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電子顕微鏡内その場加熱実験によるカーボンアロイングの研究

研究課題

研究課題/領域番号 10137225
研究種目

特定領域研究(A)

配分区分補助金
研究機関名古屋大学

研究代表者

坂 公恭  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (90023267)

研究期間 (年度) 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1998年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
キーワード透過型電子顕微鏡 / ダイヤモンド / Si3N4界面 / DLC / EELS
研究概要

従来の電顕内その場加熱実験は到達温度が低く、かつ、熱膨張による試料ドリフトのために分解能が低いことが難点であった。最近、全く新しい発想に基づいた試料加熱ホルダーを開発した。このホルダーを用いることにより、2000℃以上の高温で原子レベルの分解能が容易に得られる。更に、電子回折によって微小領域からの構造の同定が、またエネルギー分散型のX線元素分析により微小領域での元素分析が可能である。これは、極く微量の新材料が創生されていた場合、通常の方法ではその検出が不可能な場合でも本研究ではそれを確実に検出できることを意味する。
本研究はこのような実績を背景に高分解能/分析電子顕微鏡内でのその場加熱実験によって、カーボンアロイングを行うことにより新しい炭素材料を創生することを目的とする。本年度の実績は以下のごとくである。
ダイヤモンドとセラミクスの反応を解析するために、ダイヤモンドをSi3N4基板上に成長させ、その界面を透過電子顕微鏡で観察した。界面近傍にいわゆるDLCが形成されていることをEELSにより確認した。

報告書

(1件)
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] K.Kuroda: "Application of focused ion beam analling to cross-sectional TEM specimenpreparation of industried materials" Thin Solid Films. 319. 92-96 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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