九州シンクロトロン放射光のエレクトロニクス応用研究に関する調査研究

• 研究課題/領域番号: 09895001
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 企画調査
• 研究分野: 表面界面物性
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 黒木 幸令 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 教授 (40234596)
• 研究分担者: 日高 昌則 九州大学, 理学部, 助手 (50037298) ; 柿本 浩一 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (90291509) ; 佐道 泰造 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 助教授 (20274491) ; 鶴島 稔夫 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 教授 (10236953)
• 研究期間 (年度): 1997
• 研究課題ステータス: 完了 (1997年度)
• 配分額: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円); 1997年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
• キーワード: シンクロトロン放射光 / LSI / リソグラフィ / LIGA / エッチング / マイクロマシン

研究概要

九州シンクロトロン放射光施設は、福岡県を中心として、大学、公立研究所、民間会社を含めたいわゆる第3セクター方式で計画が立案されている。そこでは分析・解析部会、微細加工部会、新素材応用部会、生命部会に分かれて研究の立案がされているが、本研究は、これらの部会を横断する立場で、付加価値の付けやすいエレクトロニクス応用について、シンクロトロン放射光の技術開発・ニーズについて調査した。
まず、現在までの放射光のエレクトロニクス応用について、分析、リソグラフィ、エッチング、成膜、表面改質、LIGAという項目で文献検索を行った。反応素過程などの分析を伴う基礎研究やプロトタイプの試作など可能性を探る研究が中心で、生産的なものとはまだどの分野もなっていない。また、福岡県の調査からも九州地区では一部の大学の研究者を除いて、放射光研究にはなじみの無い状況である。
応用分野では、結晶引き上げの研究や品質管理、LSIプロセスの品質管理と改善のための研究、等倍露光のマスク材料開発、縮小投影露光における、光学部品・機能性材料の開発、LIGAを用いたマイクロマシン、特に光通信技術との結合などで将来性のある応用分野が拓け、また、X線マイクロ光学素子が開発されれば、新しい応用が拓けることが分かった。さらに、これらの技術開発を行う点で解決しなければならない技術課題も調査した。
この調査をもとに、新しく文部省科学研究補助金の申請を3グループから行ない、さらに1グループは他の補助金を申請する運びとなった。また、学内研究プロジェクトとして2件の提案を行った。さらにドイツのIMMとの研究協力が成立し、今後LIGAの学内研究プロジェクトをスタートする。