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半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

研究課題

研究課題/領域番号 10141232
研究種目

特定領域研究(A)

配分区分補助金
研究機関徳島大学

研究代表者

伊永 隆史  徳島大学, 総合科学部, 教授 (30124788)

研究期間 (年度) 1998
研究課題ステータス 完了 (1998年度)
配分額 *注記
2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
1998年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
キーワードフッ素 / 処理技術 / 廃棄物 / 半導体製造 / 排水処理 / ゼロエミッション / エコテクノロジー / 先端産業
研究概要

(1) 歯石が付着したり、歯や骨フッ素が高含有量で蓄積できる生体反応を模倣し、従来にないバイオミメテイックな視点に基づくエコテクノロジー研究としても興味深い。
(2) セラミック材料の表面にフッ素アパタイトのみがエピタキシャルに成長して析出するため、共沈現象の利用と異なり、汚染廃棄物の生成を最小限に抑制できる。
(3) バッチ法で評価したセラミックスについて、カラム法で評価を行うため、ポンプを用いて向流または下降流で接触可能なカラム接触装置を作製する。
(4) フッ素物イオン分析は、現有設備の島津イオンクロマトグラフィーとキャピラリー電気泳動を用いれば可能であるが、実際の複雑混合計フッ素排水は分析困難なので、JISKO102に基づく蒸留フッ素測定の公定法でチェックする必要がある。カルシウムは購入予定の原子吸光光度計で測定する。
(5) CaF沈殿反応系へリン酸態リンを共存させることによって、難溶性のフッ素アパタイトが容易に生成しフッ素アパタイト含有セラミック上に、エピタキシャルに新しいアパタイトが成長する。この反応は、歯の表面に歯石が蓄積するせいた反応を模倣したものである。類似の結晶成長現象がセラミック表面で起こるので、充填カラムを用いたフッ素排水の通液実験では、破過が起こるのか否か検察も含め、破過に至るまでの塚液実験とセラミックの再生実験を長期実施する。

報告書

(1件)
  • 1998 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (8件)

  • [文献書誌] Korenaga T., Nakamura T., Kai O.: "Development of Fluoride Removal Method with Ceramics Including Calcium Fluoride" Proc.4th Asian Symposium on Academic Activities for Waste Management. 19〜21. 60 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 伊永隆史: "室内外環境汚染とモニタリング" 日本学術会議環境工学連合講演会講演論文集. 14. 25〜32 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 伊永隆史: "土壌中の多環芳香族炭化水素の動態解析" 1998機器分析東京討論会講演要旨集. 1998. 11〜14 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] Korenaga,T., Yang,Yi., Shibata,K., Motonaka,J., Ikeda,S.: "Determination of Sulfate in Environmental Water by Spectrophotometric Flow Injection Analysis" Japanese Journal of Toxicology and Environmental Health. 44(1). 49〜53 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 伊永隆史,梶原俊之,築山容子: "土壌・植物体中の多環芳香族炭化水素の分離定量と動態解析" エコテクノロジー研究. 5(1). 60〜61 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 伊永隆史,藤井紳一郎: "ワカメ加工における廃棄物の減容化と有効利用" エコテクノロジー研究. 5(1). 88〜89 (1999)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 檜山為次郎、澤田嗣郎、伊永隆史: "日本化学会季刊化学総説No36,ラタンノイドを利用する有機合成" 学会出版センター, 208 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書
  • [文献書誌] 檜山為次郎、澤田嗣郎、伊永隆史: "日本化学会季刊化学総説No39,透明ポリマーの屈折率制御" 学会出版センター, 232 (1998)

    • 関連する報告書
      1998 実績報告書

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公開日: 1998-04-01   更新日: 2016-04-21  

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