ヘリコンプラズマスパッタ法によるチタン酸ビスマス薄膜の作製と誘電特性評価

• 研究課題/領域番号: 09750737
• 研究種目: 奨励研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 増本 博 東北大, 金属材料研究所, 助手 (50209459)
• 研究期間 (年度): 1997
• 研究課題ステータス: 完了 (1997年度)
• 配分額: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円); 1997年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)