| 研究課題/領域番号 |
09750063
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| 研究種目 |
奨励研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 豊田工業大学 |
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研究代表者 |
大知 渉之 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, PD研究員 (70288554)
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| 研究期間 (年度) |
1997 – 1998
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| 研究課題ステータス |
完了 (1998年度)
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| 配分額 *注記 |
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1998年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1997年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
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| キーワード | X線レーザー / マイクロXPS / シュヴァルツシルトミラー / マイクロビーム / Schwarzschildミラー / エッジ掃引法 |
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| 研究概要 |
本年度は、マイクロビームのビームサイズを幾何光学的に得られる理想的な大きさにするために、いくつかの対策を講じた。またその後、XPS装置を構築し装置の立ち上げを行った。
(1) マイクロビーム実験
対策として二つ行った。まず、ポンプの振動により生じるチェンバーの振動をおさえるために、除震用ゴムを使用したり、振動部分をしっかり固定した。また、測定時に用いるナイフエッジの刃先をより鋭いものに交換した。以上の対策を行った結果、幾何光学的に得られる大きさ約0.45μmに対して、共振器OFFの時は約0.42μm、共振器ONの時は約0.45μmとほぼ理想値の大きさを得ることができた。
(2) XPS装置の立ち上げ
この装置では、X線レーザの励起源であるYAGレーザーシステムとして、繰り返し運転(10Hz運転)可能なレーザーを用いることにした。それに伴い、ターゲットの形状を板状のものから、テープ状のものに代えた。このターゲットを用いて測定した結果、光電子を検出することできなかった。今回光電子の検出に至らなかった原因としては、励起源であるYAGレーザーシステムの出力不足にあると考えられる。そのために、X線レーザー線(波長15.47nm)の強度が小さかったものと思われる。このレーザーシステムの問題点としては、テープターゲット表面でのYAGレーザーの反射による波形の乱れと、繰り返し運転による出力低下、電磁ノイズによるS/Nの低下がある。初めの二つはYAGレーザーのロッドの状態、三つめは信号処理系が影響している。これらの問題点は現在対処中であり、具体的には繰り返し周波数を下げること、そしてノイズ発生源とノイズを取り込んでいる部分のシールドを行うことである。
これらのYAGレーザーシステムの改善を行うことにより、サブミクロン空間分解能を持った装置が動作できるものと考える。
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