 |
本年度は、薄膜のナノ構造分析のためのELS-LEED(エネルギー損失分析型低速電子回折)装置を完成しその性能評価を行った。その結果設計値に近い0.07°の角度分解能と18meVのエネルギー分解能を持つことを確認した。この装置を用いて(1)LEEDモードではシリコン表面のステップ面(微斜面)が銀原子の吸着により形態変化を起こす様子を監察したり、(2)シリコン表面上に酸素原子が吸着する際の振動エネルギーの測定をエネルギー分析モードにおいて行った。
続いて、1500Kまで加熱可能かつ4端子法による抵抗測定が可能な超高真空対応マニピュレーター・試料ホルダを特注製作し所定の性能で動作することを確認した。また超高真空槽内で移動可能な電磁石を製作し上述のマニュピレーター・試料ホルダと組み合わせることにより磁性薄膜(シリコンウエハ上に成長させた1nm程度のコバルト薄膜)の磁気抵抗を測定し超薄膜の磁性の測定が超高真空中でもできることを確認した。表面磁気光学測定装置SMOKEは制御電源の製作がほぼ完了し調整の結果ほぼ使用可能であることを確認した。
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