• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

次世代強誘電体メモリ用強誘電体材料の電気的及び物理的特性

研究課題

研究課題/領域番号 09F09816
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分外国
研究分野 無機材料・物性
研究機関東京工業大学

研究代表者

舟窪 浩  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 准教授

研究分担者 CHENTIR M.-T.  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 外国人特別研究員
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
2011年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2010年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2009年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
キーワード強誘電体メモリ / モデル実験 / 新物質探索 / 基礎特性 / 温度依存 / 温度依存性
研究概要

強誘電体メモリ(FeRAM)は、現在コンピュータのメインメモリとして使用されているDRAM並みの高速動作と、電源を切っても情報が保持される不揮発性を併せ持つ"究極のメモリ"として開発された。FeRAMは日本のメーカーが世界に先駆けて商品化し、JRのスイカ等に幅広く使われている。しかし、FeRAMを高密度化し、コンピュータのメインメモリとするためには、優れた強誘電性をもつ新物質の探索と、その物質の信頼性確保が不可欠である。本研究は、エピタキシャルのモデルサンプルを用いることで、新物質の探索とその信頼性確保を行おうとする野心的な研究である。
3年目の今年度は、環境に配慮した非鉛の材料探索として、BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3のエピタキシャル膜をパルスレーザー堆積法を用いて(100)SrRuO_3//(100)SrTiO_3基板上に作製した。
その結果、以下の結論を得た。
1)Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3は高圧合成相であるが、単相の膜の合成に成功した。
2)BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3系は、すべての組成範囲内について、単相の膜を作製可能であった。
3)Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3が20%以上では、残留分極値は、Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3含有量の増加に伴って単純に増加した。
4)強誘電体ヒステリシスの角型もBi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3が20%以上では、残留分極値は、Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3含有量の増加に伴って単純に増加した。
5)FeRAmの信頼性を損なう可能性のある圧電性は、従来のPb(Zr,Ti)O_3の約半分であった。
5)しかし抗電界の値も同様に増加してしまい、低電圧での駆動には不向きであった。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

PbTiO_3とPb(Zr,Ti)O_3では、固溶体を作製した場合に物性挙動に大きな差があることが、明らかになり、PbTiO_3以外の新規材料系の探索が必要になった。しかし当初予定になかった非鉛圧電体の研究に取り組み、新規なBaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3系を見出した。

今後の研究の推進方策

今後本研究の成果を踏まえて、現行の鉛系材料を凌駕するFeRAM用新規非鉛圧電体材料の開発を行っていく予定である。

報告書

(3件)
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (5件) 図書 (1件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Intrinsic Characteristics of Bi(Zn_<1/2>Ti_<1/2>)O_3-substituted Pb(Zr_<0.4>Ti_<0.6>)O_3 Thin Films2011

    • 著者名/発表者名
      M.T.Chentir, Yoshitaka Ehara, Y.Sugiyama, Y.Tasaki, H.Ishiwara, H.Funakubo
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering

      巻: 18 号: 9 ページ: 092008-092008

    • DOI

      10.1088/1757-899x/18/9/092008

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Relaxed PbTiO_3 Films Epitaxially Grown on CaF2 Substrates with a Wide Range of Thicknesses by Metal Organic Chemical Vapor Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      Mohamed-Tahar Chentir, Satoru Utsugi, Takashi Fujisawa, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Mutsuo Ishikawa, Masaaki Matsushima, Hiroshi Funakubo, Hitoshi Morioka
    • 学会等名
      12th European Meeting on Ferroelectricity (EMF 2011)
    • 発表場所
      Bordeaux University, Bordeaux, France
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Dielectric Behavior of (111)-Oriented BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3 Epitaxial Thin Films Grown by PLD2011

    • 著者名/発表者名
      Mohamed-Tahar Chentir, Hidenori Tanaka, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Satoshi Wada, Keisuke Yamato, Hiroshi Funakubo
    • 学会等名
      12th European Meeting on Ferroelectricity (EMF 2011)
    • 発表場所
      Bordeaux University, Bordeavix, France
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Dielectric Properties of (111)-oriented Epitaxial BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>, Ti_<1/2>)O_3 Films2011

    • 著者名/発表者名
      Mohamed-Tahar Chentir, Hidenori Tanaka, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Satoshi Wada, Keisuke Yamato, Hiroshi Funakubo
    • 学会等名
      The 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy & Nanoscale Phenomena in Polar Materials
    • 発表場所
      The Westin Bayshore Hotel, Vancouver, Canada
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] PLD法による(111)配向エピタキシャルBaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3薄膜の誘電挙動2011

    • 著者名/発表者名
      Mohamed-Tahar Chentir, Hidenori Tanaka, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Satoshi Wada, Keisuke Yamato, Hiroshi Funakubo
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学白川キャンパス
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Influence of BZT content on crystallographic and ferroelectric properties in PZT-BZT materials2010

    • 著者名/発表者名
      Mohamed-Tahar Chentir, Yoshihiro Sugiyama, Yuzo Tasaki, Hiroshi Ishiwara, Hiroshi Funakubo
    • 学会等名
      3rd International Congress on Ceramics
    • 発表場所
      Osaka International Convention Center, Osaka, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [図書] Ferroelectrics, Characterization and Modeling2011

    • 著者名/発表者名
      Mohamed-Tahar Chentir, Hitoshi Morioka, Keisuke Saito, Yoshitaka Ehara, Shintaro Yokoyama, Takahiro Oikawa, Hiroshi Funakubo
    • 総ページ数
      16
    • 出版者
      hange of Crystal Structure and Electrical Properties with Zr/(Zr+Ti) Ratio for Epitaxial Pb(Zr, Ti)O_3 films Grown on (100) cSrRuO_3//(100) SrTiO_3 Substrates by Metal Organic Chemical Vapor Deposition
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2024-03-26  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi