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半導体溶液の垂直振動磁場印加による能動的撹拌

研究課題

研究課題/領域番号 09750814
研究種目

奨励研究(A)

配分区分補助金
研究分野 金属生産工学
研究機関宇宙科学研究所

研究代表者

稲富 裕光  宇宙科学研究所, 宇宙基地利用研究センター, 助教授 (50249934)

研究期間 (年度) 1997 – 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1998年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1997年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワードその場観察 / 振動磁場 / 界面形態変化 / 対流の制御 / 熱溶質対流 / MHD効果
研究概要

本研究は、垂直振動磁場とその場観察の併用によりZM法による溶液成長での成長条件と成長界面形態の関係を明らかにすることを目指した。方法論として振動磁場発生装置、加熱炉、そしてその場観察装置を試作し、長時間にわたるGaP、CdTeのTHM成長過程のその場観察に成功した。
CdTe結晶成長中に蒸気圧の高いTeの気泡が固液界面に現れる様子が観察され、成長に伴うそれらの移動軌跡がボイドを形成していくことが明らかになった。また、振動磁場の印加により気泡の発生が抑制されたことから、ローレンツ力による強制対流により、(1)気泡が除去された、(2)液相内Te濃度が界面のごく近傍で均一化された、ことが考えられる。また、GaP結晶成長の場合、振動磁場の印加によりメルトバックを伴って界面が安定化する様子が観察された。
ローレンツ力が対流に与える影響を調べる為に、成分間の密度差が小さいGa-doped Ge、及び密度差が大きいPb1-xSnxTeの結晶成長を行った結果、結晶中のGa、Sn濃度分布は磁場を考慮したスケーリング解析に基づいた濃度境界層モデルの結果と良く一致した。また、それぞれの場合のレイノルズ数を解析で求めると、50Hzの振動磁場の場合、前者は約5mTで層流から乱流に遷移し、後者は少なくとも12mT程度では層流の状態であったことが推測された。
以上の結果から、振動磁場はマクロな液相内濃度の均一化、温度分布の変化を伴った界面の平坦化をもたらし、特に蒸気圧の高い成分を含む場合は固液界面で発生する気泡の付着を抑制することが明らかになった。また、気泡の発生が無い場合、固液界面前方の濃度分布は濃度境界層モデルで良く近似出来ることが示された。

報告書

(2件)
  • 1998 実績報告書
  • 1997 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] Y.Inatomi: "In situ Observation Setup for Semicondutor Growth Interface from Solution in a Magnetic Field" Crystal Research and Technology. 32. 759-768 (1997)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Inatomi: "Visualization technifromque of semiconductor growth interface solution in microgravity" Proc.Of Joint 1st Pan-Pacific Basin Workshopand 4th Japan-China Workshop on MICROGRAVITY SCIENCES. (印刷中). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Inatomi: "MORPHOLOGICAL CHANGE OF SEMICONDUCTOR GROWTH INTERFACE FROM SOLUTION IN A MAGNETIC EIELD" Journal of Crystal Growth. (印刷中). (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Inatomi: "In situ Observation Setup for Semiconductor Growth Interface from Solution in a Magnetic Field" Crystal Research and Technology. 32. 759-768 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1997-04-01   更新日: 2016-04-21  

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