環境保護を考えた冷却型超精密機器の三台同時水浄化型冷却システムの試作

• 研究課題/領域番号: 09919061
• 研究種目: 奨励研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 工業
• 研究機関: 三重大学工学部
• 研究代表者: 中村 昇二 三重大学, 工学部, 技術系職員
• 研究期間 (年度): 1997
• 研究課題ステータス: 完了 (1997年度)
• 配分額: 240千円 (直接経費: 240千円); 1997年度: 240千円 (直接経費: 240千円)